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公开(公告)号：CN109402732A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201710704674.3
申请日：2017-08-17
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： C30B23/06
摘要： 本发明提供了一种分子束外延系统，包括：分子束外延腔；样品准备腔，其通过第一门阀与所述分子束外延腔相连接；快速进样腔，其通过第二门阀与所述样品准备腔相连接；传输装置，其用于当所述第二门阀打开时，将样品片从所述快速进样腔的腔体内传输至所述样品准备腔的腔体内，以及当所述第一门阀打开时，将样品片从所述样品准备腔的腔体内传输至所述分子束外延腔的腔体内。本发明的分子束外延系统在对样品片进行外延过程中避免了对样品片造成污染。
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公开(公告)号：CN105568225A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201410538769.9
申请日：2014-10-13
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： C23C14/26
摘要： 本发明提供了一种电阻加热装置及电阻加热式蒸发源，电阻加热装置包括固定底台，所述固定底台具有相对设置的内表面和外表面，所述固定底台还具有贯穿所述内表面和外表面的第一电极通孔和第二电极通孔；位于所述内表面一侧的电阻丝；与所述电阻丝的两端分别电连接的第一内电极和第二内电极；以及第一外电极和第二外电极，所述第一外电极与所述第一内电极在所述第一电极通孔处可拆卸电连接，所述第二外电极与所述第二内电极在所述第二电极通孔处可拆卸电连接。本发明的电阻加热装置能够固定不同形状的坩埚并加热，当需要更换蒸发物料时，只需要更换坩埚即可，且更换方便，从而节约了成本。
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公开(公告)号：CN108267044A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201810069050.3
申请日：2018-01-24
申请人： 中国科学院物理研究所 , 中国科学院大学
摘要： 本发明涉及可用于真空中的锁定装置和热开关。根据一示例性实施例，一种锁定装置可包括致动部分、传动部分和锁定部分，所述致动部分包括安装于支架上的杠杆和动力螺栓，所述动力螺栓位于所述杠杆的第一端附近，并且在被旋转时沿轴向移动以转动所述杠杆的所述第一端，所述传动部分连接在所述杠杆的第二端与所述锁定部分之间，响应于所述杠杆的第二端的转动来移动所述锁定部分，从而使所述锁定部分移动到锁定位置以锁定待锁定装置。本发明可广泛应用于真空环境中，例如扫描隧道显微镜等系统中，并且具有操作简单，加工成本低等特点。
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公开(公告)号：CN106439306A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201510470539.8
申请日：2015-08-04
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： F16L23/028 , F16L23/032
CPC分类号： F16L23/028 , F16L23/032
摘要： 本发明公开一种旋转法兰，包括具有相同的轴向的法兰外圈和法兰内圈，该法兰外圈的内表面形成有外圈台阶，该法兰内圈的外表面形成有内圈台阶，内圈台阶能嵌入法兰外圈中并坐置在外圈台阶上，在外圈台阶上设有沿轴向贯通外圈台阶至少一个凹槽，在法兰内圈上设有至少一个凸起，该凹槽和该凸起的形状和尺寸被构造成允许凸起沿轴向穿过该凹槽，该凸起相对于内圈台阶的位置被设定成当内圈台阶坐置在外圈台阶上时使法兰外圈能周向转动且在凹槽与凸起周向错开情况下法兰外圈无法相对于法兰内圈轴向移动。和传统旋转法兰相比，本发明的法兰结构简单，安装难度大大降低，并且可广泛应用于各种类型仪器设备的管道、阀门或腔体的连接以及密封等场合中。
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公开(公告)号：CN105094147A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201410165949.7
申请日：2014-04-23
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： G05D3/12
CPC分类号： H02N2/0095 , H01J2237/20221 , H01J2237/20278 , H02N2/025 , H02N2/028
摘要： 本发明提供一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：第一移动部件，具有在其内部形成的安装空间；第一移动部件具有上表面和内侧面，安装空间从上表面向第一移动部件的内部凹入并朝向上表面敞开，并且安装空间的周边由内侧面限定；第一精密驱动机构，与第一移动部件传动连接，第一精密驱动机构用于驱动第一移动部件沿第一方向运动；第二移动部件和第二精密驱动机构，布置且保持在安装空间内，以便能够随第一移动部件一起沿第一方向运动；第二精密驱动机构与第二移动部件传动连接，用于驱动第二移动部件在安装空间内沿不同于第一方向的第二方向运动。本发明的精密致动装置结构设计紧凑、精密致动装置占用体积小、移动范围大。
