公开(公告)号：CN104221122A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201380008973.3

申请日：2013-02-13

申请人： 日新离子机器株式会社 ,  株式会社爱发科

发明人： 山本良明 ,  金永杜 ,  带施兴司德 ,  冈山智彦

IPC分类号： H01J37/317 ,  B65G49/06 ,  H01L21/265 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20292 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/6776

摘要： 离子束照射装置(10)具备：真空槽(14)，其收容对基板(S)进行保持的输送托盘(T)；输送部，其在真空槽(14)内向输送方向输送输送托盘(T)；离子束照射部(21L、21U)，其向真空槽(14)内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部(23A-23D)，其检测输送托盘(T)的位置。位置检测部(23A-23D)通过输送托盘(T)的输送而在预定的拍摄位置对表示输送托盘(T)上的部位的、沿输送方向排列且彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的指标来检测出输送托盘(T)相对于拍摄位置的位置。

公开(公告)号：CN104221122B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201380008973.3

申请日：2013-02-13

申请人： 日新离子机器株式会社 ,  株式会社爱发科

发明人： 山本良明 ,  金永杜 ,  带施兴司德 ,  冈山智彦

IPC分类号： H01J37/317 ,  B65G49/06 ,  H01L21/265 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20292 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/6776

摘要： 离子束照射装置(10)具备：真空槽(14)，其收容对基板(S)进行保持的输送托盘(T)；输送部，其在真空槽(14)内向输送方向输送输送托盘(T)；离子束照射部(21L、21U)，其向真空槽(14)内的预定的照射位置照射离子束；以及位置检测部(23A‑23D)，其检测输送托盘(T)的位置。位置检测部(23A‑23D)通过输送托盘(T)的输送而在预定的拍摄位置对表示输送托盘(T)上的部位的、沿输送方向排列且彼此不同的多个指标分别进行拍摄，基于所拍摄到的指标来检测出输送托盘(T)相对于拍摄位置的位置。