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公开(公告)号：CN106165055B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201480077921.6
申请日：2014-03-10
申请人： 牛津仪器纳米技术工具有限公司
发明人： 弗兰克·维利·鲍尔
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/295 , H01J37/305 , G01N23/20
CPC分类号： G01N23/20058 , G01N23/20025 , G01N23/203 , G01N23/2055 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/2955 , H01J37/3056 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221 , H01J2237/24578 , H01J2237/2544 , H01J2237/31749
摘要： 本发明提供一种用于在显微镜的真空腔体中对样品进行电子衍射图案分析的方法。首先，使用聚焦粒子束从试样的一部分中隔离出样品。然后，将操纵器端部执行器附接至样品，以在端部执行器与样品之间实现预定取向。在样品被分离的情况下，操纵器端部执行器相对于电子束和衍射图案成像设备围绕旋转轴线旋转，以使样品形成为预定几何关系，使得能够在样品仍然被固定在操纵器端部执行器上的同时从样品中得到电子衍射图案。使电子束撞击到附接在操纵器端部执行器上的样品，从而得到电子衍射图案。
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公开(公告)号：CN104756223A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380055784.1
申请日：2013-10-29
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20235 , H01J2237/28
摘要： 本发明的试样收纳容器具备：将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。
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公开(公告)号：CN104221122A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201380008973.3
申请日：2013-02-13
申请人： 日新离子机器株式会社 , 株式会社爱发科
IPC分类号： H01J37/317 , B65G49/06 , H01L21/265 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/30 , H01J37/317 , H01J2237/20221 , H01J2237/20292 , H01L21/67173 , H01L21/67213 , H01L21/67259 , H01L21/67712 , H01L21/6776
摘要： 离子束照射装置(10)具备：真空槽(14)，其收容对基板(S)进行保持的输送托盘(T)；输送部，其在真空槽(14)内向输送方向输送输送托盘(T)；离子束照射部(21L、21U)，其向真空槽(14)内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部(23A-23D)，其检测输送托盘(T)的位置。位置检测部(23A-23D)通过输送托盘(T)的输送而在预定的拍摄位置对表示输送托盘(T)上的部位的、沿输送方向排列且彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的指标来检测出输送托盘(T)相对于拍摄位置的位置。
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公开(公告)号：CN103946749A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201280051562.8
申请日：2012-09-12
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
发明人： J·J·M·佩斯特
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03B27/58 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70841 , H01J37/20 , H01J37/3177 , H01J2237/0266 , H01J2237/16 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20285 , H02K41/02
摘要： 一种目标定位装置，尤其用于光刻系统，其包括用于承载目标的载体(300)，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X-支撑台基座(401、402)，二者皆布置在公共基板(403)的顶部上，每一个X-支撑台基座承载一X-支撑台托架(404、405)，以及一Y-梁(406)，所述Y-梁包括用以承载所述载体并在第二方向(Y)上移动该载体的Y-支撑台(407)。所述Y-梁跨接该X-支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器(408、409)而被连接到该X-支撑台托架上。该装置还包括两个电机(M1、M2)，每一个用以沿着相应的X-支撑台基座驱动相应的X-支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。所述两个电机中的每一个被连接至一偏心凸轮或曲柄(410、411)，后者经由一曲柄轴(412、413)而被连接至该相对应的X-支撑台托架。
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公开(公告)号：CN101436506A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810169778.X
申请日：2008-10-16
申请人： 加州大学评议会
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H02N2/0095 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221 , H01J2237/20264 , H01J2237/20278 , H01J2237/28 , Y10T74/20348
摘要： 本发明涉及一种用于定位透射电子显微镜试样的电动操纵器，其用于使TEM试样固定器以亚微米分辨率而平行于y－z平面进行定位，并在该y－z平面中旋转该试样固定器，所述操纵器包括基座(2)和用于将试样固定器连接到操纵器上的附连装置(30)，其特征在于，该操纵器还包括安装在基座上的至少三个纳米促动器(3a，3b，3c)，各纳米促动器呈现有顶端(4a，4b，4c)，该至少三个顶端限定该y－z平面，各顶端能在该y－z平面中相对于基座移动；与纳米促动器的顶端相接触的平台(5)；以及用于将平台压在纳米促动器顶端上的夹紧装置(6)；结果，纳米促动器可在y－z平面中相对于基座旋转该平台，并且平行于该y－z平面而平移该平台。
