公开(公告)号：CN105529235A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201510677465.5

申请日：2015-10-16

申请人： FEI公司

发明人： P.波托塞克 ,  F.M.H.M.范拉亚霍文 ,  F.博霍贝 ,  R.肖恩马克斯 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/147

CPC分类号： H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2802

摘要： 本发明涉及具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜。一种带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，用于保持样本；-源，用于产生带电粒子射束；-照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；-检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发出的辐射通量；该照射器包括：-孔隙板，其包括在所述射束的路径中的孔隙区域，用于在射束撞击所述样本之前限定射束的几何形状，其中所述孔隙区域包括多个孔的分布，每个孔小于入射在所述孔隙板上的射束的直径。