公开(公告)号：CN104865276B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201510087134.6

申请日：2015-02-25

Applicant: FEI 公司

Inventor： I.拉兹 ,  E.G.T.博思 ,  F.博格霍贝 ,  B.布伊斯塞 ,  K.S.塞德 ,  S.拉扎

IPC: G01N23/04

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：‑提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；‑提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；‑使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：‑把检测器体现为包括多个检测分段；‑组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；‑通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。

公开(公告)号：CN105405734A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510554068.9

申请日：2015-09-02

Applicant: FEI公司

Inventor： E.F.德荣格 ,  S.拉扎 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  R.格尔恩克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：-样本夹持器，用于夹持样本；-源，用于产生带电粒子的射束；-照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；-成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：-使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；-在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；-使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；-使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。

公开(公告)号：CN102971824A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201180034572.6

申请日：2011-07-14

Applicant: FEI公司

Inventor： S.拉扎 ,  B.H.弗雷塔 ,  P.C.蒂梅耶

IPC: H01J37/28 ,  G01N21/25

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种扫描共焦透射电子显微镜包括样品下方的退扫描偏转器和校正器。所述显微镜使用检测器，所述检测器优选地显著大于显微镜的分辨率，并且被放置在实像平面中，这提供了改进的对比度，特别是对于轻元素。

公开(公告)号：CN102971824B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201180034572.6

申请日：2011-07-14

Applicant: FEI公司

Inventor： S.拉扎 ,  B.H.弗雷塔 ,  P.C.蒂梅耶

IPC: H01J37/28 ,  G01N21/25

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种扫描共焦透射电子显微镜包括样品下方的退扫描偏转器和校正器。所述显微镜使用检测器，所述检测器优选地显著大于显微镜的分辨率，并且被放置在实像平面中，这提供了改进的对比度，特别是对于轻元素。

公开(公告)号：CN104865276A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510087134.6

申请日：2015-02-25

Applicant: FEI公司

Inventor： I.拉兹 ,  E.G.T.博思 ,  F.博格霍贝 ,  B.布伊斯塞 ,  K.S.塞德 ,  S.拉扎

IPC: G01N23/04

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：-提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；-提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；-使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：-把检测器体现为包括多个检测分段；-组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；-通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。