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公开(公告)号：CN103681189A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310414456.8
申请日：2013-09-12
Applicant: FEI公司
CPC classification number: G01N23/046 , G01N23/2251 , G01N2223/419 , G06T11/005 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802 , H01J2237/2807
Abstract: 一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：提供带电粒子束；在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合；数学地组合来自所述集合的图像以便构造合成图像，所述方法包括下面的步骤：选择第二系列的样本倾斜角；在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据；在构造所述合成图像中采用所述合成数据，所述频谱图例如可以使用从包括EDX、EELS、EFTEM及其组合的组中选择的技术而被获得。
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公开(公告)号：CN103531427A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310265180.1
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H01J37/26 , H01J37/295 , H01J37/3056 , H01J2237/2067 , H01J2237/208 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24455 , H01J2237/2447 , H01J2237/2611 , H01J2237/2614 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。
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公开(公告)号：CN103531427B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201310265180.1
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H01J37/26 , H01J37/295 , H01J37/3056 , H01J2237/2067 , H01J2237/208 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24455 , H01J2237/2447 , H01J2237/2611 , H01J2237/2614 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。
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