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公开(公告)号：CN106323038B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201510345910.8
申请日：2015-06-19
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： F28D1/02
摘要： 本发明提供了一种热交换器，包括呈板状的导热本体，所述导热本体具有进气孔和凸起部；中间隔板，所述中间隔板和所述凸起部限定了供冷却媒质从所述进气孔向所述中间隔板的边缘流通的冷却通道；以及盖板，所述盖板具有排气孔和排气槽，所述排气槽和所述中间隔板限定了供所述冷却媒质从所述中间隔板的所述边缘向所述排气孔流通的排气通道。本发明的热交换器体积小、制冷效率高。
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公开(公告)号：CN105094147B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201410165949.7
申请日：2014-04-23
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： G05D3/12
CPC分类号： H02N2/0095 , H01J2237/20221 , H01J2237/20278 , H02N2/025 , H02N2/028
摘要： 本发明提供一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：第一移动部件，具有在其内部形成的安装空间；第一移动部件具有上表面和内侧面，安装空间从上表面向第一移动部件的内部凹入并朝向上表面敞开，并且安装空间的周边由内侧面限定；第一精密驱动机构，与第一移动部件传动连接，第一精密驱动机构用于驱动第一移动部件沿第一方向运动；第二移动部件和第二精密驱动机构，布置且保持在安装空间内，以便能够随第一移动部件一起沿第一方向运动；第二精密驱动机构与第二移动部件传动连接，用于驱动第二移动部件在安装空间内沿不同于第一方向的第二方向运动。本发明的精密致动装置结构设计紧凑、精密致动装置占用体积小、移动范围大。
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公开(公告)号：CN106423335A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201510468456.5
申请日：2015-08-04
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： B01L9/00
摘要： 本发明公开了一种用于将样品架锁定至样品台的锁定装置，其利用锁定件将样品架完全固定至样品台并且可以通过解锁件进行解锁，从而克服了现有技术中的样品架不能在样品台上牢固地固定的问题。可广泛应用于真空环境中的分子束外延系统(MBE)、扫描隧道显微镜系统、角分辨光电子能谱等系统。
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公开(公告)号：CN109406829B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201710704690.2
申请日：2017-08-17
申请人： 中国科学院物理研究所
摘要： 本发明提供了一种扫描探针显微镜的扫描头，所述扫描头包括：扫描头框架，其具有相对设置的第一端部和第二端部，所述第一端部和第二端部分别限定了第一容纳空间和第二容纳空间；位于所述第一容纳空间中的样品台；位于所述第二容纳空间中的扫描模块；以及固定在所述扫描头框架的第二端部的多个固定电极。本发明的扫描头的信号线在操作过程中不会脱落或扯断。另外扫描头允许激光入射到其扫描探针上，使得扫描探针能够与激光进行耦合，应用范围广。本发明的扫描头采用模块化设计，结构紧凑，节省了制造成本和维修成本。
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公开(公告)号：CN108267044B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201810069050.3
申请日：2018-01-24
申请人： 中国科学院物理研究所 , 中国科学院大学
摘要： 本发明涉及可用于真空中的锁定装置和热开关。根据一示例性实施例，一种锁定装置可包括致动部分、传动部分和锁定部分，所述致动部分包括安装于支架上的杠杆和动力螺栓，所述动力螺栓位于所述杠杆的第一端附近，并且在被旋转时沿轴向移动以转动所述杠杆的所述第一端，所述传动部分连接在所述杠杆的第二端与所述锁定部分之间，响应于所述杠杆的第二端的转动来移动所述锁定部分，从而使所述锁定部分移动到锁定位置以锁定待锁定装置。本发明可广泛应用于真空环境中，例如扫描隧道显微镜等系统中，并且具有操作简单，加工成本低等特点。
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