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公开(公告)号：CN117723786A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311736064.3
申请日：2023-12-18
Applicant: 南通大学
Abstract: 本申请公开了一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描装置及方法，该方法包括：在基底上沉积出两个沉积点；基于沉积点的图像，获取两个沉积点之间的图像距离；基于探针的扫描结果，获取两个沉积点之间的空间距离；确定图像距离与探针位移距离之间的相对位置关系；获取样本在坐标系中的对应位置关系；基于路径算法，规划路径对样本进行三维扫描并获取目标的三维结构。本申请减少了沉积探针和扫描探针切换需要抬起探针支架的繁琐步骤，降低了因探针支架的抬起可能造成的探针与基底发生碰撞的可能；完成了图像距离与探针位移距离之间相对位置关系的标定，消除了扫描探针扫描轨迹的冗余，大大提高了三维微纳结构的扫描成像效率。
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公开(公告)号：CN111766406B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202010623027.1
申请日：2020-07-01
Applicant: 合肥兆科机电科技有限公司
Inventor： 吴启东
Abstract: 本发明公开了用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，包括旋转环、旋转头组件、90度直角转接器、旋转驱动器组件，所述旋转头组件设置有多组，且旋转头组件安装在旋转环上，所述90度直角转接器的一端连接旋转环，所述90度直角转接器的另一端连接旋转驱动器组件，所述旋转驱动器组件通过90度直角转接器改变动力方向，本发明通过本地控制器及远程上位机可实现同心圆三维快速电动步进扫描，设计结构紧凑，密封性强，体积小，移动精度高，同时便于根据实际情况测量要求跟换相对应探头以满足测量要求。
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公开(公告)号：CN117491686A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311841197.7
申请日：2023-12-29
Applicant: 北京至格科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种待测样品微观结构测量定位方法以及系统，方法包括：处理单元接收置于支撑件上的待测样品的真实扫描信息；处理单元将待测样品的真实扫描信息与待测样品记录信息进行对比分析，生成待测样品所需拟合图像信息；处理单元基于待测样品所需拟合图像信息以及待测样品记录信息，生成原子力显微镜能够识别的待测样品测量定位文件。当实际待测样品存在缺陷或者规格不满足要求，且待测样品的待测位置信息为具体点位信息时，提高待测样品所需测量位置的定位精度，降低测试时长，提高测试效率。
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公开(公告)号：CN117450961A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311279941.9
申请日：2023-10-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了白光干涉与原子力扫描模式切换装置及跨尺度测量系统，属于超精密表面形貌测量领域，其包括组合设置的三个偏转机构和三个平移机构，利用各机构具体结构的优选设计以及各机构彼此之间组合方式的设置，可实现白光干涉测量模式与原子力扫描模式之间的快速切换，并准确实现原子力扫描测量模式下的六自由度精准位姿调整。本发明的白光干涉与原子力扫描模式切换装置，其结构简单，拆装便捷，能够实现白光干涉测量模式与白光原子力测量模式的同时设置和快速切换，并实现白光原子力测量模式下探针组件的六自由度位姿调整，保证探针位姿调节的精度和跨尺度测量的精度，并延长位姿调节装置的使用寿命，具有较好的实用价值。
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公开(公告)号：CN116360038A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310366340.5
申请日：2023-04-04
Applicant: 上海大学
IPC: G02B6/26 , B82Y35/00 , G02B6/27 , G02B6/02 , G02B6/255 , B29C64/386 , B33Y50/00 , G01Q60/38 , G01Q60/24 , G01Q10/00
Abstract: 本申请提供了一种涡光光纤探针、制备方法及扫描探针和微纳操控系统。涡光光纤探针包括：光纤，光纤经过拉锥处理以形成基体和与基体连接的过渡区；以及微纳结构，位于过渡区的一端，微纳结构包括螺旋相位板和位于微纳结构末端的针尖，螺旋相位板和针尖均由3D打印制备而成，其中，末端的横截面直径在100nm至10μm之间。涡光光纤探针、制备方法及扫描探针和微纳操控系统，可以通过基于通用光纤及3D打印制备的探针，实现对于微粒样品的光学和力学检测，探针制备过程简单，成本较低，且普适性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115494266A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211030242.6
