公开(公告)号：CN102954773A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210283575.X

申请日：2012-08-10

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布格霍比尔 ,  B.H.利希 ,  C.S.库伊曼 ,  E.G.T.博施 ,  A.F.德琼格

IPC: G01B15/00 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N23/22 ,  G01N2223/423 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226

Abstract: 本发明涉及带电粒子显微成像方法。利用带电粒子显微镜法研究样本的方法包括：在多个测量会话中利用带电粒子射束辐照样本表面，每个测量会话都具有不同的射束参数值；在每个测量会话期间检测样本的受激辐射，将被测量与其相关联并为每个测量会话记下被测量的值，从而允许汇集数据对{Pn，Mn}的数据集合，其中，通过如下步骤自动处理该数据集合：定义点扩展函数，对于n的每个值，其具有核值Kn；定义空间变量，其表示样本的作为其体积内的位置的函数的物理性质；定义成像量，对于n的每个值，其具有值Qn=Kn*V；对于n的每个值，确定minD(Mn║Kn*V)，其中在对值Kn施加约束的同时求解V。