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公开(公告)号：CN103107056B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110354972.7
申请日：2011-11-10
申请人： 北京中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/317
CPC分类号： H01J49/30 , H01J37/05 , H01J37/3171 , H01J2237/055 , H01J2237/057
摘要： 本发明公开了一种宽带离子束分析器，用于从宽带离子束中分离出所需的离子，包括上磁极、下磁极、上励磁线圈、下励磁线圈、分析光栏和磁轭，其中：所述上磁极和下磁极均具有弧形的入射端边界和出射端边界；所述入射端边界和出射端边界的弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径。本发明通过采用具有弧形入射端边界和出射端边界的上磁极和下磁极，且弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径，使得宽带离子束中所需的离子能够在磁场中部理想聚焦，得到焦斑尺寸等于0的理想焦点，可以通过选取合适的最小的分析缝宽度而获得最佳的分析分辨率，实现宽带离子束中所需的离子与其他离子完全分离。
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公开(公告)号：CN101405830B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200780010223.4
申请日：2007-02-08
申请人： 凡利安股份有限公司
CPC分类号： H01J49/30 , H01J37/08 , H01J49/147
摘要： 一种质谱仪包括具有定义间隙的空间上分离的极靴的主磁体，主磁体在间隙中产生磁场；离子源，用于产生离子和加速离子使之进入间隙中的磁场，离子源位于间隙之外；以及离子检测器，用于检测离子源产生的以及通过磁场偏转的选中的离子种类。离子检测器位于间隙中选中离子种类的自然焦点处。可以在示踪气体泄漏检测器中使用所述质谱仪。
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公开(公告)号：CN1691269A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200510002060.8
申请日：2005-01-12
申请人： 应用材料公司
发明人： 阿德里安·默雷尔 , 伯纳德·F·哈里森 , 彼得·艾弗·图德·爱德华兹 , 彼得·金德斯利 , 克雷格·劳里 , 彼得·迈克尔·班克斯 , 逆濑卓郎 , 马文·法利 , 佐藤修 , 杰弗里·吕丁
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/265
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/3023 , H01J49/30 , H01J2237/20228 , H01J2237/20285 , H01J2237/24507 , H01J2237/2487 , H01J2237/30488 , H01J2237/31703 , H01J2237/31708 , H01L21/67005 , H01L21/68714 , H01L21/68764
摘要： 本发明提供了一种衬底注入方法以及实施该方法的离子注入器。注入器相对于注入射束提供对衬底的二维扫描，使得射束在衬底上画出扫描线的栅格。在离开衬底的转折点对射束电流进行测量，并且电流值被用来控制随后的快速扫描速度，以补偿射束电流的任何变化对慢速扫描方向上的剂量均匀性的影响。该扫描可以产生不相交的、均匀间隔的平行的扫描线的栅格，并且线之间的间距被选择以确保适当的剂量均匀性。
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公开(公告)号：CN105869982B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201610481866.8
申请日：2012-02-14
申请人： 麻省理工学院
CPC分类号： H01J49/30 , H01J49/0013 , H01J49/0031 , H01J49/022 , H01J49/147 , H01J49/24
摘要： 本发明公开一种用于质谱分析的方法、装置及系统。一种小型的低成本质谱仪，能够单元分辨10至50AMU的质量范围。该质谱仪包含相比于类似仪器增强设计性能的几项特征。高效的离子源实现相对较低的功耗而不牺牲测量分辨率。可变几何形状机械过滤器允许可变的分辨率。板载离子泵消除对外部泵浦源的需要。磁体和磁轭产生具有不同通量密度的磁场区域，以运行离子泵和扇形磁性质量分析器。真空室内的板载数字控制器和功率转换电路对质谱仪操作允许较大程度灵活性，消除对高压电馈通的需要。该小型的质谱仪感应进入气体的一百分比中的一小部分并向计算机返回质谱数据。
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公开(公告)号：CN101632140B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200780049154.8
申请日：2007-12-27
申请人： 监测仪器有限责任公司
IPC分类号： H01F7/02
CPC分类号： H01F7/0294 , H01F7/0278 , H01J49/30
