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公开(公告)号：CN101110334A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710136092.6
申请日：2007-07-17
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/02 , H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24465 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明涉及一种用于离子注入机的挡束器，其提供对入射于其上的离子束流的测量且可用于离子束优化。所提供的离子注入机的挡束器包括电荷收集器，其配备有分段表面以接收其上的离子束，其中所述表面被分成至少两端，一段绕另一段延伸，且其中两段中的每一段可用于当离子束入射于其上时，提供指示该段所收集的电荷的一个或多个信号。这样的挡束器是有利的，原因是其提供了离子束分布信息而无需扫描离子束。
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公开(公告)号：CN101140847B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200710136246.1
申请日：2007-07-12
Applicant: 应用材料有限公司
Inventor： R·D·戈德堡
IPC: H01J37/02 , H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/0475 , H01J2237/18 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明涉及一种用于离子注入机中的离子束，其位于注入机中与半导体晶片相邻近的位置。这种导管用来约束在注入过程中晶片中和所使用的带电粒子。根据本发明，一种导管包括一个轴，沿着所述轴接收离子束的开口端，与所述轴基本平行的导管壁，和穿过所述导管壁的至少一个开口，所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道，所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度，及横向于所述长度的最小尺寸，以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。
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公开(公告)号：CN100533649C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200410080877.2
申请日：2004-10-11
Applicant: 应用材料有限公司
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J2237/082
Abstract: 本发明涉及离子源，其包括适用于离子注入机的阴极和反阴极。本发明提供了一种离子源，包括真空室；其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在电子轨迹中的反阴极；分别与阴极和反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向真空室外部的真空通路；以及位于真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过该真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以改变反阴极相对于阴极的电势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101140847A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710136246.1
申请日：2007-07-12
Applicant: 应用材料有限公司
Inventor： R·D·戈德堡
IPC: H01J37/02 , H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/0475 , H01J2237/18 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明涉及一种用于离子注入机中的离子束，其位于注入机中与半导体晶片相邻近的位置。这种导管用来约束在注入过程中晶片中和所使用的带电粒子。根据本发明，一种导管包括一个轴，沿着所述轴接收离子束的开口端，与所述轴基本平行的导管壁，和穿过所述导管壁的至少一个开口，所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道，所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度，及横向于所述长度的最小尺寸，以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。
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公开(公告)号：CN101110334B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200710136092.6
申请日：2007-07-17
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/02 , H01J37/317 , H01L21/265
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24465 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明涉及一种用于离子注入机的挡束器，其提供对入射于其上的离子束流的测量且可用于离子束优化。所提供的离子注入机的挡束器包括电荷收集器，其配备有分段表面以接收其上的离子束，其中所述表面被分成至少两端，一段绕另一段延伸，且其中两段中的每一段可用于当离子束入射于其上时，提供指示该段所收集的电荷的一个或多个信号。这样的挡束器是有利的，原因是其提供了离子束分布信息而无需扫描离子束。
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公开(公告)号：CN101147227A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200680009501.X
申请日：2006-03-22
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J2237/082
Abstract: 本发明涉及适合于离子注入机(10)的离子源(14)，其包括阴极(20)和反阴极(44)。典型的，离子源保持在真空下并使用弧室(16)中产生的等离子体制造离子。从弧室提取等离子体离子，之后将其注入到半导体晶片(12)中。根据本发明的离子源进一步包括发射电子到弧室中的阴极(40)；安置在弧室使得由此阴极发射的电子是入射在其上的电极(44)；用于给该电极加偏压的一个或一个以上的电压电位源(76)；和电压电位调节器(82)，其可操作用于在正向偏压电极从而作为阳极的电压电位源和负向偏压电极从而作为反阴极的电压电位源之间转换。
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公开(公告)号：CN101147227B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680009501.X
申请日：2006-03-22
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J2237/082
Abstract: 本发明涉及适合于离子注入机(10)的离子源(14)，其包括阴极(20)和反阴极(44)。典型的，离子源保持在真空下并使用弧室(16)中产生的等离子体制造离子。从弧室提取等离子体离子，之后将其注入到半导体晶片(12)中。根据本发明的离子源进一步包括发射电子到弧室中的阴极(40)；安置在弧室使得由此阴极发射的电子是入射在其上的电极(44)；用于给该电极加偏压的一个或一个以上的电压电位源(76)；和电压电位调节器(82)，其可操作用于在正向偏压电极从而作为阳极的电压电位源和负向偏压电极从而作为反阴极的电压电位源之间转换。
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公开(公告)号：CN1610051A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410080877.2
申请日：2004-10-11
Applicant: 应用材料有限公司
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J2237/082
Abstract: 本发明涉及离子源，其包括适用于离子注入机的阴极和反阴极。本发明提供了一种离子源，包括真空室；其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在电子轨迹中的反阴极；分别与阴极和反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向真空室外部的真空通路；以及位于真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过该真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以改变反阴极相对于阴极的电势。
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