公开(公告)号：CN107342205B

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201610285009.0

申请日：2016-05-03

申请人： 睿励科学仪器(上海)有限公司

发明人： 罗浒 ,  张旭

IPC分类号： H01J37/244

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2813

摘要： 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。

公开(公告)号：CN107342205A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201610285009.0

申请日：2016-05-03

申请人： 睿励科学仪器(上海)有限公司

发明人： 罗浒 ,  张旭

IPC分类号： H01J37/244

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2813

摘要： 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。