摘要： 一种环形磁体组件，具有大体柱形的磁体，其限定了具有上端和下端的气隙。上、下面板分别布置在环形磁体的上部和环形磁体的下部。面板优选具有高磁导率。可以在气隙内布置质量分析仪。可以在本发明的环形磁性组件的气隙内布置离子发生器。可以提供一对垂直堆叠的磁性环形组件。在该实施例中，可以在一个气隙内布置质量分析仪，并且在另一个气隙内布置离子发生器。
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公开(公告)号：CN101114565B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200710110263.8
申请日：2007-06-08
申请人： 日新意旺机械股份有限公司
发明人： 土肥正二郎
IPC分类号： H01J49/02 , H01J37/02 , H01J37/244
CPC分类号： H01J49/30 , H01J37/1475 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/153 , H01J2237/31701
摘要： 在分析电磁体40中，沿离子束2的传播方向，将其中弯曲平面图形状的磁极的每一个划分成三个部分磁极81至83。朝弯曲部分的外部，加宽如从离子束2的入口计数的第一和第三部分磁极对81、83的间隙，以及朝弯曲部分的内部，加宽第二部分磁极对82的间隙。
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公开(公告)号：CN101405829B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200780010022.4
申请日：2007-02-08
申请人： 凡利安股份有限公司
IPC分类号： H01J49/14
CPC分类号： H01J49/147 , H01J49/30
摘要： 提供了用于示踪气体检漏的质谱仪以及用于操作质谱仪的方法。质谱仪包括使诸如氦之类的示踪气体离子化的离子源、偏转这些离子的磁铁以及检测这些偏转离子的检测器。离子源包括诸如灯丝之类的电子源。该方法包括在相对于电离室的足以使示踪气体离子化但不足以形成诸如三电荷碳之类的非期望离子的电子加速电势下操作电子源。
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公开(公告)号：CN105575754B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201510548657.6
申请日：2015-08-31
申请人： 日新离子机器株式会社
IPC分类号： H01J49/20
CPC分类号： H01J49/30 , H01J37/05 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J49/20 , H01J2237/055 , H01J2237/31701
摘要： 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。
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公开(公告)号：CN106468686A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201610665652.6
申请日：2016-08-12
申请人： 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
IPC分类号： G01N27/62
CPC分类号： H01J49/30 , B01D59/44 , H01J49/0027 , H01J49/025 , G01N27/62
摘要： 在质谱仪中，质荷分散元件根据所接收的离子的质荷比在空间上分离所接收的离子，以由此提供分散的离子束。检测所述分散的离子束的离子检测布置包括：至少一个初级离子检测器，所述初级离子检测器各自检测具有在对应的所希望的范围内的质荷比的在空间上分离的离子，且各自基于其对应的检测到的离子来提供对应的主射束信号；以及至少一个二次离子检测器，所述二次离子检测器各自在所述至少一个初级离子检测器检测所述在空间上分离的离子的同时，检测具有在所有所述所希望的范围之外的质荷比的离子，且各自基于其对应的检测到的离子来提供对应的背景信号。基于所述至少一个主射束信号和所述至少一个背景信号，为具有在所述所希望的范围内的质荷比的所述所接收的离子提供至少一个质量强度测量结果。
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公开(公告)号：CN105869982A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610481866.8
申请日：2012-02-14
申请人： 麻省理工学院
CPC分类号： H01J49/30 , H01J49/0013 , H01J49/0031 , H01J49/022 , H01J49/147 , H01J49/24
摘要： 本发明公开一种用于质谱分析的方法、装置及系统。一种小型的低成本质谱仪，能够单元分辨10至50AMU的质量范围。该质谱仪包含相比于类似仪器增强设计性能的几项特征。高效的离子源实现相对较低的功耗而不牺牲测量分辨率。可变几何形状机械过滤器允许可变的分辨率。板载离子泵消除对外部泵浦源的需要。磁体和磁轭产生具有不同通量密度的磁场区域，以运行离子泵和扇形磁性质量分析器。真空室内的板载数字控制器和功率转换电路对质谱仪操作允许较大程度灵活性，消除对高压电馈通的需要。该小型的质谱仪感应进入气体的一百分比中的一小部分并向计算机返回质谱数据。
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