公开(公告)号：CN103367085B

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201310115360.1

申请日：2013-04-03

Applicant: FEI 公司

Inventor： F.布格霍贝尔 ,  E.G.T.博施 ,  P.波托塞克 ,  X.朱格 ,  B.H.利希

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：‑ 将样本安置在样本保持器上；‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；‑ 使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：‑ 包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；‑ 使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。

公开(公告)号：CN103367085A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310115360.1

申请日：2013-04-03

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布格霍贝尔 ,  E.G.T.博施 ,  P.波托塞克 ,  X.朱格 ,  B.H.利希

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：将样本安置在样本保持器上；使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。

公开(公告)号：CN102253066A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN201110110551.X

申请日：2011-04-29

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布戈尔贝尔 ,  C.S.库伊曼 ,  B.H.利赫 ,  E.G.T.博施

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明涉及SEM成像方法。一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自于一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量会话期间检测样品发射的激励辐射，将被测对象（M）与其关联且记录用于每次测量会话的该被测对象的值，因而允许数据对（Pi,Mi）的数据集（D）的汇编，其中1≤i≤N，其中：－采用统计盲源分离技术来自动处理数据集（D）且空间地将其分解为成像对(Qk,Lk)的结果集（R），其中具有值Qk的成像量（Q）与参考表面S的离散深度水平Lk相关。

公开(公告)号：CN102253066B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201110110551.X

申请日：2011-04-29

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布戈尔贝尔 ,  C.S.库伊曼 ,  B.H.利赫 ,  E.G.T.博施

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明涉及SEM成像方法。一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自于一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量会话期间检测样品发射的激励辐射，将被测对象（M）与其关联且记录用于每次测量会话的该被测对象的值，因而允许数据对（Pi,Mi）的数据集（D）的汇编，其中1≤i≤N，其中：－采用统计盲源分离技术来自动处理数据集（D）且空间地将其分解为成像对(Qk,Lk)的结果集（R），其中具有值Qk的成像量（Q）与参考表面S的离散深度水平Lk相关。

公开(公告)号：CN102954773A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210283575.X

申请日：2012-08-10

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布格霍比尔 ,  B.H.利希 ,  C.S.库伊曼 ,  E.G.T.博施 ,  A.F.德琼格

IPC: G01B15/00 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N23/22 ,  G01N2223/423 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226

Abstract: 本发明涉及带电粒子显微成像方法。利用带电粒子显微镜法研究样本的方法包括：在多个测量会话中利用带电粒子射束辐照样本表面，每个测量会话都具有不同的射束参数值；在每个测量会话期间检测样本的受激辐射，将被测量与其相关联并为每个测量会话记下被测量的值，从而允许汇集数据对{Pn，Mn}的数据集合，其中，通过如下步骤自动处理该数据集合：定义点扩展函数，对于n的每个值，其具有核值Kn；定义空间变量，其表示样本的作为其体积内的位置的函数的物理性质；定义成像量，对于n的每个值，其具有值Qn=Kn*V；对于n的每个值，确定minD(Mn║Kn*V)，其中在对值Kn施加约束的同时求解V。