公开(公告)号：CN103824798A

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201310566530.8

申请日：2013-11-14

Applicant: FEI公司

Inventor： J.阿加瓦奇

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/31749

Abstract: 在此披露了一种用于对放置在真空室内的样品进行对准从而使得样品被定向成与聚焦离子束垂直的方法。使用聚焦例程确定样品表面上不同斑点的位置。不同斑点的位置用于创建确定所需要的准确校准的影像线或影像平面。然后，该影像线或影像平面用于对样品台进行校准，从而使得样品被对准成基本上与聚焦离子束垂直。

公开(公告)号：CN103675358A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310440696.5

申请日：2013-09-25

Applicant: FEI公司

Inventor： T.G.米勒 ,  J.阿加瓦奇 ,  D.希尔 ,  M.斯特劳斯 ,  G.N.A.范韦恩

IPC: G01Q30/20 ,  H01L21/302

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/02 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3023 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31745

Abstract: 公开了用于基底的非原位分析的系统和方法。本发明披露了一种用于制作供在非原位TEM、SEM、或STEM程序中使用的不对称薄层的方法和系统。薄层的形状提供用于容易定向，从而使得可以在化学分析的TEM、SEM、或STEM程序中来自碳膜最少的光学和光谱干扰的条件下将该薄层内的相关区放置在碳膜内的孔上。

公开(公告)号：CN103674635A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310386836.5

申请日：2013-08-30

Applicant: FEI公司

Inventor： T.G.米勒 ,  J.阿加瓦奇 ,  M.莫里亚蒂

IPC: G01N1/28

CPC classification number: C23F1/04 ,  G01N1/32 ,  H01J37/3023 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明提供一种用于使用聚焦离子束形成透射电子显微术样品薄层的方法、系统以及计算机可读介质，包括将高能聚焦离子束引导向大块量材料；用该高能聚焦离子束铣削掉该多余量的材料，以产生带有一个或多个具有破坏层的暴露面的半成品样品薄层；对该聚焦离子束的清除速率进行表征；对清除速率进行表征之后，将该低能聚焦离子束引导向该半成品样品薄层一段预先确定的铣削时间，以便从该低能聚焦离子束上单位面积发送规定剂量的离子；以及用该低能聚焦离子束铣削该半成品样品薄层以清除至少一部分破坏层，以便产生包括至少一部分有关特征的成品样品薄层。