公开(公告)号：CN113777048B

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202110920395.7

申请日：2021-08-11

申请人： 华中科技大学

发明人： 王健 ,  翟福琪 ,  彭立华 ,  卢文龙 ,  徐龙 ,  周莉萍

IPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/01

摘要： 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元用将光源出射的源光束进行偏振和相位调制，产生包含偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束，然后将该混合光束投射到待测样品表面；光谱采集单元采集从待测样品表面反射的光束并进行偏振解调和光谱分散，从而获得干涉光谱；照明光路单元中设置有偏振干涉调制模块，该偏振干涉调制模块用于形成一束偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束。通过本发明，解决传统椭偏测量方法横向分辨率低、测量速度慢等问题，实现对超薄纳米薄膜的小光斑尺寸和宽入射角度超快椭偏测量。

公开(公告)号：CN116182738A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202310150616.6

申请日：2023-02-22

申请人： 华中科技大学

发明人： 王健 ,  陈佳浩 ,  彭立华 ,  徐龙 ,  周莉萍

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/06

摘要： 本发明属于精密仪器相关技术领域，其公开了一种基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量方法及装置，测量装置包括分光模块、二向色镜、参考镜、成像透镜及光谱仪，分光模块用于将接收到的光线分为第一光束及第二光束，第一光束被待测的薄膜全波段反射；第二光束中部分波段的光被参考镜反射回来与薄膜反射回来的对应波段的光发生干涉，干涉光与薄膜反射回来的其余光进入光谱仪。本发明通过对光谱图像进行处理，即可同时得到薄膜样品的表界面轮廓，二向色镜的滤光功能使得同时得到干涉光谱和反射光谱，实现了单次曝光下对薄膜样品表界面轮廓的测量，不需要多次曝光或者对直接获得的光强再处理就可以直接得到测量样品干涉光谱和反射光谱。

公开(公告)号：CN113777048A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202110920395.7

申请日：2021-08-11

申请人： 华中科技大学

发明人： 王健 ,  翟福琪 ,  彭立华 ,  卢文龙 ,  徐龙 ,  周莉萍

IPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/01

摘要： 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元用将光源出射的源光束进行偏振和相位调制，产生包含偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束，然后将该混合光束投射到待测样品表面；光谱采集单元采集从待测样品表面反射的光束并进行偏振解调和光谱分散，从而获得干涉光谱；照明光路单元中设置有偏振干涉调制模块，该偏振干涉调制模块用于形成一束偏振方向相互垂直并且存在固定相位差的两个分量的混合光束。通过本发明，解决传统椭偏测量方法横向分辨率低、测量速度慢等问题，实现对超薄纳米薄膜的小光斑尺寸和宽入射角度超快椭偏测量。