-
公开(公告)号：CN108738343A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201680069949.4
申请日：2016-11-30
Applicant: 汉民微测科技股份有限公司
IPC: G01N23/2251 , H01J37/10 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/153 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/292 , H01J2237/0453 , H01J2237/1532 , H01J2237/24465 , H01J2237/24592 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817
Abstract: 提出了一种多束设备中的二次投影成像系统，该二次投影成像系统使二次电子检测具有高收集效率和低串扰。该系统采用一个变焦透镜，一个投影透镜和一个防扫描偏转单元。变焦透镜和投影透镜分别执行变焦功能和防旋转功能，以相对于多个一次细束的着陆能量和/或电流保持总成像放大倍率和总图像旋转。防扫描偏转单元执行防扫描功能以消除由于多个一次细束的偏转扫描而导致的动态图像移位。
-
公开(公告)号：CN108701576A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082561.8
申请日：2016-12-09
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： B·卡斯川普 , J·C·H·缪尔肯斯 , M·A·范登布林克 , 约瑟夫·帕卓斯·亨瑞克瑞·本叔普 , E·P·斯马克曼 , T·朱兹海妮娜 , C·A·维索尔伦
IPC: H01J37/065 , H01J37/15
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/023 , H01J37/15 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明公开了一种电子束检查设备，该设备包括：多个电子束柱(600)，每个电子束柱配置成提供电子束且检测来自物体的散射电子或二次电子；和致动器系统(600，610)，其配置成使所述电子束柱中的一个或更多个相对于所述电子束柱中的另外的一个或更多个移动(640，630)。所述致动器系统可包括多个第一可移动结构，所述多个第一可移动结构与多个第二可移动结构至少部分地重叠，所述第一可移动结构和所述第二可移动结构支撑所述多个电子束柱。
-
公开(公告)号：CN107004554A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580044320.X
申请日：2015-06-25
Applicant: FEI埃法有限公司
IPC: H01J37/20 , H01L21/66 , G01R1/06 , G01R31/307 , G01R31/28
CPC classification number: G01Q30/02 , G01R1/06744 , G01R31/26 , G01R31/2831 , G01R31/2891 , H01J37/28 , H01J2237/2008 , H01J2237/208 , H01J2237/2817 , H01L22/12 , H01L22/14
Abstract: 一种用于在半导体晶圆上执行在线纳米探测的系统。晶圆支架或垂直晶圆定位器附接到晶圆台。SEM柱、光学显微器和多个纳米探针定位器都附接到顶板。纳米探针定位器具有被配置为物理接触晶圆上所选择的点的一个纳米探针。当探针物理接触晶圆时，力(或触摸)传感器测量由探针施加到晶圆的接触力(或力矩)。多个漂移传感器被提供用于在测量期间实时计算探针相对于晶圆的对准漂移。
-
公开(公告)号：CN105931939A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201510569374.X
申请日：2015-09-09
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/304 , H01L21/265 , H01L21/66
CPC classification number: H01J37/3172 , H01J37/3026 , H01J37/304 , H01J2237/2814 , H01J2237/2815 , H01J2237/2817 , H01J2237/30461 , H01J2237/30483 , H01J2237/31703 , H01J2237/3171
Abstract: 本发明提供了一种用于生成参数图案的方法，包括：在工件的表面上的多个区域上实施多个测量，以获得多个测量结果；以及根据多个测量结果，通过计算机导出参数图案；其中，参数图案包括与工件的表面上的多个区域中的每个对应的多个区域性参数值。本发明提供了一种前馈半导体制造方法，包括：在工件的表面上形成具有期望的图案的层；根据针对具有期望的图案的层的空间维度测量来导出包括参数图案的控制信号，期望的图案分布在工件的表面的多个区域上方；以及根据控制信号，在工件的表面上实施离子注入。本发明还涉及生成参数图案的方法，离子注入方法和前馈半导体制造方法。
-
公开(公告)号：CN103180690B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201180050911.X
申请日：2011-10-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G06K9/00523 , G03F7/70625 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/24592 , H01J2237/2817 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 在测定过程变动大的图案的情况下，在预先登记的测定区域中，若在测定对象图案的周围存在不是测定对象的图案或废料等的噪声时，则不能够进行正确测定。将样品的图像数据中的进行图案匹配而用于对位的规定的区域设定为从图案测定的对象中除外的非测定对象区域。例如在测定过程变动大的图案的情况下，图案匹配中仅使用包含过程变动小的图案在内的区域，图案测定时，将在图案匹配中使用而用于对位的规定的区域设定为非测定对象区域。由此，能够不受测定区域与非测定对象区域相重叠的区域的影响，即使对于过程变动大的图案也能够进行容易且稳定的图案测定。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104718428A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201380052997.9
申请日：2013-10-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01B15/04 , G01N21/956 , G01N23/225 , G06T1/00 , H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01B2210/56 , G06K9/4604 , G06K9/52 , G06T7/0002 , G06T7/13 , G06T2207/30168 , H01J37/244 , H01J2237/24592 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明提供一种图案的检查、测量装置，对检查或测量对象图案进行拍摄，使用从所得到的图像数据提取的边缘位置来进行检查或测量，能够降低噪声等的影响，提高检查或测量结果的可靠性。为此，图案的检查、测量装置的特征在于，对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据利用边缘提取参数来提取边缘位置，利用该边缘位置来进行检查或测量对象图案的检查或测量，使用表示作为检查或测量的基准的形状的基准图案和所述图像数据来生成所述边缘提取参数。
-
公开(公告)号：CN102789944A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210158607.3
申请日：2012-05-16
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J2237/2442 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2807 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及具有遮挡检测的带电粒子显微术。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安装在样本保持器上；-使用粒子光学镜筒将至少一束微粒辐射定向到样本上，从而产生使得发射的辐射从样本中发出的相互作用；-使用第一检测器配置C1检测发射的辐射的第一部分并且基于此产生第一图像I1，所述方法包括以下步骤：-使用至少第二检测器配置C2检测发射的辐射的第二部分并且基于此产生第二图像I2，由此C2与C1不同，因而汇编检测器配置集合SD＝{C1，C2}以及相应图像集合SI＝{I1，I2}；-使用计算机处理设备自动地比较SI的不同成员并且利用相对于SD的至少一个成员的被遮挡视线在样本上数学标识至少一个遮挡区域。
-
公开(公告)号：CN102759539A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210135356.7
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
-
公开(公告)号：CN102103966A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010528286.2
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/145
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
-
公开(公告)号：CN101022075B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200610156779.1
申请日：2006-12-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/225 , G01N13/10
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J2237/0262 , H01J2237/12 , H01J2237/24592 , H01J2237/2817
Abstract: 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
122
records
(took 0.467 seconds)
