公开(公告)号：CN105675555B

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201610004485.0

申请日：2007-05-04

Applicant: BT成像股份有限公司

Inventor： T·特鲁科 ,  R·A·巴多斯

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/66 ,  G01N21/956

CPC classification number: H02S50/15 ,  G01N21/64 ,  G01N21/6489 ,  G01N21/66 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  H01L31/022425

Abstract: 本发明涉及利用发光成像测试间接带隙半导体器件的方法和设备。描述了用来识别或确定间接带隙半导体器件例如太阳能电池中的空间分辨特性的方法和系统的实施例。在一个实施例中，通过从外部激发间接带隙半导体器件以使所述间接带隙半导体器件发光(110)、捕获响应于所述外部激发从间接带隙半导体器件发出的光的图像(120)、以及根据在一个或多个发光图像中的区域的相对强度的比较确定所述间接带隙半导体器件的空间分辨特性(130)来确定间接带隙半导体器件的空间分辨特性。

公开(公告)号：CN105143862B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201480016932.3

申请日：2014-03-18

Applicant: 亨内克系统有限责任公司

Inventor： 格雷戈尔·皮茨科斯基 ,  斯蒂芬·詹森 ,  托马斯·爱莎

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/9503

Abstract: 本发明涉及一种用于就缺陷(20a、20b)尤其是在斜面或倾斜边缘上的缺陷来检测诸如晶片、太阳能电池或其中间阶段等的平面半导体物体(1)的检测方法，该检测方法包括以下步骤：在纵向传输方向(T)中沿传输路径(17)传输平面物体(1)，传输运动界定平面物体(1)的前缘(4)和后缘(5)，利用至少一个成像系统(8、9)，优选为摄像机在平面物体(1)沿传输路径(17)的运动期间连续拍摄平面物体(1)的尤其是平面物体(1)的前部和/或后部的多个图像，从多个图像中选择图像数据，该图像数据是从在成像系统(8、9)景深内的平面物体(1)的目标点拍摄的，基本通过所选择的图像数据识别平面物体(1)的缺陷(20a、20b)。本发明还涉及用于检测平面半导体物体的检测系统。

公开(公告)号：CN108463874A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201780005676.1

申请日：2017-01-10

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·帕克 ,  高理升 ,  A·V·库尔卡尼 ,  S·巴纳吉 ,  P·谷 ,  S·龙 ,  K·巴哈斯卡尔

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G01N21/9501 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20081 ,  G06T2207/20084 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 本发明提供用于检测样品的图像的异常的方法及系统。一种系统包含经配置以获取由成像子系统产生的样品的图像的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置以确定所述获取图像的一或多个特性。另外，所述计算机子系统经配置以在无需将缺陷检测算法应用于所述图像或所述图像的所述一或多个特性的情况下基于所述一或多个确定特性而识别所述图像的异常。

公开(公告)号：CN105191026B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201480013519.1

申请日：2014-01-24

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 勇-霍·亚历克斯·庄 ,  J·约瑟夫·阿姆斯特朗 ,  弗拉基米尔·德里宾斯基 ,  邓宇俊 ,  约翰·费尔登

IPC: H01S3/108 ,  H01S3/13

CPC classification number: H01S3/1083 ,  G01N21/84 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/95676 ,  G02F1/3534 ,  G02F1/3536 ,  G02F1/39 ,  G02F2001/3507 ,  G02F2201/16 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/0092 ,  H01S3/0602 ,  H01S3/067

Abstract: 一种用于产生大约193.4nm的输出波长的激光器包含基波激光器、光学参数产生器、四次谐波产生器及混频模块。耦合到所述基波激光器的所述光学参数产生器可产生经下变频信号。可耦合到所述光学参数产生器或所述基波激光器的所述四次谐波产生器可产生四次谐波。耦合到所述光学参数产生器及所述四次谐波产生器的所述混频模块可产生处于等于所述四次谐波与所述经下变频信号的频率的两倍的和的频率的激光输出。

公开(公告)号：CN105513985B

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201410505496.8

申请日：2014-09-26

Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

Inventor： 蔡博修 ,  黄怡

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/95607

Abstract: 一种光学量测方法，包括：获得待测光学散射光谱；获得与待测光学散射光谱匹配的多个标准光学散射光谱；提供对空白晶圆进行光斑照射所得到的空白光学散射光谱，将每个标准光学散射光谱与空白光学散射光谱进行叠加，对应每个标准光学散射光谱得到多个叠加光学散射光谱；将待测光学散射光谱与所有的叠加光学散射光谱进行第二次匹配，获得多个第二匹配度；若所有第二匹配度均小于所有第一匹配度，输出匹配度最高的标准光学散射光谱对应的标准结构参数；若至少一第二匹配度大于第一匹配度，返回使用光斑照射光学检测结构的步骤。第二次匹配可用于检验第一次匹配结构的准确性，以确保最终的光学量测结果的准确性。这显著提升了光学量测结果的准确性。