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公开(公告)号：CN106569396B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201610901826.4
申请日：2012-09-12
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
发明人： J·J·M·佩斯特
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03B27/58 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70841 , H01J37/20 , H01J37/3177 , H01J2237/0266 , H01J2237/16 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20285 , H02K41/02
摘要： 一种目标定位装置，其包括用于承载目标的载体，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X‑支撑台基座，二者皆布置在公共基板的顶部上，每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架，以及一Y‑梁，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并移动该载体在第二方向(Y)上的Y‑支撑台。所述Y‑梁跨接该X‑支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器而被连接到该X‑支撑台托架上。该装置还包括两个电机，每一个用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。
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公开(公告)号：CN105094147B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201410165949.7
申请日：2014-04-23
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： G05D3/12
CPC分类号： H02N2/0095 , H01J2237/20221 , H01J2237/20278 , H02N2/025 , H02N2/028
摘要： 本发明提供一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：第一移动部件，具有在其内部形成的安装空间；第一移动部件具有上表面和内侧面，安装空间从上表面向第一移动部件的内部凹入并朝向上表面敞开，并且安装空间的周边由内侧面限定；第一精密驱动机构，与第一移动部件传动连接，第一精密驱动机构用于驱动第一移动部件沿第一方向运动；第二移动部件和第二精密驱动机构，布置且保持在安装空间内，以便能够随第一移动部件一起沿第一方向运动；第二精密驱动机构与第二移动部件传动连接，用于驱动第二移动部件在安装空间内沿不同于第一方向的第二方向运动。本发明的精密致动装置结构设计紧凑、精密致动装置占用体积小、移动范围大。
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公开(公告)号：CN103367086A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310219270.7
申请日：2013-04-01
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人： M·克纳皮奇
CPC分类号： G21K5/10 , H01J37/20 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221 , H01J2237/20285 , H01J2237/28 , H02P8/40
摘要： 本发明涉及一种用于调整安置在粒子射线设备内的支架元件的位置的方法，其中，所述支架元件设计用于支承物体，所述粒子射线设备具有至少一个用于粒子射线的射线发生器和至少一个用于聚焦粒子射线的物镜，并且其中支架元件设计借助至少一个第一步进电动机可运动。所述方法具有如下步骤：通过以作为交流电的第一电动机电流控制操纵所述第一步进电动机，使所述支架元件开始运动；将所述第一电动机电流调节至第一频率和第一振幅；通过减小所述第一电动机电流的第一频率和第一振幅，对所述支架元件的运动进行制动，其中，将第一频率在第一可预设时间区间内减小至零，并且其中，将第一振幅在第一可预设时间区间内减小至可预设的第一保持电流的振幅。
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公开(公告)号：CN101131910B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200710110708.2
申请日：2003-03-21
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/00 , H01L21/67
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/3171 , H01J2237/20 , H01J2237/2006 , H01J2237/2007 , H01J2237/20221 , H01J2237/20228 , H01J2237/20278 , H01L21/682 , H01L21/6835
摘要： 本发明公开一种半导体处理装置，该装置提供衬底或晶片夹持器(180)的扫描臂(60)在至少两个通常正交方向(所谓X-Y扫描)上运动。在第一方向上的扫描是纵向贯穿在真空室壁上孔(55)。臂(60)通过一个或多个直线式电动机(90A、90B)往复运动。臂(60)使用万向空气轴承相对于导引板(100)支撑，以便于为臂相对于导引板(100)提供悬臂支撑。为臂(60)进入真空室的适应性穿通装置(130)然后担当真空密封和引导件，但其自身不要提供轴承支撑。法拉第(450)被连接到邻近衬底夹持器(180)的臂(60)，以允许在注入之前和过程中实现束分布的确定。法拉第(450)可以替代地或另外地被安装邻近所述衬底夹持器的后部或与其成90°，并且所述衬底支撑被颠倒或水平并脱离束线，以允许在注入之前实现束分布的确定。
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公开(公告)号：CN101231932A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810003781.4
申请日：2008-01-22
发明人： T·杜登 , A·施米德 , I·G·佩特罗夫 , T·I·唐切夫 , E·A·奥尔森 , J·范德沃特 , R·瓦格纳 , J·范登奥特拉尔 , J·W·布鲁格斯 , A·奥特文格 , H·N·斯林格兰德
CPC分类号： H01J37/20 , B25J7/00 , G01N23/2204 , G02B21/32 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221
摘要： 本发明说明了一种用于例如透射电子显微镜(TEM)中的操纵器，所述操纵器能够旋转和平移样品支架(4)。该操纵器将圆形样品支架扣紧在两个元件(3A、3B)之间，所述元件被安粘执行器(2A、2B)上。在相同方向内移动执行器导致样品支架的平移，而同时在相反方向内移动执行器导致样品支架的旋转。
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