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公开(公告)号：CN106415249B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201580029498.7
申请日：2015-06-26
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/47 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G01N21/956 , G01N21/95623 , G01N2021/8887 , G01N2201/0668
Abstract: 本发明提供用于在晶片检验期间确定定位于收集孔隙中的光学元件的配置的方法及系统。一种系统包含检测器，所述检测器经配置以在光学元件具有不同配置时，检测通过包含一组收集孔隙的所述光学元件的来自晶片的光，借此产生针对所述不同配置的不同图像。所述系统还包含计算机子系统，所述计算机子系统经配置以用于依据所述不同图像中的两者或两者以上建构额外图像，且用于产生所述额外图像中的任一者的所述两个或两个以上不同图像并不仅包含针对所述组中的单个收集孔隙产生的不同图像。所述计算机子系统经进一步配置以用于基于所述不同图像及所述额外图像而选择所述光学元件的所述不同或额外配置中的一者。
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公开(公告)号：CN101510047B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN200810130733.1
申请日：2008-07-14
Applicant: 以色列商·应用材料以色列公司
Inventor： 史密尔·曼甘 , 阿米尔·莫什·萨吉夫
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/95623
Abstract: 本发明提供一种用于评估具有重复图案的物体的方法和系统。光学单元的照明光学元件适于以少量辐射扫描包括与背景光学上不同的多个规则重复的结构元素的重复图案，产生包括多个衍射瓣的衍射图案。采集光学元件适于将来自重复图案的附图聚焦到检测器上。所聚焦的辐射包括单一衍射瓣而不包括其它衍射瓣。灰场检测器响应所聚焦的采集辐射而产生检测信号。光学单元适于在灰场检测器的检测表面保持辐射图案，该辐射图案包括由重复图案产生的第一辐射图案成分和由缺陷产生的第二辐射图案成分，其中所述第一辐射图案成分比第二辐射成分强。
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公开(公告)号：CN101861517A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200880116558.9
申请日：2008-11-06
Applicant: 兰姆德-X公司
IPC: G01N21/956 , G01B11/25 , G01M11/02
CPC classification number: G01N21/95623 , G01B11/25 , G01M11/0264 , G01M11/0278
Abstract: 本发明涉及一种用于光学检验相位和振幅对象2的傅立叶变换偏转测量系统和方法，该相位和振幅对象2被放置在光栅3和成像系统4之间的光径中、与光栅3的距离为h。光栅3形成了在图像平面的x，y正交轴上分别具有空间频率μ0，v0的基于对比的周期图形，以及所述成像系统4包括物镜5和含有多个光敏元件的成像传感器6。空间频率μ0，v0等于或小于成像系统在x、y轴上的相应尼奎斯特频率。根据本发明的方法，首先通过物镜5、由成像传感器6获取被相位和振幅对象2失真的所述图形的第一图像。而后，在空间频域中计算所述第一图像的傅立叶变换；选择所述傅立叶变换的至少一个一阶或更高阶谱，并在所述频域中将其移位，以便将它基本置于所述傅立叶变换的中心频率；以及对所述傅立叶变换的所述至少一个移位的一阶或更高阶谱执行傅立叶逆变换，以便获取复函数其中I(x，y)是强度，而是根据以下公式分别与在x，y轴方向上的光偏转角θx，θy有关的相位。
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公开(公告)号：CN101510047A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200810130733.1
申请日：2008-07-14
Applicant: 以色列商·应用材料以色列公司
Inventor： 史密尔·曼甘 , 阿米尔·莫什·萨吉夫
CPC classification number: G01N21/95623
Abstract: 本发明提供一种用于评估具有重复图案的物体的方法和系统。光学单元的照明光学系统适于以少量辐射扫描包括与其背景光学上不同的多个规则重复的结构元素的重复图案，产生包括多个衍射瓣的衍射图案。采集光学系统适于将来自重复图案的附图聚焦到检测器上。所聚焦的辐射包括单一衍射瓣而不包括其它衍射瓣。灰场检测器响应所聚焦的采集辐射而产生检测信号。光学单元适于在灰场检测器的检测表面保持辐射图案，该辐射图案包括由重复图案产生的第一辐射图案成分和由缺陷产生的第二辐射图案成分，其中所述第一辐射图案成分比第二辐射成分强。
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公开(公告)号：CN101995408B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201010262277.3
申请日：2010-08-19
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: G01N21/956 , G03F1/84
CPC classification number: G01N21/95623
Abstract: 本发明公开了一种检查方法和设备。具体地，在一方面中，公开一种用于探测物体上存在缺陷或不存在缺陷的检查方法，所述物体包括具有物理深度的凹陷。所述方法包括：将辐射引导到所述物体上，所述辐射具有基本上等于所述凹陷的光学深度的两倍的波长；探测被所述物体或所述物体上的缺陷改变方向的辐射；和由所述改变方向的辐射确定存在缺陷或不存在缺陷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102393398A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110240143.6
申请日：2003-09-08
IPC: G01N21/95
