一种利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法

    公开(公告)号:CN109540806B

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201811204522.8

    申请日:2018-10-16

    IPC分类号: G01N21/25

    摘要: 本发明公开了一种用于利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法,其利用共焦显微镜获取光谱仪上接收的离散轴向响应信号的波长和光强信息得到归一化的离散轴向响应信号;利用预设的强度阈值T计算动态阈值Td;归一化的离散轴向响应信号去除预设的Ik小于强度阈值T得到新的归一化的离散轴向响应信号;利用新的的归一化的离散轴向响应信号的波长和光强值及动态阈值Td求得归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长,从而实现利用归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长p进行色散共焦的快速测量,以确保色散共焦的快速测量的准确性。

    基于Mean-shift的光谱共焦信号峰值波长快速高精度提取方法

    公开(公告)号:CN110095066B

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201910161671.9

    申请日:2019-03-04

    发明人: 卢文龙 朱鸿

    IPC分类号: G01B11/02

    摘要: 本发明提出了一种基于Mean‑Shift算法的快速高精度峰值波长提取方法,上述方法包括如下步骤:采集光谱共焦位移传感器的光谱共焦信号,执行归一化处理,依据设定光强阈值对归一化处理后的信号进行截断,获得点波长序列,对应光强序列;设定迭代初始波长为计算获得所述点波长序列当前峰值对应的Mean‑Shift向量,将当前点波长序列沿所述获得的Mean‑Shift向量移动得到新的峰值波长和新的点波长序列;计算所述获得的Mean‑Shift向量的2范数;判断所述获得的Mean‑Shift向量的2范数是否小于给定允许误差。按照本发明的峰值波长的提取方法能够显著提高峰值波长提取速度与精度。

    一种基于雅可比旋量的多尺寸链并联装配误差分析方法

    公开(公告)号:CN117171962A

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202310986138.2

    申请日:2023-08-07

    IPC分类号: G06F30/20 G06F17/16

    摘要: 本发明公开了一种基于雅可比旋量的多尺寸链并联装配误差分析方法,包括如下步骤:分析装配体各零件的装配关系确定多条并联装配的尺寸链,设置分析基准作为尺寸链的起始端,将目标装配特征作为尺寸链的末端,建立误差传递关系图;计算出每条尺寸链中所述目标装配特征相对于所述分析基准的旋量;基于雅可比旋量模型求解获得每条尺寸链的所述旋量分别在雅可比旋量模型中每个自由度上的矢量变化范围;对所述每个自由度上的矢量变化范围进行交集运算得到多尺寸链并联装配误差 。本发明的误差分析方法,建立了多条尺寸链并联的装配误差分析耦合模型,在上述模型中利用多条尺寸链旋量间的“交集”操作对多尺寸链影响下的目标装配特征误差进行耦合,能够显著地提高复杂装配体误差分析结论的准确性。

    一种利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法

    公开(公告)号:CN109540806A

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201811204522.8

    申请日:2018-10-16

    IPC分类号: G01N21/25

    摘要: 本发明公开了一种用于利用动态阈值重心法提取共焦显微峰值的方法,其利用共焦显微镜获取光谱仪上接收的离散轴向响应信号的波长和光强信息得到归一化的离散轴向响应信号;利用预设的强度阈值T计算动态阈值Td;归一化的离散轴向响应信号去除预设的Ik小于强度阈值T得到新的归一化的离散轴向响应信号;利用新的的归一化的离散轴向响应信号的波长和光强值及动态阈值Td求得归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长,从而实现利用归一化的离散轴向响应信号理想峰值波长p进行色散共焦的快速测量,以确保色散共焦的快速测量的准确性。

    基于Mean-shift的光谱共焦信号峰值波长快速高精度提取方法

    公开(公告)号:CN110095066A

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201910161671.9

    申请日:2019-03-04

    发明人: 卢文龙 朱鸿

    IPC分类号: G01B11/02

    摘要: 本发明提出了一种基于Mean-Shift算法的快速高精度峰值波长提取方法,上述方法包括如下步骤:采集光谱共焦位移传感器的光谱共焦信号,执行归一化处理,依据设定光强阈值对归一化处理后的信号进行截断,获得点波长序列,对应光强序列;设定迭代初始波长为计算获得所述点波长序列当前峰值对应的Mean-Shift向量,将当前点波长序列沿所述获得的Mean-Shift向量移动得到新的峰值波长和新的点波长序列;计算所述获得的Mean-Shift向量的2范数;判断所述获得的Mean-Shift向量的2范数是否小于给定允许误差。按照本发明的峰值波长的提取方法能够显著提高峰值波长提取速度与精度。

    一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法

    公开(公告)号:CN113777048B

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202110920395.7

    申请日:2021-08-11

    IPC分类号: G01N21/21 G01N21/01

    摘要: 本发明属于光学测量相关技术领域,并公开了一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元,照明光路单元用将光源出射的源光束进行偏振和相位调制,产生包含偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束,然后将该混合光束投射到待测样品表面;光谱采集单元采集从待测样品表面反射的光束并进行偏振解调和光谱分散,从而获得干涉光谱;照明光路单元中设置有偏振干涉调制模块,该偏振干涉调制模块用于形成一束偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束。通过本发明,解决传统椭偏测量方法横向分辨率低、测量速度慢等问题,实现对超薄纳米薄膜的小光斑尺寸和宽入射角度超快椭偏测量。

    无标记厚样本的实时定量相位成像方法和系统

    公开(公告)号:CN114137713B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202111361367.2

    申请日:2021-11-17

    发明人: 卢文龙 王静怡

    摘要: 本发明提供一种无标记厚样本的实时定量相位成像方法和系统,其中上述方法主要包括如下步骤:采集待检测样品反射的光场;对光场执行衍射光调制;每个周期的衍射光的振幅近似相等;获取检测端的强度图案信号及横向剪切方向的目标差分相位;执行衍射光调制的至少四个不同参数的移相处理获得至少四个强度图案信号;依据强度图案信号计算获得横向剪切方向的差分相位和;对差分相位和执行傅里叶变换,获取横向剪切方向的测量相位。按照本发明实现的成像方法和系统,能够使得横向剪切方向的分辨率更加均匀,并且无需改变差分方向和照明方向即可获取二维相位图,并且结构简单,结合本发明中的成像计算方法,能够显著提高计算效率和成像速度。