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公开(公告)号：CN101231932A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810003781.4
申请日：2008-01-22
发明人： T·杜登 , A·施米德 , I·G·佩特罗夫 , T·I·唐切夫 , E·A·奥尔森 , J·范德沃特 , R·瓦格纳 , J·范登奥特拉尔 , J·W·布鲁格斯 , A·奥特文格 , H·N·斯林格兰德
CPC分类号： H01J37/20 , B25J7/00 , G01N23/2204 , G02B21/32 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221
摘要： 本发明说明了一种用于例如透射电子显微镜(TEM)中的操纵器，所述操纵器能够旋转和平移样品支架(4)。该操纵器将圆形样品支架扣紧在两个元件(3A、3B)之间，所述元件被安粘执行器(2A、2B)上。在相同方向内移动执行器导致样品支架的平移，而同时在相反方向内移动执行器导致样品支架的旋转。
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公开(公告)号：CN101231932B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200810003781.4
申请日：2008-01-22
发明人： T·杜登 , A·施米德 , I·G·佩特罗夫 , T·I·唐切夫 , E·A·奥尔森 , J·范德沃特 , R·瓦格纳 , J·范登奥特拉尔 , J·W·布鲁格斯 , A·奥特文格 , H·N·斯林格兰德
CPC分类号： H01J37/20 , B25J7/00 , G01N23/2204 , G02B21/32 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221
摘要： 本发明说明了一种用于例如透射电子显微镜(TEM)中的操纵器，所述操纵器能够旋转和平移样品支架(4)。该操纵器将圆形样品支架扣紧在两个元件(3A、3B)之间，所述元件被安装到执行器(2A、2B)上。在相同方向内移动执行器导致样品支架的平移，而同时在相反方向内移动执行器导致样品支架的旋转。
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公开(公告)号：CN101630622B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN200910142684.8
申请日：2009-06-05
申请人： FEI公司
发明人： R·瓦格纳 , H·N·斯林杰兰 , F·J·P·舒尔曼斯 , P·C·蒂梅杰
CPC分类号： H01J37/26 , H01J2237/2614
摘要： 本发明涉及混合相板，本发明提供一种用于TEM的混合相板。根据本发明的相板类似于在其中安装Zernike相板的Boersch相板。结果，根据本发明的相板对于被散射到这样的程度以致它们从中央结构(15)外部穿过的电子而言类似于Boersch相板，而对于穿过中央结构的孔的被散射电子而言类似于Zernike相板。将本发明的相板与Zernike相板相比具有如下优点：对于散射在大角度上的电子，没有电子被箔吸收或散射，结果形成TEM的较好高分辨率性能。将本发明的相板与Boersch相板相比，对中央结构的小型化要求就不大苛刻了。
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公开(公告)号：CN1589739A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410060042.0
申请日：2004-06-18
申请人： FEI公司
CPC分类号： H01J37/20
摘要： 在透射电子显微镜(TEM)中使用的和市场上自由购得的样本承载器具有带加固边缘的网格的形式。这些已知的样本承载器的厚度是20μm数量级，以及在整个样本支架上是均匀的。这些易碎的样本承载器的薄的厚度使得操作很困难。希望实现在TEM中样本承载器的自动引入和取出，因为这使得有可能连续地使用TEM，而不用人为干预。本发明公开了一种结实的样本承载器，其中在人工和自动操纵的情形下避免样本承载器的变形和/或损坏。这可通过采用加固边缘部分(2)而达到，该边缘部分(2)具有的厚度(6)大于样本承载器的中间部分(1)的厚度(5)。由此，不妨碍在倾斜很重要的分析中使用样本承载器的能力。
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公开(公告)号：CN101630622A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910142684.8
申请日：2009-06-05
申请人： FEI公司
发明人： R·瓦格纳 , H·N·斯林杰兰 , F·J·P·舒尔曼斯 , P·C·蒂梅杰
CPC分类号： H01J37/26 , H01J2237/2614
摘要： 本发明涉及混合相板，本发明提供一种用于TEM的混合相板。根据本发明的相板类似于在其中安装Zernike相板的Boersch相板。结果，根据本发明的相板对于被散射到这样的程度以致它们从中央结构(15)外部穿过的电子而言类似于Boersch相板，而对于穿过中央结构的孔的被散射电子而言类似于Zernike相板。将本发明的相板与Zernike相板相比具有如下优点：对于散射在大角度上的电子，没有电子被箔吸收或散射，结果形成TEM的较好高分辨率性能。将本发明的相板与Boersch相板相比，对中央结构的小型化要求就不大苛刻了。
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