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发明公开
用于承载用电子束照射的样本的样本承载器无效

公开(公告)号：CN1589739A

公开(公告)日：2005-03-09

申请号：CN200410060042.0

申请日：2004-06-18

申请人： FEI公司

发明人： R·瓦格纳 , G·J·范德瓦特

IPC分类号： A61B6/00 , A61B6/02

CPC分类号： H01J37/20

摘要： 在透射电子显微镜(TEM)中使用的和市场上自由购得的样本承载器具有带加固边缘的网格的形式。这些已知的样本承载器的厚度是20μm数量级，以及在整个样本支架上是均匀的。这些易碎的样本承载器的薄的厚度使得操作很困难。希望实现在TEM中样本承载器的自动引入和取出，因为这使得有可能连续地使用TEM，而不用人为干预。本发明公开了一种结实的样本承载器，其中在人工和自动操纵的情形下避免样本承载器的变形和/或损坏。这可通过采用加固边缘部分(2)而达到，该边缘部分(2)具有的厚度(6)大于样本承载器的中间部分(1)的厚度(5)。由此，不妨碍在倾斜很重要的分析中使用样本承载器的能力。