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公开(公告)号:CN102262997A
公开(公告)日:2011-11-30
申请号:CN201110122317.9
申请日:2011-05-12
申请人: FEI公司
IPC分类号: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/04 , G01N23/22
CPC分类号: H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804
摘要: 本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子,其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子,其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS,而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。
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公开(公告)号:CN106935464A
公开(公告)日:2017-07-07
申请号:CN201710084967.6
申请日:2017-02-17
申请人: 西北工业大学
IPC分类号: H01J37/28 , H01J37/20 , G01N23/20 , G01N23/203
CPC分类号: H01J37/28 , G01N23/20025 , G01N23/20058 , G01N23/203 , H01J37/20 , H01J2237/2802 , H01J2237/2803 , H01J2237/2804
摘要: 本发明涉及一种用于透射‑电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法,通过在传统的样品台基础上加了一个透射电镜样品安装夹,并固定其衍射角度(70°),对材料进行透射‑电子背散射衍射图像成像。提供了一种新的分析方法。透射电镜样品不仅可以在透射电镜上分析,还可以用在EBSD上利用背散射电子,同时,样品台倾角的精准确定固定了样品的位置,更容易安装,是更多的电子束轰击目标区域,减少了其它部分的影响,同时还可以清晰的获得花样与材料的对应关系,弄清显微图像对应的样品实际区域。本方法中所使用的样品台可以固定样品,并有固定的倾角,减少样品台带来的实验误差,提高成像的空间分辨率,同时也方便了操作者的实际操作。
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公开(公告)号:CN103733299B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201280039396.X
申请日:2012-05-28
申请人: 株式会社日立高新技术
IPC分类号: H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2444 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806
摘要: 本发明提供一种扫描电子显微镜,为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备:电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5),反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧,反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。
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公开(公告)号:CN104272426B
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201380021994.9
申请日:2013-03-25
申请人: 株式会社日立高新技术
IPC分类号: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/295
CPC分类号: H01J37/222 , H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/10 , H01J2237/24475 , H01J2237/24507 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804 , H01J2237/2805 , H01J2237/2826
摘要: 在现有技术中,通用的扫描电子显微镜中,可设定的最大加速电压低,因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此,没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段,本发明的特征在于,具备:电子源,其产生电子束;偏转器,其执行偏转,以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描;物镜,其使所述电子束会聚在所述样本上;检测器,其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子;和光圈,其配置在所述样本与所述检测器之间,对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制;所述电子束以规定的开角入射至样本,以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。
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公开(公告)号:CN104681382A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201410718566.8
申请日:2014-12-02
申请人: FEI公司
发明人: A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
CPC分类号: H01J37/244 , G01N23/225 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/153 , H01J2237/221 , H01J2237/2441 , H01J2237/24495 , H01J2237/2804 , H01J2237/2813 , H01J37/22
摘要: 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法,该方法包括下列步骤:使用检测器来拦截通量的至少一部分,以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij},由此,集合{Ij}的基数是M>1;对每个图像Ij中的每个像素pi,确定累积信号强度Sij,因此产生信号强度的相关集合{Sij};使用集合{Sij}计算下列值:每像素位置i的平均信号强度S;每像素位置i的S中的方差σ2S;将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图:表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图;表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
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公开(公告)号:CN104089966A
公开(公告)日:2014-10-08
申请号:CN201410017457.3
申请日:2014-01-15
申请人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC分类号: H01J37/26 , G01N23/2254 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806 , H01J2237/2808 , H01J2237/2809
摘要: 本发明涉及一种方法和一种带电粒子束装置(1),用于使用与物体(24)互相作用的带电粒子束来分析物体(24)。该物体(24)包括嵌入树脂(15B)中的样品(15A)。检测阴极发光光形式的互相作用辐射以识别布置有树脂(15B)的区域和布置有样品(15A)的区域。检测互相作用粒子以识别树脂(15B)和样品(15A)内的粒子,以通过使用EDX分析进行进一步分析。
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公开(公告)号:CN108027500A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201680051258.1
申请日:2016-09-19
申请人: 科磊股份有限公司
CPC分类号: H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24465 , H01J2237/2804
摘要: 本发明揭示具有暗场成像能力的多射束扫描电子显微镜SEM检验系统。SEM检验系统可包含电子源及至少一个光学装置。所述至少一个光学装置可经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个初级子射束且朝向目标递送所述多个初级子射束。设备还可包含检测器阵列,所述检测器阵列经配置以接收由所述目标响应于所述多个初级子射束而发射的多个图像子射束且产生所述目标的至少一个暗场图像。
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公开(公告)号:CN104681382B
公开(公告)日:2017-07-07
申请号:CN201410718566.8
申请日:2014-12-02
申请人: FEI 公司
发明人: A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
CPC分类号: H01J37/244 , G01N23/225 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/153 , H01J2237/221 , H01J2237/2441 , H01J2237/24495 , H01J2237/2804 , H01J2237/2813
摘要: 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法,该方法包括下列步骤:使用检测器来拦截通量的至少一部分,以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij},由此,集合{Ij}的基数是M>1;对每个图像Ij中的每个像素pi,确定累积信号强度Sij,因此产生信号强度的相关集合{Sij};使用集合{Sij}计算下列值:每像素位置i的平均信号强度S;每像素位置i的S中的方差σ2S;将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图:表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图;表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
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公开(公告)号:CN105359249B
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201480038531.8
申请日:2014-05-21
申请人: 株式会社日立高新技术
IPC分类号: H01J37/244 , H01J37/24
CPC分类号: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/20207 , H01J2237/20221 , H01J2237/24475 , H01J2237/2804
摘要: 本发明提供一种带电粒子线装置,能够预先把握能通过EBSD检测器分析的试样的分析位置,并能够在短时间内将试样调整至所期望的分析位置。该电子粒子束装置具备:带电粒子源(101);试样载物台(116);区别试样中的通过上述EBSD检测器能观察的部分及不能观察的部分区别并显示的图像显示部(117);输入利用上述EBSD检测器的观察位置的操作输入部(121);以能用上述EBSD检测器观察由上述操作输入部输入的观察位置的方式控制上述试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的控制部(118)。(111);带电粒子光学系统(115);EBSD检测器
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公开(公告)号:CN105359249A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201480038531.8
申请日:2014-05-21
申请人: 株式会社日立高新技术
IPC分类号: H01J37/244 , H01J37/24
CPC分类号: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/20207 , H01J2237/20221 , H01J2237/24475 , H01J2237/2804
摘要: 本发明提供一种带电粒子线装置,能够预先把握能通过EBSD检测器分析的试样的分析位置,并能够在短时间内将试样调整至所期望的分析位置。该电子粒子束装置具备:带电粒子源(111);带电粒子光学系统(115);EBSD检测器(101);试样载物台(116);区别试样中的通过上述EBSD检测器能观察的部分及不能观察的部分区别并显示的图像显示部(117);输入利用上述EBSD检测器的观察位置的操作输入部(121);以能用上述EBSD检测器观察由上述操作输入部输入的观察位置的方式控制上述试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的控制部(118)。
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