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/47 , G01N21/4788 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/1772 , G01N2021/4711 , G01N2021/4735 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01N2021/8822 , G01N2021/8845 , G01N2201/0697
Abstract: 本发明公开一种样品的检测装置，包括：辐射源，用于导引光辐射到样品的表面的区域上；多个图像传感器，被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷；汇聚光学装置，包括：多个物镜，分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中物镜具有各自的光轴，光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，分别与物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，光学地连接以将中间图像聚焦在所述图像传感器上。
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公开(公告)号：CN101238362B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200680029168.9
申请日：2006-06-06
Applicant: 恪纳腾技术公司
IPC: G01N21/00
CPC classification number: G01N21/95623
Abstract: 提供了带锯齿的傅立叶滤波器和检查系统。一种傅立叶滤波器包括一个或更多个被配置来阻挡来自晶片的部分光的阻挡单元。所述傅立叶滤波器还包括形成在所述一个或更多个阻挡单元的边缘的周期性锯齿。所述周期性锯齿限定所述一个或更多个阻挡单元的过渡区段。所述周期性锯齿被配置为使透射横跨所述过渡区段变化，以使得横跨所述过渡区段的所述透射的变化基本上是平滑的。一种检查系统包括如上面描述的那样配置的傅立叶滤波器和检测器，所述检测器被配置来检查所述傅立叶滤波器透射的光。所述检测器生成的信号可以被用来检测所述晶片上的所述缺陷。
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公开(公告)号：CN100561204C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN03823096.8
申请日：2003-09-08
Applicant: 应用材料以色列股份有限公司 , 应用材料有限公司
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/47 , G01N21/4788 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/1772 , G01N2021/4711 , G01N2021/4735 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01N2021/8822 , G01N2021/8845 , G01N2201/0697
Abstract: 沿倾斜于一个表面的视角对该表面的一个区域成像的装置包含一个远焦光学中继装置(192)，其用来通过汇聚该区域沿一个朝向视角的光轴方向的光射线来形成该区域倾斜的初始影像。一倾斜校正单元(194)用于校正初始影像的倾斜，以便形成一个充分不失真的中间影像。一放大模块(198)被连接以将该中间影像聚焦到一影像检测器上。
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公开(公告)号：CN108982337A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810529831.6
申请日：2018-05-29
Applicant: 希森美康株式会社
IPC: G01N15/14
CPC classification number: G01N33/493 , G01N15/14 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/95623 , G01N33/92 , G01N2015/0065 , G01N2035/00465
Abstract: 本发明提供一种能够基于流式细胞法来检出尿中的脂肪粒子的尿分析装置及尿分析方法。本发明的尿分析装置10包括：试样制备部(30)，将向尿样本中混合溶血剂制备测定试样；流动室(41)，供测定试样流动；光源(42)，向流动室41中流动的测定试样照射光；受光部(50)，接受因光的照射而从测定试样产生的散射光并输出散射光信号；解析部(12)，利用反映受光部(50)输出的散射光信号的强度的参数和反映散射光信号的宽度的参数检出测定试样中的脂肪粒子。
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公开(公告)号：CN108603789A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009256.0
申请日：2017-01-27
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安德鲁·V·希尔
CPC classification number: G01N21/4795 , G01J3/00 , G01N21/4788 , G01N21/9501 , G01N21/95623 , G01N2021/4709 , G01N2021/4711 , G01N2021/8461 , G02B3/0006 , G02B27/10 , G02B27/1013 , G02B27/4205 , G03F7/70616
Abstract: 本发明揭示一种计量系统，其包含：照明源，其经配置以产生照明光束；一或多个照明光学器件，其经配置以将所述照明光束引导到样本；一或多个收集光学器件，其经配置以收集从所述样本发出的照明；检测器；及超光谱成像子系统。所述超光谱成像子系统包含：分散元件，其定位于所述组收集光学器件的光瞳平面处，所述分散元件经配置以光谱分散所述所收集的照明；透镜阵列，其包含聚焦元件阵列；及一或多个成像光学器件。所述一或多个成像光学器件组合所述光谱分散的所收集的照明以在所述透镜阵列上形成所述光瞳平面的图像。所述透镜阵列的所述聚焦元件使所述所收集的照明以阵列图案分布于所述检测器上。
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