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公开(公告)号：CN109906497A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201680090391.8
申请日：2016-11-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在通过带电粒子束装置进行原位(In situ)观察的情况下，并非带电粒子束装置的专家的观察者需要一边观察监视器一边保持每时每刻都变化的观察视场，因此需要实时地操作性良好地控制视场调整。为使观察者不需要移动视线而使实况图像(100)与比较图像(101)重叠进行显示。此时，想办法设计一个界面而能够使观察者毫无压力地执行两个图像的重叠。观察者通过按下操作画面上的按钮(57)，使与显示实况图像(100)的第一显示区域(52)的尺寸匹配的比较图像(101)半透明化，并将与实况图像(100)重叠的重叠图像(104)显示在图像显示装置的第一显示区域(52)的位置上。
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公开(公告)号：CN105359250A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN109906497B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201680090391.8
申请日：2016-11-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在通过带电粒子束装置进行原位(In situ)观察的情况下，并非带电粒子束装置的专家的观察者需要一边观察监视器一边保持每时每刻都变化的观察视场，因此需要实时地操作性良好地控制视场调整。为使观察者不需要移动视线而使实况图像(100)与比较图像(101)重叠进行显示。此时，想办法设计一个界面而能够使观察者毫无压力地执行两个图像的重叠。观察者通过按下操作画面上的按钮(57)，使与显示实况图像(100)的第一显示区域(52)的尺寸匹配的比较图像(101)半透明化，并将与实况图像(100)重叠的重叠图像(104)显示在图像显示装置的第一显示区域(52)的位置上。
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公开(公告)号：CN105359250B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN104364877A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809 , H01J37/244 , H01J2237/24495
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103733298B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
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公开(公告)号：CN104137220A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011705.7
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G09B19/24 , G06F3/0484 , G09B5/02 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/22
Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。
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公开(公告)号：CN103733298A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
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公开(公告)号：CN105593966B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201480053931.6
申请日：2014-10-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/292 , H01J37/073 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/24495 , H01J2237/248 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。
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公开(公告)号：CN104137220B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380011705.7
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G09B19/24 , G06F3/0484 , G09B5/02 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/22
Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。
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