靶组件
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106574362B

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201580042283.9

    申请日:2015-06-18

    IPC分类号: C23C14/34

    摘要: 本发明提供一种靶组件,其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电,同时可靠地防止结合靶和背板的粘接材料向外部渗出。背板(22)具有比靶(21)的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)。环状的屏蔽板(4)与延伸部分相对配置,以便在将靶组件(2)安装在溅射装置(SM)上时围住靶。以背板上结合有靶的部分作为接合部分(22b),该接合部分相对于延伸部分凸出设置。使从延伸部分到接合部分的侧面的外表面都粗糙化。从延伸部分到靶的侧面都形成绝缘材料膜(23)。

    一种氮化物半导体垂直腔面发射激光器

    公开(公告)号:CN108923255A

    公开(公告)日:2018-11-30

    申请号:CN201810909141.3

    申请日:2018-08-10

    申请人: 厦门大学

    摘要: 一种氮化物半导体垂直腔面发射激光器,涉及半导体激光器。采用垂直内腔接触结构,从下到上依次设有支撑基板、下分布布拉格反射镜、下电极、透明电流扩展层、电流限制层、外延层、上电极和上分布布拉格反射镜;所述电流限制层使用氧化铝材料,氧化铝材料的分子式为Al2O3。外延层为氮化镓、氮化铟、氮化铝等组成的混合物外延层。上电极和下电极采用Ni/Au、Cr/Au或Ti/Au。氧化铝Al2O3的制备方法为物理镀膜或化学镀膜。制作方法多样简单,改善了原有电流限制层在垂直结构上对热传导的阻碍效果,降低了热效应对激光器的不良影响,增强散热性,提高器件的稳定性并延长其寿命。

    一种滤蓝光增透膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN108717212A

    公开(公告)日:2018-10-30

    申请号:CN201810294083.8

    申请日:2018-04-04

    摘要: 本发明公开一种滤蓝光增透膜及其制备方法,具体是指在透明基材上生长滤蓝光增透膜,所述增透膜从基材的内面到外依次设有ZnxCd1-xO膜层、Al2O3膜层、ZnxCd1-xO膜层、Al2O3膜层,所述滤蓝光增透膜的制备方法是在磁控溅射,可根据实际的应用需求,通过调节ZnxCd1-xO膜层中的Cd组分x可制备不同吸收边波长λ的滤蓝光增透膜,滤蓝光增透膜对300~(λ-15)nm波段范围的蓝光的平均吸收率大于99%,而对(λ+15)~780nm波段范围的可见光的平均透射率大于95%;该增透膜所设计的膜系结构简单,工艺容易实现,可以实现工业化生产。

    包覆工具
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106163708B

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201580017416.7

    申请日:2015-04-10

    摘要: 本发明提供能够长期供于切削加工的包覆工具。包覆工具包含基材和形成在所述基材表面上的包覆层,包覆层包含第1层叠结构和第2层叠结构。第1层叠结构和第2层叠结构连续交替地层叠2次以上。第1层叠结构包含组成不同的至少2种层,所述2种层交替地层叠2次以上。第1层叠结构中所含的层的平均厚度为60nm以上且500nm以下。第2层叠结构包含组成不同的至少2种层,所述2种层交替地层叠2次以上。第2层叠结构中所含的层的平均厚度为2nm以上且小于60nm。第1层叠结构及第2层叠结构中所含的层包含含有选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、Sn及Bi中的至少1种金属元素和选自碳、氮、氧及硼中的至少1种非金属元素的化合物。第1层叠结构和/或第2层叠结构的平均厚度从基材侧向着包覆层的表面侧连续地或阶段地增加。

    一种提高锂离子电池正极集电极耐蚀性能的方法

    公开(公告)号:CN107768677A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201710843083.4

    申请日:2017-09-18

    发明人: 赵斌

    摘要: 本发明公开一种提高锂离子电池正极集电极耐蚀性能的方法,采用真空磁控溅镀法的方法在锂电池用正极集流体铝箔材上沉积氧化物薄膜,所述氧化物薄膜的厚度为3-10nm;所述提高锂离子电池正极集电极耐蚀性能的方法包括以下步骤:采用真空磁控溅镀法的方法在锂电池用正极集流体铝箔材上沉积3~10nm厚的氧化物膜,得到正极集流体复合箔材;测量所述正极集流体复合箔材的导电率及电阻率等电性能;将所述正极集流体复合箔材作为锂离子电池的正极使用。得到的正极集流体复合箔材,电导率提高、电阻降低,既不影响正极集流体的电子隧道效应和导电性能,又不影响锂离子电池后续的制作工艺,极大提高电池的充放电循环次数。