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公开(公告)号：CN106575595A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580036950.2
申请日：2015-04-23
申请人： 代尔夫特理工大学
IPC分类号： H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/24455 , H01J2237/24495 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808
摘要： 本发明涉及用于检查样本的装置和方法。该装置包括：用于保持样本(15)的样本支持器(150)，用于生成基本带电粒子束(3)阵列的多波束带电粒子发生器，用于将该基本带电粒子束阵列定向到单独聚焦到该样本上的基本带电粒子束阵列的电磁透镜系统(13)，布置成用于检测在该基本带电粒子束撞击到该样本上时或者在该基本带电粒子束穿透过该样本之后由该聚焦基本带电粒子束产生的光子的多像素光子检测器(20),以及用于与将由该单独的聚焦基本带电粒子束的阵列中的至少两个相邻聚焦基本带电粒子束产生的光子(30，31，32)传送到该多像素光子检测器的不同和/或单独像素或者不同和/或单独像素群。
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公开(公告)号：CN104089966A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410017457.3
申请日：2014-01-15
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC分类号： H01J37/26 , G01N23/2254 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806 , H01J2237/2808 , H01J2237/2809
摘要： 本发明涉及一种方法和一种带电粒子束装置(1)，用于使用与物体(24)互相作用的带电粒子束来分析物体(24)。该物体(24)包括嵌入树脂(15B)中的样品(15A)。检测阴极发光光形式的互相作用辐射以识别布置有树脂(15B)的区域和布置有样品(15A)的区域。检测互相作用粒子以识别树脂(15B)和样品(15A)内的粒子，以通过使用EDX分析进行进一步分析。
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公开(公告)号：CN103999185A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201280057308.9
申请日：2012-11-28
申请人： 盖恩有限公司
CPC分类号： H01J37/228 , H01J37/26 , H01J2237/20 , H01J2237/2445 , H01J2237/24495 , H01J2237/2808
摘要： 一种侧进入透射电子显微镜支架包括从试样(130)采集阴极发光并将阴极发光有效耦合到并入所述托架的倾斜光纤(120)中的微型倾斜偏轴椭球镜(110)。该设计兼容所述支架的低温操作。透射电子显微镜试样对电子束部分透明，因此，试样上方和下方均能发光。偏轴镜和倾斜光纤的相同原理可用于采集试样上方和下方发出的光，但适合插入角度计及窄间隙极片之间操作所需的有限空间。可采用双重系统对比试样上方发出的光和下方发出的发光，从而提高分析技术的多功能性。
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公开(公告)号：CN103261879A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180045250.1
申请日：2011-09-16
申请人： 安托莱特公司
发明人： 珍·伯尼
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/22
CPC分类号： G21K1/00 , G01N23/2254 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/06333 , H01J2237/226 , H01J2237/2611 , H01J2237/2808 , H01J2237/30472
摘要： 一种产生阴极发光图像的方法，其包括以下步骤：产生强度可调节的带电粒子束；在样品上聚焦所述带电粒子束；瞬时选通由所述样品发出的阴极发光，从而提供时间选通阴极发光；针对样品上不同带电粒子束位置测量时间选通阴极发光用以产生阴极发光图像，对阴极发光图像去卷积，以改进所述阴极发光图像的分辨率。本发明还提供了实施该方法的装置。
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公开(公告)号：CN101241026A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810005485.8
申请日：2008-02-05
申请人： FEI公司
发明人： W·R·诺尔斯
CPC分类号： H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/256 , H01J37/28 , H01J2237/188 , H01J2237/2608 , H01J2237/2808
摘要： 本发明涉及一种粒子－光学装置，例如ESEM，用于同时通过粒子和光子来观察试样。压力限制装置(PLA)布置在ESEM的物镜和试样位置之间的隔膜中。试样位置与孔之间的距离足够小，以便使较大收集角的光子通过该孔。镜布置在隔膜和物镜之间。由于光子的较大收集角，可以获得极大NA。在试样位置和孔之间的较小距离还导致电子的散射比在ESEM(其中，镜布置在孔和试样位置之间)中产生的更少，因为电子只需要在高压区域中通过有限长度。实施例介绍了使用例如浸没透镜时的组合。
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公开(公告)号：CN104089966B
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201410017457.3
申请日：2014-01-15
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC分类号： H01J37/26 , G01N23/2254 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806 , H01J2237/2808 , H01J2237/2809
摘要： 本发明涉及种方法和种带电粒子束装置(1),用于使用与物体(24)互相作用的带电粒子束来分析物体(24)。该物体(24)包括嵌入树脂(15B)中的样品(15A)。检测阴极发光光形式的互相作用辐射以识别布置有树脂(15B)的区域和布置有样品(15A)的区域。检测互相作用粒子以识别树脂(15B)和样品(15A)内的粒子,以通过使用EDX分析进行进步分析。
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公开(公告)号：CN107636791A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680030066.2
申请日：2016-08-11
申请人： 韩国标准科学研究院
CPC分类号： H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/165 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2006 , H01J2237/204 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
摘要： 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。
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公开(公告)号：CN102405107B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201080016482.X
申请日：2010-04-15
申请人： FEI公司
IPC分类号： G01N23/083 , B01J37/20 , B25J7/00 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/228 , H01J37/20 , H01J2237/2808
摘要： 本发明涉及一种光学布置，特别是一种用于电子显微术应用的光学布置。这种布置被使用在对样品进行特性分析，在这种特性分析中，对样品的电子显微术测量和使用一个光学设置和/或使用一个用来探测光源的操控装置或一个扫描探头装置进行的测量同时进行。
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公开(公告)号：CN103261879B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201180045250.1
申请日：2011-09-16
申请人： 安托莱特公司
发明人： 珍·伯尼
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/22
CPC分类号： G21K1/00 , G01N23/2254 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/06333 , H01J2237/226 , H01J2237/2611 , H01J2237/2808 , H01J2237/30472
摘要： 一种产生阴极发光图像的方法，其包括以下步骤：产生强度可调节的带电粒子束；在样品上聚焦所述带电粒子束；瞬时选通由所述样品发出的阴极发光，从而提供时间选通阴极发光；针对样品上不同带电粒子束位置测量时间选通阴极发光用以产生阴极发光图像，对阴极发光图像去卷积，以改进所述阴极发光图像的分辨率。本发明还提供了实施该方法的装置。
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公开(公告)号：CN102405107A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201080016482.X
申请日：2010-04-15
申请人： 纳米工厂仪器有限公司
CPC分类号： H01J37/228 , H01J37/20 , H01J2237/2808
摘要： 本发明涉及一种光学布置，特别是一种用于电子显微术应用的光学布置。这种布置被使用在对样品进行特性分析，在这种特性分析中，对样品的电子显微术测量和使用一个光学设置和/或使用一个用来探测光源的操控装置或一个扫描探头装置进行的测量同时进行。
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