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公开(公告)号：CN105321170A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510339651.8
申请日：2015-06-18
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G02B21/0024 , G02B21/0048 , G02B21/008 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/28 , H01J2237/2811 , G02B21/0052 , G06T2207/10061
Abstract: 一种使用扫描类型显微镜累积标本图像的方法,包括以下步骤：-提供从源导向通过照明器的辐射射束以辐射所述标本；-提供用于检测响应于所述辐射从所述标本发出的辐射通量的检测器；-使所述射束经受相对于标本表面的扫描运动，并作为扫描位置的函数记录所述检测器的输出，该方法还包括以下步骤：-在第一采样时段S1中，从跨标本稀疏分布的采样点的第一群集P1采集检测器数据；-重复这个程序以便累积在采样时段的相关联集合{Sn}期间采集的这种群集的集合{Pn}，每个集合的基数N> 1；-通过使用集合{Pn}作为对综合数学重构程序的输入来组合标本的图像，其中，作为所述组合过程的部分，进行数学配准校正来补偿集合{Pn}的不同成员之间的漂移失配。
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公开(公告)号：CN105280463A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510384825.2
申请日：2015-06-30
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/244 , G02B21/002 , G02B21/008 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/226
Abstract: 一种使用扫描类型显微镜积累标本的图像的方法，其中考虑在标本内的给定点pi，所述方法包括下面的步骤：-在第一探查期中，采用第一射束配置B1以关联的第一点扩散函数F1照射点pi，由此所述射束配置不同于所述测量参数；-在至少第二探查期中，采用第二射束配置B2以关联的第二点扩散函数F2照射点pi，由此：？ F2在点pi所在的公共交叠区Oi中部分地与F1交叠；？ F1和F2具有在Oi之外的各自的非交叠区F1’和F2’，-在所述计算机处理设备中使用源分离算法在与所述非交叠区F1’和F2’分开地考虑的所述交叠区Oi中执行图像重构。
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公开(公告)号：CN102931044A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210283730.8
申请日：2012-08-10
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G01N23/22 , G01N2223/423 , H01J37/28 , H01J2237/226
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安装在样本保持器上；-使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生交互作用，该交互作用导致从样本发出发射辐射；-使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，该方法包括如下步骤：-将所述检测器装置的输出On记录作为所述发射辐射的出射角θn的函数，从而针对θn的多个值汇集测量结果集合M={（On,θn）}，其中所述出射角θn是相对于与S正交的轴测得的；-使用计算机处理设备对测量结果集合M自动去卷积并将其空间分解成结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V表示在以表面S为参考的相关联的离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示样本的作为在其体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN103367085B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201310115360.1
申请日：2013-04-03
Applicant: FEI 公司
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：‑ 将样本安置在样本保持器上；‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；‑ 使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：‑ 包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；‑ 使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN104952679A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510132049.7
申请日：2015-03-25
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/30 , G01N23/22 , G01N21/63
CPC classification number: H01J37/261 , G01N21/6458 , G01N23/225 , G01N2223/418 , G01N2223/427 , G02B21/0016 , H01J37/06 , H01J37/1472 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/226 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/2448 , H01J2237/24507 , H01J2237/2602
Abstract: 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103367085A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310115360.1
申请日：2013-04-03
Applicant: FEI公司
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：将样本安置在样本保持器上；使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN102931044B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201210283730.8
申请日：2012-08-10
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G01N23/22 , G01N2223/423 , H01J37/28 , H01J2237/226
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：将样本安装在样本保持器上；使用‑粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生交互作用，该交互作用导致从样本发出发射辐射；使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，该方法包括如下步骤：将所述检测器装置的输出On记录作为所述发射辐射的出射角θn的函数，从而针对θn的多个值汇集测量结果集合M={（On,θn）}，其中所述出射角θn是相对于与S正交的轴测得的；使用计算机处理设备对测量结果集合M自动去卷积并将其空间分解成结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V表示在以表面S为参考的相关联的离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示样本的作为在其体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN103839743A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310610534.1
申请日：2013-11-27
Applicant: FEI公司
Inventor： P.波托塞克 , M.P.M.比尔霍夫 , T.维斯塔维 , L.德赖卡克
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/22 , G01N23/223
CPC classification number: H04N7/18 , G01N23/2251 , H01J37/265 , H01J37/28
Abstract: 采样样本和在显示器上显示获得的信息的方法包括：用N个重叠子帧的系列在样本上方扫描例如电子的射束，每个子帧的扫描位置不与其它子帧的扫描位置重叠；使用检测器检测响应于由射束对样本的照射而从样本发出的信号；以及在显示器上显示子帧，使得在N个扫描的系列之后，每个像素显示从来自扫描位置的信号得出的信息；特征在于其中在对第一子帧的扫描之后每个像素显示从第一子帧的扫描位置得出的信息；以及其中在对第二子帧的扫描之后每个像素显示在对第一子帧、第二子帧或这两个子帧的扫描期间得出的信息。这导致在样本上方示出更均匀电荷分布的扫描方法，导致例如更少的充电效应，同时即使在扫描第一子帧之后也供给良好可解析图像。
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公开(公告)号：CN105551921A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510710006.2
申请日：2015-10-28
Applicant: FEI公司
Abstract: 本发明涉及带电粒子显微镜中的复合扫描路径。一种扫描类型带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，用于保持样本；-源，用于产生带电粒子射束；-照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；-检测器，用于检测响应于所述辐照而从所述样本发射出的辐射通量；-扫描装置，用于产生所述射束和样本的相对扫描运动以便使射束在所述样本上描绘出扫描路径；-可编程控制器，其可以被调用来在所述显微镜中执行至少一个自动化程序，其特征在于：-所述扫描装置包括：？长行程扫描装置，用于实现相对大幅度和相对低频率的扫描运动；？短行程扫描装置，用于实现相对小幅度和相对高频率的扫描运动；-所述控制器可以被调用来描绘出包括相对小幅度的移动的扫描路径，使用所述短行程扫描装置来执行所述相对小幅度的移动，所述相对小幅度的移动组合成得到的相对大幅度的迁移，借助于所述长行程扫描装置来实现所述相对大幅度的迁移。
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公开(公告)号：CN105529235A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510677465.5
申请日：2015-10-16
Applicant: FEI公司
Inventor： P.波托塞克 , F.M.H.M.范拉亚霍文 , F.博霍贝 , R.肖恩马克斯 , P.C.蒂伊梅杰
IPC: H01J37/26 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/216 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜。一种带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，用于保持样本；-源，用于产生带电粒子射束；-照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；-检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发出的辐射通量；该照射器包括：-孔隙板，其包括在所述射束的路径中的孔隙区域，用于在射束撞击所述样本之前限定射束的几何形状，其中所述孔隙区域包括多个孔的分布，每个孔小于入射在所述孔隙板上的射束的直径。
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