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公开(公告)号：CN110178199A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201880005771.6
申请日：2018-02-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/304
Abstract: 公开了一种用于通过带电粒子束自动化长期加工样品的方法和带电粒子束系统。该带电粒子束系统包括带电粒子源，该带电粒子源具有发射带电粒子的尖端(20)、引出电极(22)、抑制电极(21)、用于用引出电压偏置所述引出电极的第一可变电压源、用于用抑制电压偏置该抑制电极的第二可变电压源。该系统进一步包括控制器，该控制器被配置为：通过将聚焦带电粒子束在该样品的表面上进行扫描来加工该样品，该聚焦带电粒子束具有束电流；在加工该样品时，测量该束电流和该抑制电压；在第一预定义范围内调节该抑制电压，以将该束电流保持在第二预定义范围内；如果该束电流因为该抑制电压接近该第一范围的极限而超出该第二范围，则中断该样品的加工；执行源恢复过程；以及在执行该源恢复过程后继续加工该样品。
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公开(公告)号：CN110178199B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201880005771.6
申请日：2018-02-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/304
Abstract: 公开了一种用于通过带电粒子束自动化长期加工样品的方法和带电粒子束系统。该带电粒子束系统包括带电粒子源，该带电粒子源具有发射带电粒子的尖端(20)、引出电极(22)、抑制电极(21)、用于用引出电压偏置所述引出电极的第一可变电压源、用于用抑制电压偏置该抑制电极的第二可变电压源。该系统进一步包括控制器，该控制器被配置为：通过将聚焦带电粒子束在该样品的表面上进行扫描来加工该样品，该聚焦带电粒子束具有束电流；在加工该样品时，测量该束电流和该抑制电压；在第一预定义范围内调节该抑制电压，以将该束电流保持在第二预定义范围内；如果该束电流因为该抑制电压接近该第一范围的极限而超出该第二范围，则中断该样品的加工；执行源恢复过程；以及在执行该源恢复过程后继续加工该样品。
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公开(公告)号：CN119967111A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202411560749.1
申请日：2024-11-04
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种使用多个检测通道(Ch1、CH2)采集帧的方法，包括以下步骤：在第一采集模式下使用第一检测通道(Ch1)采集第一帧数据，以及在第二采集模式下使用第二检测通道(CH2)采集第二帧数据，其中第一帧数据和第二帧数据是在相应采集系列(EF1、EF2)的分别相互交替的采集序列(Smn)中采集的。本发明的特征在于，采集系列(EF1，EF2)的采集序列(Smn)的持续时间对于每个检测通道(Ch1，Ch2)被不同地选择，其中一种采集模式中的采集序列(Smn)的持续时间与至少一种另外的采集模式的采集序列(Smn)的持续时间至少相差单个帧采集的持续时间。本发明还涉及一种用于使用多个检测通道(Ch1、CH2)获取帧的光学设备。
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公开(公告)号：CN119741487A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411360041.1
申请日：2024-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 西蒙·弗兰奇尼 , 塞巴斯蒂安·索耶尔 , 桑德拉·莱姆克 , 拉斐尔·迪亚斯·蒙泰罗 , 托马兹·贝尔西詹 , 埃米尔·诺沃西尔斯基 , 耶日·科瓦尔斯基 , 穆罕默德·亚辛·埃尔哈迪里
IPC: G06V10/26 , G06V10/82 , G06V10/25 , G06V10/774 , G06N3/0464
Abstract: 图像被分解成多个图块(3100、3200)，图块对包括重叠区域(3110)。这些图块能够通过实例分割算法处理。公开了用于重叠管理至少部分设置于重叠区域(3110)内的多个实例边界线(3301、3302、3303)的技术。
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公开(公告)号：CN119719403A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411299994.1
申请日：2024-09-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G06F16/58 , G02B21/36 , G06F16/3329 , G06N3/0455 , G06N3/0464 , G06N3/08 , G06V20/69 , G06V10/764 , G06V10/82
