公开(公告)号：CN105280463A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510384825.2

申请日：2015-06-30

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  F.博格霍贝尔 ,  B.H.里奇 ,  M.兰格霍斯特

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  G02B21/002 ,  G02B21/008 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/226

Abstract: 一种使用扫描类型显微镜积累标本的图像的方法，其中考虑在标本内的给定点pi，所述方法包括下面的步骤：-在第一探查期中，采用第一射束配置B1以关联的第一点扩散函数F1照射点pi，由此所述射束配置不同于所述测量参数；-在至少第二探查期中，采用第二射束配置B2以关联的第二点扩散函数F2照射点pi，由此：？ F2在点pi所在的公共交叠区Oi中部分地与F1交叠；？ F1和F2具有在Oi之外的各自的非交叠区F1’和F2’，-在所述计算机处理设备中使用源分离算法在与所述非交叠区F1’和F2’分开地考虑的所述交叠区Oi中执行图像重构。