发明授权
- 专利标题: 宽带离子束分析器
- 专利标题(英): Broadband ion beam analyzer
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申请号: CN201110354972.7申请日: 2011-11-10
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公开(公告)号: CN103107056B公开(公告)日: 2014-07-16
- 发明人: 彭立波 , 龙会跃 , 谢均宇
- 申请人: 北京中科信电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市中关村科技园通州园区光机电一体化产业基地兴光二街6号
- 专利权人: 北京中科信电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京烁科中科信电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市中关村科技园通州园区光机电一体化产业基地兴光二街6号
- 代理机构: 北京金信立方知识产权代理有限公司
- 代理商 黄威; 张彬
- 主分类号: H01J37/21
- IPC分类号: H01J37/21 ; H01J37/317
摘要:
本发明公开了一种宽带离子束分析器,用于从宽带离子束中分离出所需的离子,包括上磁极、下磁极、上励磁线圈、下励磁线圈、分析光栏和磁轭,其中:所述上磁极和下磁极均具有弧形的入射端边界和出射端边界;所述入射端边界和出射端边界的弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径。本发明通过采用具有弧形入射端边界和出射端边界的上磁极和下磁极,且弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径,使得宽带离子束中所需的离子能够在磁场中部理想聚焦,得到焦斑尺寸等于0的理想焦点,可以通过选取合适的最小的分析缝宽度而获得最佳的分析分辨率,实现宽带离子束中所需的离子与其他离子完全分离。
公开/授权文献
- CN103107056A 宽带离子束分析器 公开/授权日:2013-05-15