公开(公告)号：CN103367085B

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201310115360.1

申请日：2013-04-03

Applicant: FEI 公司

Inventor： F.布格霍贝尔 ,  E.G.T.博施 ,  P.波托塞克 ,  X.朱格 ,  B.H.利希

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：‑ 将样本安置在样本保持器上；‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；‑ 使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：‑ 包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；‑ 使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。

公开(公告)号：CN103367085A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310115360.1

申请日：2013-04-03

Applicant: FEI公司

Inventor： F.布格霍贝尔 ,  E.G.T.博施 ,  P.波托塞克 ,  X.朱格 ,  B.H.利希

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：将样本安置在样本保持器上；使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。