公开(公告)号：CN103839743A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201310610534.1

申请日：2013-11-27

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  M.P.M.比尔霍夫 ,  T.维斯塔维 ,  L.德赖卡克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/22 ,  G01N23/223

CPC classification number: H04N7/18 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28

Abstract: 采样样本和在显示器上显示获得的信息的方法包括：用N个重叠子帧的系列在样本上方扫描例如电子的射束，每个子帧的扫描位置不与其它子帧的扫描位置重叠；使用检测器检测响应于由射束对样本的照射而从样本发出的信号；以及在显示器上显示子帧，使得在N个扫描的系列之后，每个像素显示从来自扫描位置的信号得出的信息；特征在于其中在对第一子帧的扫描之后每个像素显示从第一子帧的扫描位置得出的信息；以及其中在对第二子帧的扫描之后每个像素显示在对第一子帧、第二子帧或这两个子帧的扫描期间得出的信息。这导致在样本上方示出更均匀电荷分布的扫描方法，导致例如更少的充电效应，同时即使在扫描第一子帧之后也供给良好可解析图像。

公开(公告)号：CN105784437A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201610017172.9

申请日：2016-01-12

Applicant: FEI公司

Inventor： T.维斯塔维 ,  A.P.J.M.博特曼

IPC: G01N1/28

CPC classification number: B05D5/02 ,  B05C3/10 ,  B05D3/0493 ,  B05D5/00 ,  C23C18/1633 ,  C25D5/16 ,  C25D7/12 ,  C25D21/04 ,  G01N1/32 ,  G01N1/44 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2067 ,  H01J2237/31745 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/32051 ,  G01N1/28

Abstract: 本发明涉及从显微样品修改样品表面层的方法，方法在真空中执行，方法包括以下步骤：提供附着到操纵器（116）的显微样品（120）；提供第一（受控）温度处的第一液体（122A）；在第一液体中浸泡样品，从而导致样品表面修改；从第一液体移除样品；提供第二（受控）温度处的第二液体（122B）；在第二液体中浸泡样品；以及从第二液体移除样品。这使得能够实现样品原位的湿法处理，从而增加速度和/或避免样品的后续改变/污染（诸如氧化）等。该方法对于在利用（镓）FIB加工薄片之后蚀刻薄片以移除其中发生镓植入或其中晶格被扰乱的表面层而言特别有用。