公开(公告)号：CN105849854B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201480070999.5

申请日：2014-12-22

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： P·I·谢弗斯

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24507

摘要： 本发明涉及一种用于将图案转移到目标上的带电粒子光刻系统，所述系统包括：目标定位设备，该目标定位设备包括具有用于支托目标的第一侧的目标支托架；带电粒子光学单元，该带电粒子光学单元用于生成带电粒子束、调制所述带电粒子束、并且将所述带电粒子束引向目标支托架的第一侧；以及传感器组装件，该传感器组装件包括：转换器元件，所述转换器元件用于将撞击在所述转换器元件上的带电粒子转换成光，其中转换器元件被布置在所述目标定位设备上；光传感器，所述光传感器用于检测光，其中光传感器被布置在离所述目标定位设备的一距离处；以及光学透镜，所述光学透镜被布置在转换器元件和光传感器之间以用于将源自所述转换器元件的光引向所述传感器。

公开(公告)号：CN104952679A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510132049.7

申请日：2015-03-25

申请人： FEI公司

发明人： P.波托塞克 ,  C.S.库伊曼 ,  H.N.斯林格兰德 ,  G.N.A.范维恩 ,  F.博霍贝 ,  J.S.发伯 ,  A.A.S.斯鲁特曼

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  G01N23/22 ,  G01N21/63

CPC分类号： H01J37/261 ,  G01N21/6458 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/427 ,  G02B21/0016 ,  H01J37/06 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2602

摘要： 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。

公开(公告)号：CN104272426A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380021994.9

申请日：2013-03-25

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 小柏刚 ,  佐藤贡 ,  今野充

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/295

CPC分类号： H01J37/222 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2805 ,  H01J2237/2826 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24465

摘要： 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。

公开(公告)号：CN101421814B

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN200780013079.X

申请日：2007-04-10

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 维克托·本维尼斯特 ,  爱德华·艾斯纳 ,  波·范德贝里

IPC分类号： H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  G21K5/10

CPC分类号： H01J37/3171 ,  G21K5/04 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31703

摘要： 本发明的实施例是关于一种用于调整被扫描离子射束的带状射束通量的方法。于此方法中，会以一扫描速率来扫描离子射束，而且会在扫描该离子射束时来测量多个动态射束轮廓。经修正的扫描速率会依据该被扫描离子射束的该多个经测量动态射束轮廓而被算出。该离子射束会以该经校正的扫描速率来扫描，以便产生经修正的带状离子射束。本发明还揭示其它方法与系统。

公开(公告)号：CN101322219B

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN200680045119.4

申请日：2006-11-17

申请人： 艾克塞利斯技术公司

发明人： R·雷斯梅尔 ,  B·范德贝尔格

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/31703

摘要： 本发明的一个或多个方面涉及便于确定在离子束与工件之间的相对方位的测量部件。测量部件对离子辐射是敏感的，并且通过相对于离子束移动测量部件而允许准确地确定测量部件与离子束之间的相对方位。测量部件以相对于工件的已知关系定向，使得可以建立工件与波束之间的相对方位。知道了离子束与工件之间的相对方位允许将工件定向在相对于已测量波束角的特定角度上，以取得更准确及更精确的工件掺杂而改善半导体的制造。

公开(公告)号：CN101361160A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200680051548.2

申请日：2006-12-12

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 布赖恩·弗瑞尔 ,  亚历山大·普瑞尔

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31703

摘要： 沿离子注入的轴的入射角的测量值通过利用正和负狭缝结构(104，106)获得。正狭缝结构具有入口开口(120)、出口开口(122)、以及在正方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。负狭缝结构具有入口开口(121)、出口开口(123)、以及在负方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。第一射束测量机构(214)测量正部分的射束电流，以获得正角度射束电流测量值。第二射束测量机构(216)测量负部分的射束电流，以获得负角度射束电流测量值。分析仪部件(126)利用正角度射流测量值和负角度射流测量值确定测量的入射角。

公开(公告)号：CN101110334A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200710136092.6

申请日：2007-07-17

申请人： 应用材料有限公司

发明人： E·科拉特 ,  R·D·戈德堡 ,  C·伯吉斯

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/02 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24542 ,  H01J2237/30477

摘要： 本发明涉及一种用于离子注入机的挡束器，其提供对入射于其上的离子束流的测量且可用于离子束优化。所提供的离子注入机的挡束器包括电荷收集器，其配备有分段表面以接收其上的离子束，其中所述表面被分成至少两端，一段绕另一段延伸，且其中两段中的每一段可用于当离子束入射于其上时，提供指示该段所收集的电荷的一个或多个信号。这样的挡束器是有利的，原因是其提供了离子束分布信息而无需扫描离子束。

公开(公告)号：CN101079362A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200610149348.2

申请日：2006-11-21

申请人： 日新意旺机械股份有限公司

发明人： 海势头圣 ,  滨本成显 ,  池尻忠司 ,  田中浩平

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  G01T1/29

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/30483 ,  H01J2237/31703

摘要： 当由前级叶片驱动装置沿y方向驱动前级束约束叶片时，测量经过前级束约束叶片侧面的外部并且入射到前级多点法拉第上的离子束的束电流的变化，以便得到在前级束约束叶片的位置处离子束沿y方向的束电流密度分布。当由后级叶片驱动装置沿y方向驱动后级束约束叶片时，测量经过后级束约束叶片侧面的外部并且入射到后级多点法拉第上的离子束的束电流的变化，以便得到在后级束约束叶片的位置处离子束沿y方向的束电流密度分布。通过使用这些结果，可以得到离子束在y方向中的角度偏差、发散角和/或束尺寸。

公开(公告)号：CN1691269A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510002060.8

申请日：2005-01-12

申请人： 应用材料公司

发明人： 阿德里安·默雷尔 ,  伯纳德·F·哈里森 ,  彼得·艾弗·图德·爱德华兹 ,  彼得·金德斯利 ,  克雷格·劳里 ,  彼得·迈克尔·班克斯 ,  逆濑卓郎 ,  马文·法利 ,  佐藤修 ,  杰弗里·吕丁

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/3023 ,  H01J49/30 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2487 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/31703 ,  H01J2237/31708 ,  H01L21/67005 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68764

摘要： 本发明提供了一种衬底注入方法以及实施该方法的离子注入器。注入器相对于注入射束提供对衬底的二维扫描，使得射束在衬底上画出扫描线的栅格。在离开衬底的转折点对射束电流进行测量，并且电流值被用来控制随后的快速扫描速度，以补偿射束电流的任何变化对慢速扫描方向上的剂量均匀性的影响。该扫描可以产生不相交的、均匀间隔的平行的扫描线的栅格，并且线之间的间距被选择以确保适当的剂量均匀性。

公开(公告)号：CN1031154A

公开(公告)日：1989-02-15

申请号：CN88103140

申请日：1988-05-21

申请人： 电子扫描公司

发明人： 詹姆斯·F·曼库索 ,  威廉·B·马克斯韦尔 ,  杰拉西莫斯·D·丹尼拉托斯

IPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24507

摘要： 本发明提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的装置。该装置可以包括一种扫描电子显微镜。本发明还提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的方法。