公开(公告)号：CN102971824B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201180034572.6

申请日：2011-07-14

Applicant: FEI公司

Inventor： S.拉扎 ,  B.H.弗雷塔 ,  P.C.蒂梅耶

IPC: H01J37/28 ,  G01N21/25

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种扫描共焦透射电子显微镜包括样品下方的退扫描偏转器和校正器。所述显微镜使用检测器，所述检测器优选地显著大于显微镜的分辨率，并且被放置在实像平面中，这提供了改进的对比度，特别是对于轻元素。

公开(公告)号：CN102971824A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201180034572.6

申请日：2011-07-14

Applicant: FEI公司

Inventor： S.拉扎 ,  B.H.弗雷塔 ,  P.C.蒂梅耶

IPC: H01J37/28 ,  G01N21/25

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种扫描共焦透射电子显微镜包括样品下方的退扫描偏转器和校正器。所述显微镜使用检测器，所述检测器优选地显著大于显微镜的分辨率，并且被放置在实像平面中，这提供了改进的对比度，特别是对于轻元素。