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公开(公告)号：CN102272878B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN200980153190.8
申请日：2009-11-02
Applicant: FEI公司
Inventor： R.J.杨 , B.彼得森 , M.莫里亚蒂 , R.J.P.G.尚珀斯
CPC classification number: H01J37/3056 , G01N1/286 , H01J37/304 , H01J2237/24455 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确终点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动终点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使终点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。
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公开(公告)号：CN102809496A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210178011.X
申请日：2012-06-01
Applicant: FEI公司
IPC: G01N1/28
CPC classification number: G01N1/32 , G01N1/286 , G01N2001/2886 , H01J37/02 , H01J37/3056 , H01J2237/20 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01L21/02318
Abstract: 本发明涉及制备用于TEM成像的薄样本的方法。本发明的目的在于提供一种方法和设备，用于以减少或防止弯曲和垂落的方式制备TEM样本。本发明的优选实施例在制备样本的过程期间把材料沉积在TEM样本的面上。在一些优选实施例中，该材料能够在减薄相反面之前沉积在已经被减薄的样本面上，这能够用于加强样本的结构完整性并再填补由于垂落现象而被过度减薄的区域。在优选实施例中，材料也能够沉积在正被铣削的面上，这能够用于减少或消除样本面上的垂落。
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公开(公告)号：CN102394209A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110252293.9
申请日：2009-11-02
Applicant: FEI公司
Inventor： R.J.杨 , B.彼得森 , M.莫里亚蒂 , R.J.P.G.尚珀斯
IPC: H01J37/305 , H01J37/304 , G01N1/28
CPC classification number: H01J37/3056 , G01N1/286 , H01J37/304 , H01J2237/24455 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及样本厚度的测量和端点确定。一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确端点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动端点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使端点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102809496B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201210178011.X
申请日：2012-06-01
Applicant: FEI公司
IPC: G01N1/28
CPC classification number: G01N1/32 , G01N1/286 , G01N2001/2886 , H01J37/02 , H01J37/3056 , H01J2237/20 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01L21/02318
Abstract: 本发明涉及制备用于TEM成像的薄样本的方法。本发明的目的在于提供一种方法和设备，用于以减少或防止弯曲和垂落的方式制备TEM样本。本发明的优选实施例在制备样本的过程期间把材料沉积在TEM样本的面上。在一些优选实施例中，该材料能够在减薄相反面之前沉积在已经被减薄的样本面上，这能够用于加强样本的结构完整性并再填补由于垂落现象而被过度减薄的区域。在优选实施例中，材料也能够沉积在正被铣削的面上，这能够用于减少或消除样本面上的垂落。
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公开(公告)号：CN104303257A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201380026621.0
申请日：2013-05-21
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/3026 , G01N1/32 , H01J2237/31745
Abstract: 一种用于生产用于TEM观察的薄的薄片的方法和设备。所述方法的步骤是鲁棒的，并且可以用于以自动化工艺生产薄片。在一些实施例中，在形成薄片之前，沉积保护涂层，所述保护涂层具有与工件的溅射速率匹配的溅射速率。在一些实施例中，薄片的底部远离感兴趣的特征倾斜，其在薄化期间保持所述薄片稳定并且减少移动。在一些实施例中，基准被用于定位所述射束以用于最终薄化，而不使用薄片的边缘。在一些实施例中，在高离子能量最终薄化之后完成突出部，以保持所述薄片更加稳定。在一些实施例中，散焦低离子能量和图案刷新延迟被用于最终切割以减少薄片的变形。
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公开(公告)号：CN103674635A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310386836.5
申请日：2013-08-30
Applicant: FEI公司
IPC: G01N1/28
CPC classification number: C23F1/04 , G01N1/32 , H01J37/3023 , H01J37/3056 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明提供一种用于使用聚焦离子束形成透射电子显微术样品薄层的方法、系统以及计算机可读介质，包括将高能聚焦离子束引导向大块量材料；用该高能聚焦离子束铣削掉该多余量的材料，以产生带有一个或多个具有破坏层的暴露面的半成品样品薄层；对该聚焦离子束的清除速率进行表征；对清除速率进行表征之后，将该低能聚焦离子束引导向该半成品样品薄层一段预先确定的铣削时间，以便从该低能聚焦离子束上单位面积发送规定剂量的离子；以及用该低能聚焦离子束铣削该半成品样品薄层以清除至少一部分破坏层，以便产生包括至少一部分有关特征的成品样品薄层。
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公开(公告)号：CN102272878A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200980153190.8
申请日：2009-11-02
Applicant: FEI公司
Inventor： R.J.杨 , B.彼得森 , M.莫里亚蒂 , R.J.P.G.尚珀斯
CPC classification number: H01J37/3056 , G01N1/286 , H01J37/304 , H01J2237/24455 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确端点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动端点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使端点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。
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公开(公告)号：CN102394209B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201110252293.9
申请日：2009-11-02
Applicant: FEI公司
Inventor： R.J.杨 , B.彼得森 , M.莫里亚蒂 , R.J.P.G.尚珀斯
IPC: H01J37/305 , H01J37/304 , G01N1/28
CPC classification number: H01J37/3056 , G01N1/286 , H01J37/304 , H01J2237/24455 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及样本厚度的测量和终点确定。一种用于TEM样本产生的改进的方法。SEM-STEM检测器在双射束FIB/SEM中的使用允许使用FIB对样本进行薄化，同时使用STEM信号来监视样本厚度。本发明的优选实施例能够通过使用可再现且适合于自动化的精确终点检测方法来测量S/TEM样本的厚度或产生S/TEM样本。优选实施例还使得能够在TEM薄片产生过程中进行自动终点确定，并在手动薄化期间为用户提供关于样本厚度的直接反馈。本发明的优选实施例因此提供用于确定样本薄化的缺点的改进方法和将部分地或完全地使终点确定自动化以提高TEM样本产生的生产量和可再现性的方法。
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