公开(公告)号：CN104979151A

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201510171305.3

申请日：2015-04-13

Applicant: FEI公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  V.布罗登 ,  M.施米德特

IPC: H01J37/26 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N1/44 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及高容量TEM栅格，特别是一种TEM栅格提供立柱，立柱具有台阶，台阶增加了能附连到栅格上的样品数量。在某些实施例中，每个立柱包括单侧楼梯台阶配置。一种用于提取多种样品的方法包括提取样品并且将样品附连到立柱的不同楼梯台阶上。

公开(公告)号：CN106663585A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580040717.1

申请日：2015-06-11

Applicant: FEI 公司

Inventor： V.布罗登

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N23/2208 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 用于用双射束系统进行样本的切片与查看处理的方法、设备以及系统。所述切片与查看处理包括使在样本表面中形成的沟槽的垂直壁暴露；通过在壁相对于询问射束处于第一取向的同时用该射束询问壁来捕捉壁的第一图像；通过在壁相对于射束处于第二取向的同时用射束询问壁来捕捉壁的第二图像，其中，壁上的表面点与参考点之间的在第一图像中的第一距离不同于参考点与表面点之间的在第二图像中的第二距离；使用第一距离和第二距离来确定所述表面点的标高；以及使用所述标高向壁的形貌拟合曲线。

公开(公告)号：CN105588742A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201510749549.5

申请日：2015-11-06

Applicant: FEI公司

Inventor： V.布罗登 ,  J.布莱克伍德 ,  M.施米德特 ,  D.特里维迪 ,  R.J.杨 ,  T.G.米勒 ,  B.R.小劳思 ,  S.斯通 ,  T.滕普莱顿

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/04

Abstract: 描述了促进薄片的自动化提取并且将薄片附着到样本格栅以在透射式电子显微镜上进行查看的技术。本发明的一些实施例涉及使用机器视觉来确定薄片、探针和/或TEM格栅的位置，以引导探针到薄片的附着以及薄片到TEM格栅的附着。促进机器视觉的使用的技术包括对探针尖端成形，使得其位置可以易于由图像识别软件来识别。图像相减技术可以用于确定附着到探针的薄片的位置，以将薄片移动到TEM格栅以供附着。在一些实施例中，在探针上或在薄片上研磨参考结构，以促进图像识别。