公开(公告)号：CN108226737A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711368608.X

申请日：2017-12-18

Applicant: FEI公司

Inventor： Y·博布罗夫 ,  C·A·坎波基亚罗

IPC: G01R31/26

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24564 ,  G01R31/26

Abstract: 本发明提供用于在IC半导体装置中进行故障分析的新技术，包括用以在正在电刺激受测装置(DUT)的同时或在所述装置靠其自身或在安装于电路板或其它模块中的主机系统内活动的同时实现在IC受测装置(DUT)内使用电子束技术进行电路探测的系统设计和方法。所述DUT可为封装IC或呈某种未封装形式的IC。为了在紧靠电子束工具外部创建局部抽空容积，抵靠或围绕所述DUT密封密封元件以获得局部密封。此类布置使得不需要对操作并监视所述DUT所需的可能成千上万信号进行真空馈通，并且进一步实现在DUT正在其正常环境中(诸如安装在其系统中的电路板上)或在无错测试器上进行操作时探测所述DUT。

公开(公告)号：CN107636791A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680030066.2

申请日：2016-08-11

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵福来 ,  安商丁 ,  薛仁皓

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

Abstract: 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

公开(公告)号：CN104798172A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060806.3

申请日：2013-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大岛卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。

公开(公告)号：CN101461026B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200780020701.X

申请日：2007-04-26

Applicant: FEI公司

Inventor： J·A·H·W·G·珀素恩 ,  A·T·恩格伦 ,  S·利克特尼格 ,  P·H·J·范多伦

IPC: H01J37/28 ,  F16J15/50

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006

Abstract: 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。

公开(公告)号：CN104798172B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201380060806.3

申请日：2013-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大岛卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。

公开(公告)号：CN104756223A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201380055784.1

申请日：2013-10-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明的试样收纳容器具备：将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。

公开(公告)号：CN104584180A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380043744.5

申请日：2013-07-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 佐久间宪之 ,  大南佑介

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件。带电粒子线装置(1c)所使用的带电粒子线装置用部件(56)具有安装于框体(3c)的框体(55)以及设置于框体(55)的隔膜元件(18a)。在隔膜元件(18a)形成有隔膜(19)，在被框体(3c)与框体(55)划分的真空室(4a)的内部的压力相比外部的压力相被减压了的状态下，该隔膜(19)对真空室(4a)的内部与外部气密地进行隔离并且供带电粒子线透射。另外，在隔膜元件(18a)以位于比隔膜(19)更靠试样工作台(22)侧的方式形成有防止试样(12)与隔膜(19)接触的缓冲膜(33)。

公开(公告)号：CN104520964A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041012.2

申请日：2013-06-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 菊池秀树 ,  上田浩大 ,  斋藤浩一郎

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/185 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204

Abstract: 本发明的目的在于减少因密封保持为真空的试样室与大气的O型圈的变形而产生的试样的漂动。一种试样支架(2)插入镜体(1)的电子显微镜，其特征在于，具备试样移动装置，该试样移动装置具备：气密上述电子显微镜的镜体(1)与上述试样支架(2)的O型圈(4)；在上述试样支架(2)的长边方向上滑动并在长边方向上对试样支架进行定位的滑筒(30)；气密上述滑筒(30)与镜体(1)的波纹管(32)；在试样支架(2)的长边方向上驱动滑筒(30)的单元(10)；以及在长边方向上对试样支架(2)进行定位的抵接部件(40)，并且具备连接上述抵接部件(40)与上述滑筒(30)的弹性体(31)。

公开(公告)号：CN103946749A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201280051562.8

申请日：2012-09-12

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： J·J·M·佩斯特

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03B27/58 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70841 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0266 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20285 ,  H02K41/02

Abstract: 一种目标定位装置，尤其用于光刻系统，其包括用于承载目标的载体(300)，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X-支撑台基座(401、402)，二者皆布置在公共基板(403)的顶部上，每一个X-支撑台基座承载一X-支撑台托架(404、405)，以及一Y-梁(406)，所述Y-梁包括用以承载所述载体并在第二方向(Y)上移动该载体的Y-支撑台(407)。所述Y-梁跨接该X-支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器(408、409)而被连接到该X-支撑台托架上。该装置还包括两个电机(M1、M2)，每一个用以沿着相应的X-支撑台基座驱动相应的X-支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。所述两个电机中的每一个被连接至一偏心凸轮或曲柄(410、411)，后者经由一曲柄轴(412、413)而被连接至该相对应的X-支撑台托架。

公开(公告)号：CN106569396B

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201610901826.4

申请日：2012-09-12

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： J·J·M·佩斯特

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03B27/58 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70841 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0266 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20285 ,  H02K41/02

Abstract: 一种目标定位装置，其包括用于承载目标的载体，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X‑支撑台基座，二者皆布置在公共基板的顶部上，每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架，以及一Y‑梁，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并移动该载体在第二方向(Y)上的Y‑支撑台。所述Y‑梁跨接该X‑支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器而被连接到该X‑支撑台托架上。该装置还包括两个电机，每一个用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。