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公开(公告)号：CN103531427B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201310265180.1
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H01J37/26 , H01J37/295 , H01J37/3056 , H01J2237/2067 , H01J2237/208 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24455 , H01J2237/2447 , H01J2237/2611 , H01J2237/2614 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。
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公开(公告)号：CN105588742A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510749549.5
申请日：2015-11-06
Applicant: FEI公司
Abstract: 描述了促进薄片的自动化提取并且将薄片附着到样本格栅以在透射式电子显微镜上进行查看的技术。本发明的一些实施例涉及使用机器视觉来确定薄片、探针和/或TEM格栅的位置，以引导探针到薄片的附着以及薄片到TEM格栅的附着。促进机器视觉的使用的技术包括对探针尖端成形，使得其位置可以易于由图像识别软件来识别。图像相减技术可以用于确定附着到探针的薄片的位置，以将薄片移动到TEM格栅以供附着。在一些实施例中，在探针上或在薄片上研磨参考结构，以促进图像识别。
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公开(公告)号：CN104048979A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410094487.4
申请日：2014-03-14
Applicant: FEI公司
Inventor： T.G.米勒
IPC: G01N23/22
CPC classification number: G01B15/00 , G01B2210/56 , G06T7/0004 , G06T7/60 , G06T2207/10056 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J2237/24578 , H01J2237/2814
Abstract: 多重图像度量。使用源自一条或多条带电粒子束的多张已配准图像执行度量。测量使来自一张图像的在第二图像中不可见的特征组合以确定从单张图像不能确定的关系。在一个实施例中，测量使用来自不同元素地图的特征来确定两个特征之间的关系，如在距离该第二图像上的特征一定距离确定的位置处的该第一图像内的两个特征之间的距离或角度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103675358A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310440696.5
申请日：2013-09-25
Applicant: FEI公司
IPC: G01Q30/20 , H01L21/302
CPC classification number: G01N1/28 , G01N1/32 , H01J37/02 , H01J37/20 , H01J37/3023 , H01J37/3056 , H01J2237/31745
Abstract: 公开了用于基底的非原位分析的系统和方法。本发明披露了一种用于制作供在非原位TEM、SEM、或STEM程序中使用的不对称薄层的方法和系统。薄层的形状提供用于容易定向，从而使得可以在化学分析的TEM、SEM、或STEM程序中来自碳膜最少的光学和光谱干扰的条件下将该薄层内的相关区放置在碳膜内的孔上。
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公开(公告)号：CN103674635A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310386836.5
申请日：2013-08-30
Applicant: FEI公司
IPC: G01N1/28
CPC classification number: C23F1/04 , G01N1/32 , H01J37/3023 , H01J37/3056 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明提供一种用于使用聚焦离子束形成透射电子显微术样品薄层的方法、系统以及计算机可读介质，包括将高能聚焦离子束引导向大块量材料；用该高能聚焦离子束铣削掉该多余量的材料，以产生带有一个或多个具有破坏层的暴露面的半成品样品薄层；对该聚焦离子束的清除速率进行表征；对清除速率进行表征之后，将该低能聚焦离子束引导向该半成品样品薄层一段预先确定的铣削时间，以便从该低能聚焦离子束上单位面积发送规定剂量的离子；以及用该低能聚焦离子束铣削该半成品样品薄层以清除至少一部分破坏层，以便产生包括至少一部分有关特征的成品样品薄层。
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公开(公告)号：CN103531427A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310265180.1
申请日：2013-06-28
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H01J37/26 , H01J37/295 , H01J37/3056 , H01J2237/2067 , H01J2237/208 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24455 , H01J2237/2447 , H01J2237/2611 , H01J2237/2614 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤：根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。
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公开(公告)号：CN111915551B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202010381259.0
申请日：2020-05-08
Applicant: FEI 公司
Abstract: 启用人工智能的过程终点检测。公开了用于实施启用人工智能的制备终点检测的方法和系统。示例方法至少包含：获得样品的表面的图像，所述样品包含多个特征；对所述图像进行分析以确定是否已经到达终点，所述终点基于可在所述图像中观察到的所述多个特征中的感兴趣的特征；以及基于未到达所述终点，从所述样品的所述表面去除一材料层。
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