公开(公告)号：CN108352339A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680066102.0

申请日：2016-09-16

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 贺力 ,  M·普利哈尔 ,  应华俊 ,  A·巴蒂亚 ,  A·S·达恩狄安娜 ,  R·拉米尼

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/12 ,  G06N99/005

Abstract: 本发明提供用于使用自适应自动缺陷分类器来分类在样品上检测到的缺陷的方法及系统。一个方法包含基于从用户接收的用于第一批结果中的不同群组的缺陷的分类及包含在所述第一批结果中的全部所述缺陷的一组训练缺陷来产生缺陷分类器。所述第一批结果及额外批结果经组合以产生累计批结果。使用所述所产生缺陷分类器来分类所述累计批结果中的缺陷。如果所述缺陷中的任何者经分类而具有低于阈值的置信度，那么基于包含所述低置信度经分类缺陷的经修改训练组及用于从用户接收的这些缺陷的分类来修改所述缺陷分类器。接着所述经修改缺陷分类器用于分类额外累计批结果中的缺陷。

公开(公告)号：CN105453243B

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201480025735.8

申请日：2014-02-05

Applicant: 鲁道夫技术公司 ,  科罗拉多州立大学董事会法人团体

Inventor： 托德·默里 ,  曼朱莎·梅赫代尔 ,  迈克尔·科特扬斯基 ,  罗宾·迈尔 ,  普里亚·穆昆汗

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/20 ,  G01N21/00 ,  G01N21/1702 ,  G01N21/41 ,  G01N21/9501 ,  G01N29/04 ,  G01N29/2418 ,  G01N2021/8461 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2291/011 ,  G01N2291/028 ,  G01N2291/0423 ,  G01N2291/0426 ,  H01L21/0231 ,  H01L21/78 ,  H01L22/00 ,  H01L22/10 ,  H01L22/12

Abstract: 本文公开了一种用于识别形成到基底中的结构的一个或多个特征的系统和方法。在所述基底中诱发表面声波和体声波并使其行进通过其中感测到所述声波的所感兴趣的结构。将与所述结构的一个或多个特征有关的信息编码在所述波中。对所编码的信息进行评估以确定所述所感兴趣的特征。

公开(公告)号：CN106415807B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201580026943.4

申请日：2015-05-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·V·库尔卡尼

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G01B21/16 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N23/2251 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/12 ,  G01N2223/6116 ,  G06F17/5045 ,  G06T7/60 ,  G06T7/74 ,  G06T2207/30148 ,  H01L21/67288 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明提供用于相对于所存储高分辨率裸片图像确定检验数据的位置的方法及系统。一种方法包含：使由检验系统针对晶片上的对准位点获取的数据与关于预定对准位点的数据对准。所述预定对准位点在所述晶片的所存储高分辨率裸片图像的裸片图像空间中具有预定位置。所述方法还包含：基于所述预定对准位点在所述裸片图像空间中的所述预定位置而确定所述对准位点在所述裸片图像空间中的位置。另外，所述方法包含：基于所述对准位点在所述裸片图像空间中的所述位置而确定由所述检验系统针对所述晶片获取的检验数据在所述裸片图像空间中的位置。

公开(公告)号：CN104463824B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201310418622.1

申请日：2013-09-13

Applicant: 北京京东方光电科技有限公司

Inventor： 林子锦 ,  赵海生 ,  裴晓光 ,  邓朝阳 ,  马海涛

IPC: G06T7/00

CPC classification number: G01J1/44 ,  G01J2001/444 ,  G01N21/9501 ,  G06T5/001 ,  G06T7/30 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管型（TFT）基板检测设备的图像校正方法及装置，其中方法包括：利用TFT基板检测设备获取的指定目标的图像中各个像素点的坐标信息，计算所述图像的偏移值；判断所述偏移值是否小于预设的门限值，若不小于，则采集所述指定目标的图像，利用所述偏移值调整所述图像，利用调整后的图像中各个像素的坐标信息，重新计算偏移值；若小于，则将所述偏移值作为校正结果对TFT基板检测设备获取的图像进行校正。采用本发明能够提高对TFT基板检测设备的校正效率，并且提高校正的精确度。

公开(公告)号：CN104502357B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201410569577.4

申请日：2003-09-08

Applicant: 应用材料以色列公司 ,  应用材料公司

Inventor： 伦·纳弗塔立 ,  艾麦夏·捷塔 ,  翰·菲德门 ,  都伦·休汉 ,  吉尔·布莱

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/47 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95607 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/1772 ,  G01N2021/4711 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/479 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2201/0697

Abstract: 本申请公开一种样品的检测装置，包括：辐射源，用于导引光辐射到样品的表面的区域上；多个图像传感器，被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷；汇聚光学装置，包括：多个物镜，分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中物镜具有各自的光轴，光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，分别与物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，光学地连接以将中间图像聚焦在所述图像传感器上。