Abstract: 在用于控制显微镜的计算机实施程序中，接收描述所期望的显微镜图像和所采用的样本(10)的文本输入(T)。所采用样本的文本输入(T)和概览图像(20)被输入到大型语言模型(LLM)中，所述大型语言模型经过训练，可以一起处理文本输入(T)和概览图像(20)，以计算(P4)用于捕获与所期望的显微镜图像相对应的显微镜图像(50)的显微镜设置(40)。然后用这些计算出的显微镜设置(40)捕获显微镜图像(50)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118899207A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202410549238.3
申请日：2024-05-06
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/295 , H01J37/153
Abstract: 本发明涉及一种多极元件。特别地，本发明涉及一种用于例如扫描电子显微镜等粒子束系统以产生磁多极场或产生电‑磁多极场的多极元件。该多极元件包括：环绕该多极元件的中心轴线的管；布置在该管外部的外部空间组件和布置在管内的真空空间组件。该外部空间组件包括：环绕该管的导磁性周向极片；多个导磁性支撑件，该多个导磁性支撑件被布置成围绕该中心轴线分布并且从该周向极片延伸直至该管的外壁表面；以及多个线圈。该真空空间组件包括多个导磁性极片，该多个导磁性极片被布置成围绕该中心轴线分布并且从该管朝该中心轴线的方向延伸。
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公开(公告)号：CN113297896B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202110198664.3
申请日：2021-02-22
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G06V20/69 , G06V10/82 , G06V10/30 , G06V10/36 , G06N3/0464 , G06N3/084 , H01J37/244 , H01J37/28 , G06N3/048
Abstract: 本发明涉及一种用于处理图像的方法。该方法包括：提供物体的至少一个第一图像，第一图像包括n个像素P11至P1n；提供物体的至少一个第二图像，第二图像包括m个像素P21至P2m；识别像素P11至P1n中的至少一个像素P1i，所识别像素P1i位于第一图像中的位置PL1i处；识别像素P21至P2m中的至少一个像素P2j，所识别像素P2j位于第二图像中的位置PL2j处；通过使用第二图像并通过将所识别像素P1i引入到所识别像素P2j的位置PL2j处来生成至少一个第三图像，和/或通过使用第一图像并通过将所识别像素P2j引入到所识别像素P1i的位置PL1i处来生成至少一个第四图像；使用第三图像和第四图像中的至少一项来训练处理器单元以用于识别降噪函数；以及将降噪函数保存在存储器单元中。
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公开(公告)号：CN118732246A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410364383.4
申请日：2024-03-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 因戈·法尔布施 , 约翰尼斯·克诺布利奇
Abstract: 一种将物镜(85)附接到显微镜的物镜安装部(4)并且为物镜(85)的电气附加模块(86)提供连接的装置，包括：适配器环(2)，其包括物镜能够附接在其上的孔眼(6)且能够紧固到安装部，其具有环轴线、环面、适配器电触点(28)和布置在环边缘(16)上的接触元件(22)；模块适配器(36)，模块适配器具有：基体(38)，基体能够利用下侧(44)紧固到适配器环(2)的环面(24)上并且具有开口(40)；配合电接触元件(54)，其布置在下侧的边缘上并且当基体紧固在适配器环的环面上时与接触元件(22)接触；和模块保持器(42)，模块保持器在其背离孔眼的一侧上保持附加模块并且包括模块电触点(62)，其与配合电接触元件(54)导电连接。
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公开(公告)号：CN118068552A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311571350.9
申请日：2023-11-21
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 克里斯蒂安·迪特里希 , 迈克尔·格莱斯
Abstract: 描述了如何能通过角度可变的照明和捕捉到的图像的相应评估来定位显微镜系统的光学部件的污染的技术。然后可提供用户引导，其指导用户清洁受污染的相关光学部件。
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公开(公告)号：CN111383879B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201911399513.3
申请日：2019-12-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： D.蔡德勒
IPC: H01J37/28 , H01J37/145
Abstract: 一种用于产生多个粒子束3的设备，该设备包括粒子源11、具有多个开口15的第一多孔板13、具有多个开口19的第二多孔板17、第一粒子透镜21、第二粒子透镜22、第三粒子透镜23以及控制器27，该控制器为第一粒子透镜21、第二粒子透镜22以及第三粒子透镜23中的每一个透镜提供可调节的激励。
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