公开(公告)号：CN107710377B

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201580081062.2

申请日：2015-06-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 中林诚 ,  大南佑介 ,  河西晋佐

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22

Abstract: 本发明涉及在具有带电粒子光学镜筒(2)、第一试样设置部(419)和隔膜(10)的带电粒子线装置中调整隔膜和试样的距离的方法，所述隔膜(10)用于将配置试样(6)的空间从所述带电粒子光学镜筒(2)内部隔离。调整中，使用具有第二试样设置部(400)的光学式装置(402)以及是能够在所述第一试样设置部和所述第二试样设置部共通地设置的形状的高度调整构件(403)。在光学式装置(402)内使用高度调整构件(403)来再现试样(6)与隔膜(10)的位置关系。并且，调整带电粒子显微镜装置的带有Z轴驱动机构的试样台(410)的高度以使试样(6)的表面位于光学式装置(402)的焦点位置。然后，将带有Z轴驱动机构的试样台(410)配置于带电粒子显微镜装置，进行观察。由此，能够安全且简便地调整隔膜与试样的距离。

公开(公告)号：CN107004555B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201580063022.5

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 奥村大河 ,  大岛卓 ,  大南佑介 ,  庄子美南 ,  久田明子 ,  米山明男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。

公开(公告)号：CN105518821B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201480048806.6

申请日：2014-03-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  西村雅子 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/28

Abstract: 在带电粒子光学系统与试样之间设置了带电粒子束可透射的隔膜的带电粒子束装置中，在试样存在凹凸的情况下，也防止试样与隔膜的接触。根据从检测器(3)输出的检测信号或根据该检测信号生成的图像，监视试样(6)与隔膜(10)的距离，上述检测器(3)检测通过照射初级带电粒子束从试样(6)放出的次级带电粒子。

公开(公告)号：CN105493224A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480044976.7

申请日：2014-03-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 河西晋佐 ,  大南佑介 ,  铃木宏征 ,  安岛雅彦

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01M3/02 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2802

Abstract: 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。

公开(公告)号：CN105103262A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480019441.4

申请日：2014-03-05

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 河西晋佐 ,  大南佑介 ,  安岛雅彦 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/026 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006

Abstract: 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。

公开(公告)号：CN104520966A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041393.4

申请日：2013-07-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征 ,  细谷幸太郎 ,  振木昌成

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。

公开(公告)号：CN105144337B

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201480013221.0

申请日：2014-01-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  佐藤贡 ,  内田宪孝 ,  麻生定光 ,  坂诘卓 ,  森下英郎 ,  伊东佑博 ,  大岛卓

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01N23/2251 ,  G01N23/2204 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有：将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。

公开(公告)号：CN104798172B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201380060806.3

申请日：2013-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大岛卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。

公开(公告)号：CN107004555A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063022.5

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 奥村大河 ,  大岛卓 ,  大南佑介 ,  庄子美南 ,  久田明子 ,  米山明男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/228 ,  H01J2237/2802

Abstract: 通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。

公开(公告)号：CN104685602B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201380051004.6

申请日：2013-09-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 河西晋佐 ,  大南佑介 ,  安岛雅彦 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2608

Abstract: 在进行大气压或与大气压大致同等压力的气体环境下的观察的带电粒子束装置中，将载置有试样的大气压空间与电子光学镜筒内部的真空空间隔离的隔膜由于使电子束透射因此非常薄，破损的可能性较高。更换隔膜时需要调整隔膜位置，在现有技术的方法中，无法容易地进行该隔膜位置的调整。在采用将真空环境与大气环境或气体环境分隔的薄膜的结构的带电粒子束装置中，具备：隔膜，其能够拆装，并以将载置有试样的空间的压力保持为比机箱内部的压力大的方式将载置有试样的空间隔离，并能够使一次带电粒子束透射或通过，以及可动部件，能够以保持载置有试样的空间的压力和机箱内部的压力的状态移动上述隔膜。