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公开(公告)号：CN1820194B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200380110408.4
申请日：2003-10-22
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G01N23/00
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/2251 , H01J37/28 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2449 , H01J2237/24495 , H01J2237/281 , H01J2237/2815 , H01J2237/2817
摘要： 本发明公开了一种使用多个检测器(14，40)检测电子的方法和系统，所述方法包括下述步骤：引导原电子束通过一柱(column)以接触被检测对象(晶元)；通过引入强静电场，将由被检测对象(晶元)反射或散射的电子引向多个内部检测器(14，40)，同时至少一些被引导的电子以相对于所述被检测对象(晶元)较小的角度反射或散射；以及接收来自至少一个内部检测器的检测信号。
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公开(公告)号：CN1406391A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN01805798.5
申请日：2001-01-29
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
发明人： 汉斯-彼得·福尤尔鲍姆
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/252 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/256 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/2449
摘要： 一种用于检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学柱。该柱包括一个带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；一个透镜系统，用于引导带电粒子束(10)自源(2)到样品(14)上；及一个外罩(40)，在运行期间该外罩被置为束流加强电位。
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公开(公告)号：CN107342205A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201610285009.0
申请日：2016-05-03
申请人： 睿励科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
摘要： 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。
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公开(公告)号：CN1222980C
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN01805798.5
申请日：2001-01-29
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
发明人： 汉斯-彼得·福尤尔鲍姆
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/252 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/256 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/2449
摘要： 一种用于检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学柱。该柱包括一个带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；一个透镜系统，用于引导带电粒子束(10)自源(2)到样品(14)上；及一个外罩(40)，在运行期间该外罩被置为束流加强电位。
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公开(公告)号：CN1031154A
公开(公告)日：1989-02-15
申请号：CN88103140
申请日：1988-05-21
申请人： 电子扫描公司
发明人： 詹姆斯·F·曼库索 , 威廉·B·马克斯韦尔 , 杰拉西莫斯·D·丹尼拉托斯
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/24507
摘要： 本发明提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的装置。该装置可以包括一种扫描电子显微镜。本发明还提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的方法。
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公开(公告)号：CN107342205B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201610285009.0
申请日：2016-05-03
申请人： 睿励科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
摘要： 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。
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公开(公告)号：CN1042029A
公开(公告)日：1990-05-09
申请号：CN89108595.5
申请日：1989-10-14
申请人： 电子扫描公司
发明人： 杰拉西莫斯·D·丹尼拉托斯
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/24507 , H01J2237/2605
摘要： 环境扫描电子显微镜的改进型气态探测器装置。该装置的电极几何结构能分离样品表面发出的各种信号。其第一电子探测器与压强限制孔整体形成收集放大的低能二次电子信号。位于压强限制孔稍下方的环状电极组件包括一个细环形成的收集放大的低能二次电子信号的内层电子探测器。及位于其外面的中间电子探测器以收集放大的高能背散射相关信号；还包括位于中间探测器之外的外层电子探测器，以收集放大的低能背散射相关信号。
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公开(公告)号：CN1039324A
公开(公告)日：1990-01-31
申请号：CN89101732.1
申请日：1989-02-18
申请人： 电子扫描公司
发明人： 杰拉西莫斯·D·达尼拉托斯 , 乔治·C·刘易斯
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/141 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/2448 , H01J2237/2449 , H01J2237/24507 , H01J2237/2608
摘要： 用于环境扫描电子显微镜的整套电子光学/差压抽气/图象信号检测系统。该显微镜包括：圆柱形物镜磁屏蔽罩14；罩14包括真空衬管22和束流聚焦装置20，一磁性环47邻接罩14的下端并有两个轴向设置的抽气口；至少两个非磁孔板34，36和一终端磁性孔板38装在环47的不同轴向位置并向其内延伸。这些孔板至少确定了分别连通所述抽气口的两个内部通道；一个可拆卸地安装并密封于孔板34，36之中心孔内的光阑座和电子检测装置。
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公开(公告)号：CN103779159B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201310506512.0
申请日：2013-10-24
IPC分类号： H01J37/12
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/12 , H01J2237/1501 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/24514
摘要： 一种减速场分析器使用带电粒子束系统的现有部件，消除了对插入单独的减速场分析器装置的需要。使用现有柱的部件减少了分析束所需的时间。使用现有柱的成像能力便于束与分析器的对准。
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公开(公告)号：CN105229772A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480028221.8
申请日：2014-05-14
申请人： 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
发明人： 新竹积
IPC分类号： H01J37/244 , G01N23/20 , H01J37/295
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/20 , H01J37/2955 , H01J2237/2449 , H01J2237/24578 , H01J2237/2544 , H01J2237/2803
摘要： 一种低能电子衍射(LEED)检测模块(100)，其包括：第一真空室，该第一真空室用于从样本(109)接收衍射电子；较大的第二真空室，该较大的第二真空室连接到第一真空室以接收已经通过第一真空室传输的衍射电子；二维电子检测器，该二维电子检测器设置在第二真空室中以检测衍射电子；电位屏蔽件(106)，该电位屏蔽件(106)总体上沿着第一真空室的内表面和第二真空室的内表面设置；磁透镜(105)，该磁透镜(105)扩展已经通过第一真空室朝向二维电子检测器传输的衍射电子束；以及总体上平面形的能量过滤器(103)，该总体上平面形的能量过滤器(103)排斥具有比撞击在样本(109)上的探测电子束(203)能量低的电子。
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