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公开(公告)号：CN105359250B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN118486576B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202410717620.0
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 细谷幸太郎
IPC: H01J37/20 , H01J37/244
Abstract: 本发明提供可高精度地得到成为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像的保持件。保持件(HL)具有上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)。上部件(HLt)具有用于使带电粒子束穿过的孔(TH1)，而且能够在孔(TH1)内搭载试样。底部件(HLb)设置成与上部件(HLt)在俯视下重叠。侧部件(HLs)以使上部件(HLt)及底部件(HLb)在剖视下互相分离的方式连接于上部件(HLt)的一部分及底部件(HLb)的一部分。开口部(OP)是被上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)包围的区域，在开口部(OP)内设有闪烁体(SC1)。
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公开(公告)号：CN105359250A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN103348439A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201180067087.9
申请日：2011-11-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/2001 , H01J2237/2003
Abstract: 不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台下部具备贯通孔的试样支架上载置被观察试样，通过上述贯通孔将从上述容器蒸发或挥发的气体供给到上述被观察试样，在上述被观察试样的载置位置或试样附近形成局部的低真空状态。并且，利用在挥发时的气化热也能进行试样冷却。
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公开(公告)号：CN112689883A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202080005075.2
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 细谷幸太郎
IPC: H01J37/20 , H01J37/244
Abstract: 本发明提供可高精度地得到成为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像的保持件。保持件(HL)具有上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)。上部件(HLt)具有用于使带电粒子束穿过的孔(TH1)，而且能够在孔(TH1)内搭载试样。底部件(HLb)设置成与上部件(HLt)在俯视下重叠。侧部件(HLs)以使上部件(HLt)及底部件(HLb)在剖视下互相分离的方式连接于上部件(HLt)的一部分及底部件(HLb)的一部分。开口部(OP)是被上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)包围的区域，在开口部(OP)内设有闪烁体(SC1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111033678A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201780092133.8
申请日：2017-06-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，具备载置试样的工作台、将上述试样上的污染物质除去的清洁器、以及在上述清洁器的使用时通过使上述工作台移动来调节上述清洁器与上述试样的相对位置关系的工作台控制部。
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公开(公告)号：CN118486575A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410710336.0
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 细谷幸太郎
IPC: H01J37/20 , H01J37/244
Abstract: 本发明提供可高精度地得到成为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像的保持件。保持件(HL)具有上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)。上部件(HLt)具有用于使带电粒子束穿过的孔(TH1)，而且能够在孔(TH1)内搭载试样。底部件(HLb)设置成与上部件(HLt)在俯视下重叠。侧部件(HLs)以使上部件(HLt)及底部件(HLb)在剖视下互相分离的方式连接于上部件(HLt)的一部分及底部件(HLb)的一部分。开口部(OP)是被上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)包围的区域，在开口部(OP)内设有闪烁体(SC1)。
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公开(公告)号：CN111033678B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN201780092133.8
申请日：2017-06-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，具备载置试样的工作台、将上述试样上的污染物质除去的清洁器、以及在上述清洁器的使用时通过使上述工作台移动来调节上述清洁器与上述试样的相对位置关系的工作台控制部。
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公开(公告)号：CN104520966A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041393.4
申请日：2013-07-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/1825 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。
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公开(公告)号：CN118486576A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410717620.0
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Inventor： 细谷幸太郎
IPC: H01J37/20 , H01J37/244
Abstract: 本发明提供可高精度地得到成为观察对象的试样的亮视场像或暗视场像的保持件。保持件(HL)具有上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)。上部件(HLt)具有用于使带电粒子束穿过的孔(TH1)，而且能够在孔(TH1)内搭载试样。底部件(HLb)设置成与上部件(HLt)在俯视下重叠。侧部件(HLs)以使上部件(HLt)及底部件(HLb)在剖视下互相分离的方式连接于上部件(HLt)的一部分及底部件(HLb)的一部分。开口部(OP)是被上部件(HLt)、侧部件(HLs)以及底部件(HLb)包围的区域，在开口部(OP)内设有闪烁体(SC1)。
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