公开(公告)号：CN108463874A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201780005676.1

申请日：2017-01-10

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： A·帕克 ,  高理升 ,  A·V·库尔卡尼 ,  S·巴纳吉 ,  P·谷 ,  S·龙 ,  K·巴哈斯卡尔

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G06T7/0004 ,  G01N21/9501 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20081 ,  G06T2207/20084 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

摘要： 本发明提供用于检测样品的图像的异常的方法及系统。一种系统包含经配置以获取由成像子系统产生的样品的图像的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置以确定所述获取图像的一或多个特性。另外，所述计算机子系统经配置以在无需将缺陷检测算法应用于所述图像或所述图像的所述一或多个特性的情况下基于所述一或多个确定特性而识别所述图像的异常。

公开(公告)号：CN104870984A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380067473.7

申请日：2013-11-12

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： J·林 ,  A·帕克 ,  E·张 ,  R·威灵福德 ,  S·龙 ,  C·巴哈斯卡尔

IPC分类号： G01N21/88 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/30148

摘要： 混合模式包含接收检验结果，所述检验结果包含晶片的选定区域的一或多个图像，所述一或多个图像包含一或多个晶片裸片，所述一或多个晶片裸片包含一组重复块，所述组重复块包含一组重复单元。另外，混合模式检验包含调整所述一或多个图像的像素大小，以将每一单元、块及裸片映射到整数数目个像素。此外，混合模式检验包含：比较第一晶片裸片与第二晶片裸片，以识别所述第一晶片裸片或所述第二晶片裸片中的一或多个缺陷的发生；比较第一块与第二块，以识别所述第一块或所述第二块中的一或多个缺陷的发生；及比较第一单元与第二单元，以识别所述第一单元或所述第二单元中的一或多个缺陷的发生。

公开(公告)号：CN108463874B

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201780005676.1

申请日：2017-01-10

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： A·帕克 ,  高理升 ,  A·V·库尔卡尼 ,  S·巴纳吉 ,  P·谷 ,  S·龙 ,  K·巴哈斯卡尔

IPC分类号： H01L21/66

摘要： 本发明提供用于检测样品的图像的异常的方法及系统。一种系统包含经配置以获取由成像子系统产生的样品的图像的一或多个计算机子系统。所述计算机子系统还经配置以确定所述获取图像的一或多个特性。另外，所述计算机子系统经配置以在无需将缺陷检测算法应用于所述图像或所述图像的所述一或多个特性的情况下基于所述一或多个确定特性而识别所述图像的异常。