公开(公告)号：CN103531427A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310265180.1

申请日：2013-06-28

Applicant: FEI公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  B.J.詹森 ,  T.G.米勒 ,  D.福尔德 ,  I.拉滋

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/04 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/04 ,  H01J37/26 ,  H01J37/295 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2067 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。

公开(公告)号：CN103681188B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201310397481.X

申请日：2013-09-04

Applicant: FEI公司

Inventor： I.拉滋 ,  G.范杜恩恩 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称是探查和校正带电粒子透镜系统中的像差的方法，透镜系统具有包括物平面的物空间和包括像平面的像空间，由此放置在物平面上的物体能够通过透镜系统而被成像到所述像平面上，透镜系统还具有入射光瞳。本发明的方法包括以下步骤：选择物平面上的固定轴心点；导引带电粒子射束通过轴心点、入射光瞳以及透镜系统并且到像平面上，射束相对于入射光瞳的面积具有相对小的横截面积；改变射束通过轴心点的定向，以便在入射光瞳上描绘出入射图形并且在像平面上描绘出对应的像图形；记录像图形；在透镜系统的一系列不同焦点设定处重复这个过程，从而在不同焦点设定处采集被记录的像图形的集合；分析该集合以便从其得到透镜像差。

公开(公告)号：CN103531427B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201310265180.1

申请日：2013-06-28

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  B.J.詹森 ,  T.G.米勒 ,  D.福尔德 ,  I.拉滋

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/04 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/04 ,  H01J37/26 ,  H01J37/295 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2067 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。

公开(公告)号：CN103681188A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310397481.X

申请日：2013-09-04

Applicant: FEI公司

Inventor： I.拉滋 ,  G.范杜恩恩 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称是探查和校正带电粒子透镜系统中的像差的方法，透镜系统具有包括物平面的物空间和包括像平面的像空间，由此放置在物平面上的物体能够通过透镜系统而被成像到所述像平面上，透镜系统还具有入射光瞳。本发明的方法包括以下步骤：选择物平面上的固定轴心点；导引带电粒子射束通过轴心点、入射光瞳以及透镜系统并且到像平面上，射束相对于入射光瞳的面积具有相对小的横截面积；改变射束通过轴心点的定向，以便在入射光瞳上描绘出入射图形并且在像平面上描绘出对应的像图形；记录像图形；在透镜系统的一系列不同焦点设定处重复这个过程，从而在不同焦点设定处采集被记录的像图形的集合；分析该集合以便从其得到透镜像差。