-
公开(公告)号：CN105874559B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201480071804.9
申请日：2014-11-14
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： 本发明涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。本发明还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。
-
公开(公告)号：CN101461026A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200780020701.X
申请日：2007-04-26
申请人： FEI公司
发明人： J·A·H·W·G·珀素恩 , A·T·恩格伦 , S·利克特尼格 , P·H·J·范多伦
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/302 , H01J2237/1405 , H01J2237/162 , H01J2237/1825 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
摘要： 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。
-
公开(公告)号：CN101416284A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200780012546.7
申请日：2007-04-06
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/3065 , B01J4/00 , B01J19/08 , C23C16/455 , C23C16/511 , C23C16/52
CPC分类号： F17D1/04 , C23C16/45502 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32834 , H01J2237/1825 , Y10T137/0368
摘要： 本发明提供一种处理装置及处理方法，该处理装置(40)具有：在内部设有用于载置被处理体的载置台的处理容器(42)、具有用于排出处理容器(42)内的气体介质的真空泵(70、72)与压力控制阀(68)的排气系统(64)、具有设于处理容器(42)内的气体喷射孔(102)的气体喷射部件(98)，向气体喷射部件(98)供给处理气体的气体供给部件(100)。由控制部件(114)控制整个装置(40)。控制部件(114)控制排气系统(64)和气体供给部件(100)，在开始规定的处理时，由排气系统(64)排出处理容器(42)内的气体介质，并且在短时间供给比规定流量大的流量的处理气体，然后，供给规定流量的处理气体。
-
公开(公告)号：CN107004557A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580067044.9
申请日：2015-10-29
申请人： 恩特格里斯公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/265
CPC分类号： H01L21/67017 , C23C14/48 , H01J37/3171 , H01J2237/006 , H01J2237/1825 , H01J2237/31701 , H01L21/26513 , H01L21/67253 , H01L22/20
摘要： 本发明描述一种离子植入系统，其包含：离子植入机，所述离子植入机包括壳体，所述壳体界定封围容积，在所述封围容积中定位有气体箱，所述气体箱经配置以固持一或多个气体供应容器，所述气体箱与所述封围容积中在所述气体箱外部的气体进行受限式气体流动连通；第一通风组合件，其经配置以使通风气体流动通过所述壳体，并且从所述壳体排出所述通气气体到所述离子植入机的周围环境；第二通风组合件，其经配置以将气体从所述气体箱排出到处理设备，所述处理设备适于从所述气体箱排气至少部分地移除污染物，或者所述处理设备适于稀释所述气体箱排气，以产生经处理的流出气体，所述第二通风组合件包括可变流量控制装置及运动流体驱动器，所述可变流量控制装置用于在相对较低的气体箱排气流率与相对较高的气体箱排气流率之间调整所述气体箱排气的流率，且所述运动流体驱动器适于使所述气体箱排气流动通过所述可变流量控制装置到所述理设备；以及监测及控制组合件，其经配置以监测所述离子植入机的操作是否发生气体危险事件，且当发生气体危险事件时，响应地阻止所述一或多个气体供应容器的气体分配操作，并且调整所述可变流量控制装置到所述相对较高的气体箱排气流率，使得所述运动流体驱动器以所述相对较高的气体箱排气流率使所述气体箱排气流动到所述处理设备。优选地，在气体危险事件中，从所述壳体排放的所述壳排气也终止，以促进所述壳体内、所述气体箱的内部以及外部的所有气体排出到所述处理单元。
-
公开(公告)号：CN105874560A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071806.8
申请日：2014-11-14
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。
-
公开(公告)号：CN104520966A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041393.4
申请日：2013-07-08
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/1825 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
摘要： 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。
-
公开(公告)号：CN107430972B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201580078052.3
申请日：2015-04-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/186 , H01J2237/188
摘要： 本发明的带电粒子束装置在将试样室(18)设为高真空状态时，从涡轮分子泵的主吸气口(11)对带电粒子枪室(1)和所述试样室进行真空排气，在将所述试样室设为低真空状态时，通过主吸气口对所述带电粒子枪室进行真空排气，并且，通过涡轮分子泵的中间吸气口(13)对所述试样室进行真空排气。进行所述涡轮分子泵的背压排气的油回转泵(7)不对所述带电粒子枪室、所述试样室进行真空排气。由此，无论是高真空状态时以及低真空状态时均能够抑制装置内部的污染，因此可以防止观察试样的污染，并可以降低到达真空度的经年劣化。
-
公开(公告)号：CN109637921A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811293777.6
申请日：2014-11-14
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/30 , H01J37/317 , G21K1/02 , G21K5/04
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： 本发明涉及一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；以及至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)。
-
公开(公告)号：CN105340050A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480035014.5
申请日：2014-07-11
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/3053 , H01J2237/006 , H01J2237/06 , H01J2237/08 , H01J2237/182 , H01J2237/1825 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/31749
摘要： 本发明的离子铣削装置具备真空室(105)、进行该真空室内的真空排气的排气装置(101)、在上述真空室内支撑离子束所照射的试样(102)的试样台(103)、加热上述真空室内的加热装置(107)、向上述真空室内导入作为热介质的气体的气源(106)、控制该气源的控制装置(110)，该控制装置在由上述加热装置进行的加热时，以上述真空室内的压力为预定的状态的方式控制。由此，在冷却试样进行离子铣削后大气开放时，可在短时间内进行用于抑制产生的结露等的温度控制。
-
公开(公告)号：CN104584180A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043744.5
申请日：2013-07-11
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0203 , H01J2237/063 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/2006 , H01J2237/202 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
摘要： 本发明提供带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件。带电粒子线装置(1c)所使用的带电粒子线装置用部件(56)具有安装于框体(3c)的框体(55)以及设置于框体(55)的隔膜元件(18a)。在隔膜元件(18a)形成有隔膜(19)，在被框体(3c)与框体(55)划分的真空室(4a)的内部的压力相比外部的压力相被减压了的状态下，该隔膜(19)对真空室(4a)的内部与外部气密地进行隔离并且供带电粒子线透射。另外，在隔膜元件(18a)以位于比隔膜(19)更靠试样工作台(22)侧的方式形成有防止试样(12)与隔膜(19)接触的缓冲膜(33)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
29 条记录 (耗时 0.013 秒)
