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公开(公告)号:CN101436506A
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200810169778.X
申请日:2008-10-16
申请人: 加州大学评议会
IPC分类号: H01J37/20
CPC分类号: H02N2/0095 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221 , H01J2237/20264 , H01J2237/20278 , H01J2237/28 , Y10T74/20348
摘要: 本发明涉及一种用于定位透射电子显微镜试样的电动操纵器,其用于使TEM试样固定器以亚微米分辨率而平行于y-z平面进行定位,并在该y-z平面中旋转该试样固定器,所述操纵器包括基座(2)和用于将试样固定器连接到操纵器上的附连装置(30),其特征在于,该操纵器还包括安装在基座上的至少三个纳米促动器(3a,3b,3c),各纳米促动器呈现有顶端(4a,4b,4c),该至少三个顶端限定该y-z平面,各顶端能在该y-z平面中相对于基座移动;与纳米促动器的顶端相接触的平台(5);以及用于将平台压在纳米促动器顶端上的夹紧装置(6);结果,纳米促动器可在y-z平面中相对于基座旋转该平台,并且平行于该y-z平面而平移该平台。