公开(公告)号：CN108463874B

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201780005676.1

申请日：2017-01-10

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·帕克 ,  高理升 ,  A·V·库尔卡尼 ,  S·巴纳吉 ,  P·谷 ,  S·龙 ,  K·巴哈斯卡尔

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明提供用于检测样品的图像的异常的方法及系统。一种系统包含经配置以获取由成像子系统产生的样品的图像的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置以确定所述获取图像的一或多个特性。另外，所述计算机子系统经配置以在无需将缺陷检测算法应用于所述图像或所述图像的所述一或多个特性的情况下基于所述一或多个确定特性而识别所述图像的异常。

公开(公告)号：CN108463874A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201780005676.1

申请日：2017-01-10

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·帕克 ,  高理升 ,  A·V·库尔卡尼 ,  S·巴纳吉 ,  P·谷 ,  S·龙 ,  K·巴哈斯卡尔

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G01N21/9501 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20081 ,  G06T2207/20084 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 本发明提供用于检测样品的图像的异常的方法及系统。一种系统包含经配置以获取由成像子系统产生的样品的图像的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置以确定所述获取图像的一或多个特性。另外，所述计算机子系统经配置以在无需将缺陷检测算法应用于所述图像或所述图像的所述一或多个特性的情况下基于所述一或多个确定特性而识别所述图像的异常。

公开(公告)号：CN108475417A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201780005552.3

申请日：2017-01-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 张晶 ,  G·H·陈 ,  K·巴哈斯卡尔 ,  K·韦尔斯 ,  白楠 ,  P·谷 ,  高理升

IPC: G06T3/40 ,  G06N3/08 ,  G06N99/00

CPC classification number: G06T11/60 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/12 ,  G06K9/4628 ,  G06K9/6273 ,  G06K9/6857 ,  G06K2209/19 ,  G06T3/4053

Abstract: 本发明提供用于由样品的一或多个低分辨率图像产生所述样品的高分辨率图像的方法及系统。一个系统包含经配置用于获取样品的一或多个低分辨率图像的一或多个计算机子系统。所述系统还包含由所述一或多个计算机子系统执行的一或多个组件。所述一或多个组件包含模型，所述模型包含经配置用于产生所述一或多个低分辨率图像的表示的一或多个第一层。所述模型还包含经配置用于由所述一或多个低分辨率图像的所述表示产生所述样品的高分辨率图像的一或多个第二层。

公开(公告)号：CN108475417B

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN201780005552.3

申请日：2017-01-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 张晶 ,  G·H·陈 ,  K·巴哈斯卡尔 ,  K·韦尔斯 ,  白楠 ,  P·谷 ,  高理升

IPC: G06T3/40 ,  G06N3/08 ,  G06N20/00

Abstract: 本发明提供用于由样品的一或多个低分辨率图像产生所述样品的高分辨率图像的方法及系统。一个系统包含经配置用于获取样品的一或多个低分辨率图像的一或多个计算机子系统。所述系统还包含由所述一或多个计算机子系统执行的一或多个组件。所述一或多个组件包含模型，所述模型包含经配置用于产生所述一或多个低分辨率图像的表示的一或多个第一层。所述模型还包含经配置用于由所述一或多个低分辨率图像的所述表示产生所述样品的高分辨率图像的一或多个第二层。