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公开(公告)号：CN104377104A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410392945.2
申请日：2014-08-12
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/006 , H01J2237/2605 , H01J2237/262
Abstract: 本发明公开了使用环境透射电子显微镜的方法以及环境透射电子显微镜。环境透射电子显微镜遭受气体诱发的分辨率劣化。已发现该劣化并不是样品上的电流密度的函数，而是电子束的总电流的函数。发明人得出结论，劣化是由于ETEM的样品室中的气体的电离而引起的，并且提出使用样品室中的电场来移除电离气体，从而减小气体诱发的分辨率劣化。电场不需要是强场，并且能通过例如使样品114相对于样品室138偏置而引起。经由电压源144施加的100V的偏置电压足以实现气体诱发的分辨率劣化的显著改善。极化并不是重要的。备选地，能通过例如将电偏置导线或纱网154离轴地放置在样品室中来使用垂直于光轴104的电场。
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公开(公告)号：CN103531427B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201310265180.1
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H01J37/26 , H01J37/295 , H01J37/3056 , H01J2237/2067 , H01J2237/208 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24455 , H01J2237/2447 , H01J2237/2611 , H01J2237/2614 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。
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公开(公告)号：CN105529235A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510677465.5
申请日：2015-10-16
Applicant: FEI公司
Inventor： P.波托塞克 , F.M.H.M.范拉亚霍文 , F.博霍贝 , R.肖恩马克斯 , P.C.蒂伊梅杰
IPC: H01J37/26 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/216 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜。一种带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，用于保持样本；-源，用于产生带电粒子射束；-照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；-检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发出的辐射通量；该照射器包括：-孔隙板，其包括在所述射束的路径中的孔隙区域，用于在射束撞击所述样本之前限定射束的几何形状，其中所述孔隙区域包括多个孔的分布，每个孔小于入射在所述孔隙板上的射束的直径。
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公开(公告)号：CN103681188A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310397481.X
申请日：2013-09-04
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/153 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明的名称是探查和校正带电粒子透镜系统中的像差的方法，透镜系统具有包括物平面的物空间和包括像平面的像空间，由此放置在物平面上的物体能够通过透镜系统而被成像到所述像平面上，透镜系统还具有入射光瞳。本发明的方法包括以下步骤：选择物平面上的固定轴心点；导引带电粒子射束通过轴心点、入射光瞳以及透镜系统并且到像平面上，射束相对于入射光瞳的面积具有相对小的横截面积；改变射束通过轴心点的定向，以便在入射光瞳上描绘出入射图形并且在像平面上描绘出对应的像图形；记录像图形；在透镜系统的一系列不同焦点设定处重复这个过程，从而在不同焦点设定处采集被记录的像图形的集合；分析该集合以便从其得到透镜像差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108807120A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810393514.6
申请日：2018-04-27
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/12 , H01J37/143
Abstract: 公开了带电粒子显微镜中的枪透镜设计。一种带电粒子显微镜，包括：‑真空外壳；‑源，用于产生带电粒子的束；‑样品支架，用于保持样品；‑照明器，被提供在所述源和样品支架之间，并且在所述束的传播方向上包括：▪源透镜；▪聚光器系统；‑检测器，用于检测响应于由所述束的照射而从样品发出的辐射，其中，所述源透镜是复合透镜，其在所述传播方向上包括：‑磁透镜，包括永磁体，所述永磁体被部署在所述真空外壳之外但是在其内产生磁场；‑可变静电透镜。
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公开(公告)号：CN103531427A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310265180.1
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H01J37/26 , H01J37/295 , H01J37/3056 , H01J2237/2067 , H01J2237/208 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24455 , H01J2237/2447 , H01J2237/2611 , H01J2237/2614 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。
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公开(公告)号：CN106653537A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610729771.3
申请日：2016-08-26
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/05 , H01J37/14 , H01J37/22 , H01J37/263 , H01J2237/057 , H01J2237/1534 , H01J2237/2802 , H01J37/261 , H01J37/265
Abstract: 本发明公开具有增强的能量范围的柱后滤波器。本发明涉及针对（扫描）透射电子显微镜（（S）TEM）的柱后过滤器（PCF）。传统上，这些过滤器使用在EFTEM和EELS模式二者中同样的在狭缝平面之前的光学元件的激发。尽管这便于本领域中的技术人员开发和调谐PCF的任务，由于其将自由度数目减少到可管理的数量。发明人发现用来确定针对EELS模式的狭缝平面之前的光学元件的设置，其与EFTEM模式不同，并且其中PCF在EELS模式中的性能改进（特别地是可以被成像的相对能量范围），而没有使PCF在EFTEM模式中的性能降级。
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公开(公告)号：CN103681188B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201310397481.X
申请日：2013-09-04
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/153 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明的名称是探查和校正带电粒子透镜系统中的像差的方法，透镜系统具有包括物平面的物空间和包括像平面的像空间，由此放置在物平面上的物体能够通过透镜系统而被成像到所述像平面上，透镜系统还具有入射光瞳。本发明的方法包括以下步骤：选择物平面上的固定轴心点；导引带电粒子射束通过轴心点、入射光瞳以及透镜系统并且到像平面上，射束相对于入射光瞳的面积具有相对小的横截面积；改变射束通过轴心点的定向，以便在入射光瞳上描绘出入射图形并且在像平面上描绘出对应的像图形；记录像图形；在透镜系统的一系列不同焦点设定处重复这个过程，从而在不同焦点设定处采集被记录的像图形的集合；分析该集合以便从其得到透镜像差。
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公开(公告)号：CN105405734A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510554068.9
申请日：2015-09-02
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/226 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/057 , H01J2237/15 , H01J2237/2007 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：-样本夹持器，用于夹持样本；-源，用于产生带电粒子的射束；-照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；-成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：-使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；-在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；-使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；-使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。
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