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    缺陷检查方法以及缺陷检查装置
    3.
    发明授权
    缺陷检查方法以及缺陷检查装置 有权

    公开(公告)号：CN105026883B

    公开(公告)日：2018-08-10

    申请号：CN201480012327.9

    申请日：2014-01-27

    申请人： 株式会社日立高新技术

    发明人： 高木裕治 ,  原田实 ,  坂本雅史 ,  平井大博

    IPC分类号： G01B15/00 ,  G01B11/00 ,  G01N23/225 ,  H01L21/66 ,  H01J37/22

    CPC分类号： G06T7/001 ,  G06K9/6202 ,  G06K9/6284 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12

    摘要： 为了缩短缺陷图像的收集时间，缺陷检查装置具备：读出部，其读出已检测的半导体晶片的缺陷位置；第1摄像部，其在与读出的缺陷中的某一个缺陷所存在的芯片不同的芯片中，以第1倍率拍摄参照图像；第2摄像部，其以第1倍率拍摄包含读出的缺陷的第1缺陷图像；缺陷位置确定部，其比较通过第1摄像部拍摄的参照图像与通过第2摄像部拍摄的第1缺陷图像，来确定第1缺陷图像上的缺陷位置；以及第3摄像部，其基于确定缺陷位置，以比第1倍率高的第2倍率拍摄第2缺陷图像，并具有：排序部，其按照无重复地转一圈的路径顺序对读出的缺陷进行排序；以及载物台移动路径生成部，其对每个与参照图像对应的缺陷选择用于拍摄参照图像的芯片，并通过决定第1摄像部和第2摄像部中的载物台的移动位置来生成载物台移动路径。

    通过降低裸片到裸片过程噪声的缺陷信噪比增强
    4.
    发明公开
    通过降低裸片到裸片过程噪声的缺陷信噪比增强 有权

    公开(公告)号：CN108369202A

    公开(公告)日：2018-08-03

    申请号：CN201680070546.1

    申请日：2016-12-08

    申请人： 科磊股份有限公司

    发明人： B·布拉尔 ,  J·A·史密斯

    IPC分类号： G01N27/04

    CPC分类号： G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148

    摘要： 通过直方图按比例调整来调整测试图像及参考图像的灰度级直方图。将来自所述直方图按比例调整的参数应用于所述测试图像及所述参考图像。在应用所述参数之后，比较所述参考图像与所述测试图像以例如通过从所述测试图像减去所述参考图像而产生差异图像。可降低所述差异图像中的噪声，这会改进所述差异图像中的缺陷识别。另外，可找到所述差异图像中在竖直或水平方向上伸长的有噪声结构。如果所述噪声超过某个阈值，那么可能不会检验所述结构。

    骨髓细胞标记方法和系统
    5.
    发明公开
    骨髓细胞标记方法和系统 有权 转让

    公开(公告)号：CN107729932A

    公开(公告)日：2018-02-23

    申请号：CN201710935207.1

    申请日：2017-10-10

    申请人： 李强

    发明人： 李强 ,  陆炬 ,  李舜

    IPC分类号： G06K9/62 ,  G06K9/46 ,  G06T7/13

    CPC分类号： G06K9/4652 ,  G06K9/6267 ,  G06T7/13 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30008

    摘要： 本发明公开了一种骨髓细胞标记方法和系统，其中，方法包括：通过图像处理算法对标本图像进行处理标记得到得到轮廓细胞图像；再将轮廓细胞图像输入预设分类模型中，得到分类细胞图像和对应的分类细胞信息；通过根据预设类别对获取的颜色信息进行分类，得到分类颜色信息；最后，根据分类细胞信息提取对应的名称信息和分类颜色信息对分类细胞图像进行组合标记，并展示组合标记后的可视图。本发明对处理得到的分类细胞图像根据对应的名称信息和分类颜色信息进行组合标记，即在标记细胞的名称信息的同时，还标记这类细胞的分类颜色信息；实现了每一类细胞都有特定且不重复的颜色标记，不仅易于阅读，而且避免命名冲突，方便查阅。

    缺陷观察方法以及缺陷观察装置
    7.
    发明授权
    缺陷观察方法以及缺陷观察装置 有权

    公开(公告)号：CN104903712B

    公开(公告)日：2018-01-02

    申请号：CN201380069668.5

    申请日：2013-12-06

    申请人： 株式会社日立高新技术

    发明人： 原田实 ,  高木裕治 ,  中垣亮 ,  平井大博 ,  木附洋彦

    IPC分类号： G01N23/225 ,  G01N21/956

    CPC分类号： G06T7/001 ,  G01N21/9501 ,  G06T2207/10004 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148

    摘要： 本发明的目的在于，能够从观察对象样本中容易地提取能够标记为“缺陷”和“妨扰”(错误检测出制造公差等的部位)的缺陷候选，容易地调整与观察处理有关的参数。本发明的缺陷观察方法包括：根据来自检查装置的缺陷信息拍摄被检查对象物，得到缺陷图像和与该缺陷图像对应的参照图像的摄像步骤；使用根据在上述摄像步骤中拍摄所得的该缺陷图像和该参照图像得到的第一特征量分布、根据该参照图像得到的第二特征量分布，决定用于缺陷提取的第一参数的参数决定步骤；使用在上述参数决定步骤中决定的该第一参数进行观察的观察步骤。本发明能够应用于观察在半导体晶圆的制造中产生的缺陷的方法。

    一种傅里叶叠层显微镜的位置误差矫正方法
    8.
    发明公开
    一种傅里叶叠层显微镜的位置误差矫正方法 无效

    公开(公告)号：CN107481285A

    公开(公告)日：2017-12-15

    申请号：CN201710833116.7

    申请日：2017-09-15

    申请人： 哈尔滨工业大学

    发明人： 刘俭 ,  谭久彬 ,  李勇

    IPC分类号： G06T7/70 ,  G06T3/40 ,  G06T5/50

    CPC分类号： G06T7/70 ,  G06T3/4076 ,  G06T5/50 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20016 ,  G06T2207/20056

    摘要： 一种傅里叶叠层显微镜的位置误差矫正方法，属于超分辨成像领域。所述方法如下：(1)通过实际测量得到多幅低分辨率图，同时假设一个高分辨率样品函数；(2)根据假设的高分辨率样品函数和实际测量得到的低分辨率图得到相对应的猜测低分辨率图，并构建代价函数；(3)根据二阶牛顿法构建关于位置的迭代函数，并且使用梯度法构建关于样品的迭代函数；(4)通过迭代算法最小化代价函数得到正确的位置和高分辨率样品函数。本发明的优点是：在傅里叶叠层显微镜中加入位置误差矫正方法，可克服由于光源位置误差造成的重建质量变差的问题，由于采用了牛顿法，因此重建图像非常稳定。