申请日：2022-08-26
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台及控制方法，包括动平台，所述动平台内嵌梯度局部谐振器，所述动平台分别与三个运动支链连接，每个运动支链与压电陶瓷作动器连接，所述运动支链包括位移放大机构及两个双轴同位正交柔性铰链，所述双轴同位正交柔性铰链内嵌阻尼子结构。本发明实现了高带宽的微纳定位平台，可以应用于AFM原子力显微镜或SEM扫描电镜，作为高速扫描的载物平台使用。
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公开(公告)号：CN115060776A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210569063.3
申请日：2022-05-24
Applicant: 广州大学
IPC: G01N27/327 , G01N27/416 , G01Q10/00 , G01Q60/60 , G01N21/76
Abstract: 本发明涉及生物细胞检测技术领域，公开了一种生物细胞检测的可温控扫描探针密闭检测池及检测方法，该检测池包括基底固定模块、检测池模块、检测池控制模块、探针固定模块，所述基底固定模块、检测池模块、检测池控制模块、探针固定模块从下到上堆叠连接在一起，所述检测池控制模块的两侧设置有两个宝塔头，所述探针固定模块的顶部安装有橡胶以及探针，所述橡胶套接在探针的外侧。本发明提供的生物细胞检测的可温控扫描探针密闭检测池及检测方法，通过不同模块组合实现针对生物、催化、电池等需要密闭检测条件，可以为生物检测提供一种支持流动体系、可维持特定气体含量、温度可控，其密闭结构可与电化学发光联用进行SECM‑ECL检测。
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公开(公告)号：CN114910668A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210434915.8
申请日：2022-04-24
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01Q10/00
Abstract: 本发明提供了一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，该方法依然保留传统的逐行扫描方式，通过变速扫描的方法实现漂移过程中原子行的弯曲，从而矫正扫描图像。该方法摒弃了复杂的螺旋扫描方式，控制信号更加简单，扫描方式更加多样，后期矫正也更加方便。相对于传统标定显微镜的方式，其优点为：不需要显微镜标定，不需要更换样品，只需要一次性扫描完成，后期就可以对图像去除畸变。对于不同环境，显微镜漂移速度也不同，本发明也只需要一次性扫描成像即可。
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公开(公告)号：CN113252945A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110540568.2
申请日：2021-05-18
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 提供了一种用于扫描隧道显微镜中移动样品的装置，其包括拨叉以及方向移动器，所述拨叉的末端部安装在所述方向移动器上，所述拨叉的前端部具有通孔，并且所述前端部具有连通所述通孔的缺口，所述方向移动器用于在三维方向上对所述拨叉进行移动。还提供了一种用于扫描隧道显微镜中移动样品的方法。本发明在扫描隧道显微镜对样品进行扫描的过程中，缺口可以穿过探针而使探针处于通孔范围内，这样拨叉可以在不触碰探针的情况下将样品精确地移动到目标位置，从而实现对样品的定位下针，即能够扫描样品的特定位置，进而能针对表面不均一、性质各异的样品进行扫描。
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公开(公告)号：CN112834786A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110026544.5
申请日：2021-01-08
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于扫描探针的纳米颗粒三维操控装置及方法。该装置包括一个导电且表面镀有低表面能涂层的扫描探针，以及扫描模块和观测模块。利用观测模块观测扫描探针及纳米颗粒的位置；扫描模块根据观测模块收集的位置图像，将扫描探针移动到纳米颗粒的附近，并通过在探针表面施加电压信号来调控探针与纳米颗粒之间的相互作用，最终可以实现三维空间上单个纳米颗粒的拾取、转移和放置。本发明通过对扫描探针的电压信号进行调控，进而引入介电泳力实现对其表面能的调节，能够高效可控地重复实现对纳米颗粒的操控。
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