公开(公告)号：CN109243953A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810744936.3

申请日：2018-07-09

申请人： FEI ,  公司

发明人： C.J.扎赫雷森 ,  D.蒂默曼 ,  M.托思 ,  J.费列维奇 ,  S.兰多尔夫 ,  A.P.J.M.博特曼

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/305

CPC分类号： H01J37/28 ,  G02B26/10 ,  G02B27/0916 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/228 ,  H01J37/265 ,  H01J37/226 ,  H01J37/3056

摘要： 公开了一种用于观测和对准带电粒子束（CPB）系统（诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统）的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备，该校准表面被配置成使得当利用光照亮，并且同时被CPB照亮时，在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的，由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。

公开(公告)号：CN107123584A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710041635.X

申请日：2017-01-20

申请人： FEI 公司

发明人： E.R.基伊夫特 ,  W.范迪克

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/045 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/266

摘要： 一种使用带电粒子显微镜的方法，包括：—样本保持器，其用于保持样本；—源，其用于产生带电粒子的照射射束；—照明器，其用于引导所述射束从而照射样本；—检测器，其用于响应于所述照射而检测从样本放射的出射辐射通量，另外包括以下步骤：—在所述照明器中，提供包括孔径阵列的孔径板；—使用偏转装置来跨所述阵列扫描所述射束，从而交替地使射束中断和透射以便产生一串射束脉冲；—用所述脉冲串照射所述样本，并且使用所述检测器来执行伴随的出射辐射的位置分辨（时间辨别）检测。

公开(公告)号：CN103779160B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201310497851.7

申请日：2013-10-22

申请人： FEI ,  公司

发明人： L.图马 ,  J.塞斯塔克

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/141

CPC分类号： G21K5/08 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/20 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/1035 ,  H01J2237/1415 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2813

摘要： 本发明涉及可配置带电粒子装置。可配置带电粒子装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。

公开(公告)号：CN104838466B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201380061917.6

申请日：2013-11-20

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 山下贡 ,  安藤彻 ,  小西弥生 ,  玉山尚太朗 ,  牛尾奈绪子 ,  高野昌树

IPC分类号： H01J37/24 ,  G06F3/048 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/265 ,  G06F3/048 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2801

摘要： 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的

公开(公告)号：CN104137220B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380011705.7

申请日：2013-03-15

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 小西弥生 ,  能田弘行 ,  稻田高洋 ,  重藤训志 ,  安藤彻 ,  饭泉纪子 ,  多持隆一郎 ,  佐藤贡

IPC分类号： H01J37/24 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC分类号： G09B19/24 ,  G06F3/0484 ,  G09B5/02 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/22

摘要： 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。

公开(公告)号：CN105719982A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201610082472.5

申请日：2016-02-05

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 马卫民 ,  孙伟强

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： H01J37/20 ,  G03F1/86 ,  G03F7/7065 ,  H01J37/18 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/24571 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12

摘要： 本发明公开一种检测系统。根据本发明一方面，检测系统包括：感测机构的多个镜筒；移动机构，用以在感测机构的多个镜筒下定位样品；和控制器，执行配置用以将所述镜筒配置成根据功能、权重和性能中的至少一种执行一种类型检测使得所述多个镜筒以适应的方式用于感测被检测的样品的模块。检测系统的感测机构的多个镜筒配置由不同的功能、权重和性能以检测样品，从而显著地减少如果相同地应用全部镜筒时所需的时间。

公开(公告)号：CN103794451B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201210427489.1

申请日：2012-10-31

申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

发明人： 蔡博修 ,  黄怡

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/265 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/2826

摘要： 本发明实施例公开了一种监测扫描电子显微镜（SEM）的电子束状态的方法和装置。SEM包括电子枪和电磁透镜系统。电子枪发出的电子束作为电磁透镜系统的输入电子束，经过电磁透镜系统后作为输出电子束入射到样品表面，电磁透镜系统以一组工作参数来表示电磁透镜系统对输入电子束的调整操作。监测方法包括：第一获取步骤，用于获取输入电子束的质量参数；第二获取步骤，用于获取电磁透镜系统当前的一组工作参数；计算步骤，用于根据输入电子束的质量参数与当前的一组工作参数中的一个或多个工作参数，计算输出电子束的质量参数；确定步骤，用于基于输出电子束的质量参数，确定是否要对SEM进行校准。本发明实施例可以实现对SEM的电子束状态的在线监控。

公开(公告)号：CN104952679A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510132049.7

申请日：2015-03-25

申请人： FEI公司

发明人： P.波托塞克 ,  C.S.库伊曼 ,  H.N.斯林格兰德 ,  G.N.A.范维恩 ,  F.博霍贝 ,  J.S.发伯 ,  A.A.S.斯鲁特曼

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  G01N23/22 ,  G01N21/63

CPC分类号： H01J37/261 ,  G01N21/6458 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/427 ,  G02B21/0016 ,  H01J37/06 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2602

摘要： 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。

公开(公告)号：CN104364877B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201380029956.8

申请日：2013-06-03

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 安藤彻 ,  重藤训志 ,  玉山尚太朗 ,  成田祐介

IPC分类号： H01J37/20 ,  G09G5/00 ,  G09G5/36 ,  G09G5/377 ,  H01J37/22

CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2809

摘要： 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。

公开(公告)号：CN103308356A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310083008.4

申请日：2013-03-15

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 满欣

IPC分类号： G01N1/28 ,  H01J37/317 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/2955 ,  H01J2237/31745

摘要： 本发明提供了一种样本制备装置和样本制备方法。样本制备装置包括样本台，用于支撑样本；聚焦离子束镜筒，用于将聚焦离子束施加到样本并且处理样本；以及照射区域设置单元，用于设置聚焦离子束照射区域，该聚焦离子束照射区域包括第一照射区域和第二照射区域，第一照射区域用于形成将被电子束照射以检测背向散射电子的观察区段，第二照射区域用于倾斜表面，该倾斜表面相对于观察区段的法线方向倾斜67.5°以上且小于90°的角度。