公开(公告)号：CN108267044B

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：CN201810069050.3

申请日：2018-01-24

申请人： 中国科学院物理研究所 ,  中国科学院大学

发明人： 高兆艳 ,  郇庆 ,  林晓 ,  吴泽宾 ,  高鸿钧

IPC分类号： F28F27/00 ,  H01H33/66

摘要： 本发明涉及可用于真空中的锁定装置和热开关。根据一示例性实施例，一种锁定装置可包括致动部分、传动部分和锁定部分，所述致动部分包括安装于支架上的杠杆和动力螺栓，所述动力螺栓位于所述杠杆的第一端附近，并且在被旋转时沿轴向移动以转动所述杠杆的所述第一端，所述传动部分连接在所述杠杆的第二端与所述锁定部分之间，响应于所述杠杆的第二端的转动来移动所述锁定部分，从而使所述锁定部分移动到锁定位置以锁定待锁定装置。本发明可广泛应用于真空环境中，例如扫描隧道显微镜等系统中，并且具有操作简单，加工成本低等特点。

公开(公告)号：CN108267044A

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201810069050.3

申请日：2018-01-24

申请人： 中国科学院物理研究所 ,  中国科学院大学

发明人： 高兆艳 ,  郇庆 ,  林晓 ,  吴泽宾 ,  高鸿钧

IPC分类号： F28F27/00 ,  H01H33/66

摘要： 本发明涉及可用于真空中的锁定装置和热开关。根据一示例性实施例，一种锁定装置可包括致动部分、传动部分和锁定部分，所述致动部分包括安装于支架上的杠杆和动力螺栓，所述动力螺栓位于所述杠杆的第一端附近，并且在被旋转时沿轴向移动以转动所述杠杆的所述第一端，所述传动部分连接在所述杠杆的第二端与所述锁定部分之间，响应于所述杠杆的第二端的转动来移动所述锁定部分，从而使所述锁定部分移动到锁定位置以锁定待锁定装置。本发明可广泛应用于真空环境中，例如扫描隧道显微镜等系统中，并且具有操作简单，加工成本低等特点。

公开(公告)号：CN109402732A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201710704674.3

申请日：2017-08-17

申请人： 中国科学院物理研究所

发明人： 高鸿钧 ,  吴泽宾 ,  高兆艳 ,  陈喜亚 ,  郇庆

IPC分类号： C30B23/06

摘要： 本发明提供了一种分子束外延系统，包括：分子束外延腔；样品准备腔，其通过第一门阀与所述分子束外延腔相连接；快速进样腔，其通过第二门阀与所述样品准备腔相连接；传输装置，其用于当所述第二门阀打开时，将样品片从所述快速进样腔的腔体内传输至所述样品准备腔的腔体内，以及当所述第一门阀打开时，将样品片从所述样品准备腔的腔体内传输至所述分子束外延腔的腔体内。本发明的分子束外延系统在对样品片进行外延过程中避免了对样品片造成污染。