公开(公告)号：CN101685754A

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200910173281.X

申请日：2009-09-22

申请人： FEI公司

发明人： A·F·德琼 ,  U·卢肯 ,  P·C·蒂梅杰 ,  H·N·斯林杰兰

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/252 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2823

摘要： 本发明涉及用于校正粒子光学装置中的畸变的方法。本发明涉及一种用于校正由TEM的投影系统(106)引起的畸变的方法。本领域技术人员知道，畸变可能限制TEM的分辨率，特别是当利用X射线断层摄影术对特征进行3D重建时。而且，当在TEM中利用应变分析时，畸变会限制应变的检测。为此，本发明公开了一种装配有多极(152)的检测器，该多极以抵消投影系统引起的畸变的方式使TEM的图像歪曲。该检测器还可以包括用于检测电子的CCD或者荧光屏(151)。

公开(公告)号：CN101630622A

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200910142684.8

申请日：2009-06-05

申请人： FEI公司

发明人： R·瓦格纳 ,  H·N·斯林杰兰 ,  F·J·P·舒尔曼斯 ,  P·C·蒂梅杰

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J2237/2614

摘要： 本发明涉及混合相板，本发明提供一种用于TEM的混合相板。根据本发明的相板类似于在其中安装Zernike相板的Boersch相板。结果，根据本发明的相板对于被散射到这样的程度以致它们从中央结构(15)外部穿过的电子而言类似于Boersch相板，而对于穿过中央结构的孔的被散射电子而言类似于Zernike相板。将本发明的相板与Zernike相板相比具有如下优点：对于散射在大角度上的电子，没有电子被箔吸收或散射，结果形成TEM的较好高分辨率性能。将本发明的相板与Boersch相板相比，对中央结构的小型化要求就不大苛刻了。

公开(公告)号：CN101630622B

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN200910142684.8

申请日：2009-06-05

申请人： FEI公司

发明人： R·瓦格纳 ,  H·N·斯林杰兰 ,  F·J·P·舒尔曼斯 ,  P·C·蒂梅杰

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J2237/2614

摘要： 本发明涉及混合相板，本发明提供一种用于TEM的混合相板。根据本发明的相板类似于在其中安装Zernike相板的Boersch相板。结果，根据本发明的相板对于被散射到这样的程度以致它们从中央结构(15)外部穿过的电子而言类似于Boersch相板，而对于穿过中央结构的孔的被散射电子而言类似于Zernike相板。将本发明的相板与Zernike相板相比具有如下优点：对于散射在大角度上的电子，没有电子被箔吸收或散射，结果形成TEM的较好高分辨率性能。将本发明的相板与Boersch相板相比，对中央结构的小型化要求就不大苛刻了。