公开(公告)号：CN102253066A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN201110110551.X

申请日：2011-04-29

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布戈尔贝尔 ,  C.S.库伊曼 ,  B.H.利赫 ,  E.G.T.博施

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明涉及SEM成像方法。一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自于一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量会话期间检测样品发射的激励辐射，将被测对象（M）与其关联且记录用于每次测量会话的该被测对象的值，因而允许数据对（Pi,Mi）的数据集（D）的汇编，其中1≤i≤N，其中：－采用统计盲源分离技术来自动处理数据集（D）且空间地将其分解为成像对(Qk,Lk)的结果集（R），其中具有值Qk的成像量（Q）与参考表面S的离散深度水平Lk相关。

公开(公告)号：CN102253066B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201110110551.X

申请日：2011-04-29

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布戈尔贝尔 ,  C.S.库伊曼 ,  B.H.利赫 ,  E.G.T.博施

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明涉及SEM成像方法。一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自于一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量会话期间检测样品发射的激励辐射，将被测对象（M）与其关联且记录用于每次测量会话的该被测对象的值，因而允许数据对（Pi,Mi）的数据集（D）的汇编，其中1≤i≤N，其中：－采用统计盲源分离技术来自动处理数据集（D）且空间地将其分解为成像对(Qk,Lk)的结果集（R），其中具有值Qk的成像量（Q）与参考表面S的离散深度水平Lk相关。